试验验证 - 一种电感式位移传感器的电路系统设计

　　用一等环规检定装置和数字电压表对测头的左、右齿面位移测量进行标定，标定方法采用静态特性标定法，标定试验记录见图3、图4.图中，k1 , k2 分别表示测头从零位运动到最大位移量和从最大位移量运动回零位测头的灵敏度。

　　标定公式如下：

　　式中： U为测头电路系统输出电压值，V; k为测头灵敏度，mV /mm; S 为测头位移量，mm; b为零位电压值偏移量，mV。

　　图3 左齿面测量数据曲线

　　图4 右齿面测量数据曲线

　　由标定记录可得到：

　　1) 测头的灵敏度

　　左齿面： - 010186 mV /mm;

　　右齿面： 010183 mV /mm.

　　2) 测头位移量线性测量范围

　　左齿面： 312~51112μm;

　　右齿面： 411~50717μm.

　　3) 零位电压值偏移量

　　左齿面： 41412 mV;

　　右齿面： 51027 mV.

　　实验数据表明测头电路系统测量精度较高，线性测量线性范围大( ±500 μm) , 满足891EA齿轮测量中心的测量需求。

　　4 结论

　　该电路系统可将测头所检测的细微位移量经过一系列信号调整及滤波、放大，转换为相应的直流电压信号。经过测头标定试验验证，证明该系统测量精度高、线性测量范围大、测量安全性能好，满足891EA齿轮测量中心的测量要求。