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半导体压力传感器精密接口电路
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%。目前，我国MEMS压力传感器大约占整个MEMS传感器规模的26%。产品应用领域分析：汽车领域为最大应用市场之一半导体
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基于高温的微型压力传感器设计方案
0 引言 压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量轻，不能提供电学输出。随着半导体技术的发展，半导体
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