尽管一般VNA的User Guider上都有仪器校准的方法,但是还有很多细节需要注意的:
1.设定测试参数
选择测试频率范围:一般的频率范围要稍微大于测试指标规定的范围,选择VNA Port激励功率,对于无源器件,可以选择稍微大的激励功率,例如0dBm,但是对于测试Amplifier等小信号器件,一般激励信号要小于器件的1dB压缩点,对于Power Amplifier等大功率器件,需要减小VNA的输入信号功率,同时要在PA的输出和VNA的输入间加入衰减器。但是过分减小VNA的输入信号功率,可能会使得S11和S22测量误差增大。如果对于多端口VNA,还需要选择测试port
2.选择校准件,选择校准方法,通过仪器校准的Guide完成校准
每个公司都有不同的规格的校准件,例如N型的,SMA型的,这个在校准之前一定要选择好,这个是因为厂家提供的校准件,开路短路负载等也不是理想的反射系数分别为1,-1和0。同公司的VNA中会定义校准件,将校准件的特性预先存入VNA,以便校准时求解误差方程。因此,如果校准件选择不当,校准的意义也就没有了。
在校准过程中,显示format对于校准是没有影响的,可用选择显示S11或者S21,显示可用为VSWR或者Smith Chart,这个不影响校准。
已SOLT为例,首先进行单端口校准,分别将开路短路负载加至VNA的port1和port2,按照仪器指示进行完成校准,再连接Thru件,完成直通校准。
3.校准结果检查
这一步不是必须的,但个人觉得作为一个优秀的射频工程师,这一步是至关重要的。
开路校准特性的检查:校准完成后,将开路件取下,显示S11和S22的Smith Chart,良好的校准使得测试显示曲线在整个测量频率范围内都在Smith Chart的开路点
负载校准特性的检查:校准完成后,将测试端口连接负载件,测试S11和S22的Smith Chart,良好的校准使得测试曲线在整个测量频率范围内都在Smith Chart的中心点
直通检查:校准完成后,将两端口连接Thru件,测试S12或者S21的dB曲线,良好的校准使得测试曲线在整个频率范围内平坦,且都在0dB。
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