MEMS谐振器是什么？具有怎样的性能和特点？

石英晶振、MEMS晶振、陶瓷谐振器、SAW谐振器是什么？有什么特点 石英晶振、MEMS晶振、陶瓷谐振器和SAW谐振器都是常见的振荡器，被广泛应用于电子设备中。每种振荡器都有其独特的特点和适用领域

的后起之秀。 Murata推出的32.768kHz MEMS SMD谐振器，就是其中一个性能表现非常出色的产品。这些MEMS谐振器有着出色的频率、精

谐振器就是指产生谐振频率的电子元件，常用的分为石英晶体谐振器和陶瓷谐振器。产生频率的作用，具有稳定，抗干扰性能良好的特点，广泛应用于各种电子产品中。石英晶体谐振器的频率精度要高于陶瓷谐振器，但成本也比陶瓷谐振器高。谐振器主要起频率控制的作用，所有电子产品涉及频率的发射和接收都需要谐振器。

的超高稳定性能至关重要。Epi-Seal密封工艺是业界唯一验证的成熟技术，采用该技术生产的MEMS谐振器稳定性已达到甚至超过石英晶振。在高温外延反应器中，用氢气和氯气将谐振器和真空腔进行彻底清洁。然后将

谐振器就是指产生谐振频率的电子元件，常用的分为石英晶体谐振器和陶瓷谐振器。产生频率的作用，具有稳定，抗干扰性能良好的特点，广泛应用于各种电子产品中。石英晶体谐振器的频率精度要高于陶瓷谐振器，但成本也

晶体谐振器是一种用于频率控制和振荡的电子元件，广泛应用于各种领域，如通信、雷达、音频和时钟电路等。以下是晶体谐振器的主要作用和特点： 频率控制：晶体谐振器具有很高的频率精度和稳定性，因此可用于各种

村田通过MEMS技术使该产品达到了小型化，并实现了与晶体谐振器相同的初始频率精度（±20ppm）以上的频率温度特性（160ppm以下）（工作环境：-30〜85℃）。

　MEMS 谐振器的关键特性之一是振动灵敏度（有时称为重力灵敏度或振动引起的相位偏移）。这在 2001 年左右得到认可，并已作为谐振器的一个关键破坏性特征推向市场。但是，一旦我们开始查看数据，就可以开始质疑是否有任何真正的优势。

5.    MEMS 振荡器对 EMI 的敏感度要低得多 电磁能在大多数系统中很常见，可以通过将晶体谐振器连接到包含振荡器电路的 IC 的暴露 PCB 走线接收。 这种噪声可以耦合到振荡器电路中并

尽管基于硅的MEMS谐振器实现了高的时间分辨率，并且具有较小的相位噪声和更理想的集成能力，但是它在较高温度下不稳定。

陶瓷谐振器(Ceramic Resonator)是利用压电陶瓷 (一般为锆钛酸铅，PZT) 的压电效应产生谐振频率的电子元件，电路符号与石英晶体谐振器(Quartz Crystal)相同。

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关键词：MEMS , 谐振器 近年来，在IoT和可穿戴等领域，市场对所用的电子设备小型化、长时间运转的要求越来越高，相应的，构成电子设备的电子元器件也被要求更加小型化和省电。尤其是谐振器，在众多的电子元器件中，低功耗谐振器的需求更急切，以期持续恒定工作，使设备能正常发挥功能。

提出了一种利用飞秒激光诱导化学蚀刻（FLICE）制造压电致动的石英晶体MEMS谐振器的方法。

www.sitimechina.com，客户服务热线400-888-2483。2022年2月1日——MEMS计时领域的市场领导者SiTime推出了SiTime®XCalibur™ 有源谐振器。这一创新的新产品类别利用可编程半导体解决了

晶体谐振器是一种基于压电效应的电子元件，具有精确的频率稳定性和长寿命特点，被广泛应用于各种电子设备和系统中。本文将介绍晶体谐振器的基本结构、原理、特征、类型、应用、相关技术以及晶体谐振器和晶体振荡器的不同。

陶瓷谐振器有多种不同的分类方式。按照外形可以分为直插式陶瓷谐振器和贴片式陶瓷谐振器，这是最为常见的一种分类方式。

传感器,EMS,谐振器

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的性能和优势，在现代电子设备中发挥着不可替代的作用。 首先，让我们来了解一下SMD3225陶瓷封晶体谐振器的基本结构和原理。这种谐振器主要由陶瓷封装和内部的晶体谐振片组成。陶瓷封装不仅为谐振器提供了稳定的机械结构，还具有一定的防护功能，

几乎所有的电子设备都需要频率控制，而传统的石英晶体谐振器主导应用市场几十年，由于市场规模巨大，石英晶体的制造已经达到精湛水准——不乏更小、更薄、频率更高的解决方案。

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2.    MEMS 振荡器提供更好的质量和可靠性质量和可靠性至关重要 - 不仅公司声誉受到威胁，而且返工成本高昂且耗时。 此外，部署在户外并暴露于环境压力下的系统必须特别坚固。 石英谐振器虽然是

① BAW谐振器的基本结构 ：FBAR， BAW-SMR 等 ② BAW谐振器的常用分析模型：BVD/ mBVD, Mosen, FEM 等 ③ BAW 谐振器的关键参数： 谐振频率 fs/ fp， 品质因数 Q0， 有效机电耦合系数 Keff 等。