磁阻传感器HMC102在车辆检测中的应用

　　一、引言

　　目前国内外智能交通行业车辆检测装置采用的技术除了最早研发的地感线圈技术以外，还包括光电技术、超声波技术、微波技术、视频技术等，然而后面几种技术容易受到日照、风雨、电磁场等外界干扰，应用范围受到很大的限制，因此地感线圈仍为主要的检测手段。地感线圈作为车辆检测器，是在道路表层下埋置环形感应线圈，以测定电感变化检测车辆是否存在。地感线圈虽然是相对成熟的车辆检测技术，但仍有许多缺点。利用AMR (Anisotropic Magneto Resistant)各向异性磁传感器进行的地磁车辆检测，通过检测汽车对地磁信号的扰动，判断车辆的到位及通过，从而实现车辆信息的分析、控制及管理，具有安装简便、抗干扰能力强、集成化程度高等更多优点。

　　二、AMR各向异性磁阻传感器的工作原理

　　物质在磁场中电阻发生变化的现象称为磁电阻效应。磁电阻效应有基于霍尔效应的普通磁电阻效应和各向异性磁电阻效应之分。对于强磁性金属(铁、钴、镍及其合金)，当外加磁场平行于磁体内部磁化方向时， 电阻几乎不随外加磁场而变; 当外加磁场偏离金属的内磁化方向时，金属的电阻减小，这就是各向异性磁电阻效应。

　　AMR各向异性传感器的基本单元是用一种长而薄的坡莫(Ni-Fe)合金用半导体工艺沉积在以硅衬底上制成的，沉积的时候薄膜以条带的形式排布，形成一个平面的线阵以增加磁阻的感知磁场的面积。外加磁场使得磁阻内部的磁畴指向发生变化，进而与电流的夹角发生变化，就表现为磁阻电阻各向异性的变化。从图1可以清楚地看到，坡莫合金薄膜的电阻依赖于磁化强度M 和电流I 方向的夹角θ ，即

　　式中，R// —电流方向与磁化方向平行时的电阻;R⊥—电流方向与磁化方向垂直时的电阻。

　　当电流方向与磁化方向平行时，传感器最敏感。而一般磁阻都工作于图中45°线性区附近，这样可以实现输出的线性特性。

　　美国霍尼韦尔公司磁阻传感器HMC102是一款性能优秀的磁阻传感器，其核心部分是由4个带状坡莫合金薄膜构成的惠斯通电桥。当其暴露在变化磁场中时，其电阻有所改变(ΔR)，引起相应输出电压的变化，图2所示是HMC1021的输出曲线，在磁场±6Gauss内有一个灵敏度为1mV/Gauss的线性区域，可精确提供磁场强度和方向变化的信息。通过将两个各向异性的磁阻传感器接在一起，该部件成为两轴传感器，将其水平安装后，能够将任何水平磁场分为X轴和Y轴向量分量。图3表示HMC1022传感器中该传感器的组合。当磁场方向为BS方向的地球磁场时，传感器将磁场分成Bx、By向量分量。这样，Bx、By就既能代表分方向，也能代表BS的幅值。当有铁磁性物质靠近传感器时，BS的方向和幅值就会发生变化。要注意的是，该器件在曝露于强磁场范围内使用时必须进行合适的置位/复位操作。霍尼韦尔磁传感器提供了在当地磁场范围内非常灵敏的磁阻传感器。可测量几十微高斯的磁场，这是霍尔元件所不能做到的。由于它的体积小、全固态、在某些场合下可以取代磁通门传感器。