MEMS传感器在各类电子产品上快速普及，我们身边的智能手机、平板电脑等几乎所有电子设备无不包含，然而大部分人对MEMS技术还是比较陌生的。 MEMS技术的应用主要有传感器和执行器两部分，本文
2023-08-21 17:23:16
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MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34:57
MEMS技术
2012-08-14 23:03:38
MEMS将成为21世纪的重要技术途径和国家经济新的增长点，随着MEMS的创新应用，在我们人与人之间、人与周边环境的互联和信息的交互中起到越来越重要的作用。进来物联网爆发性发展，消费类MEMS及传感器
2015-09-25 10:22:26
电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米——1微米可是要比人们头发的直径小很多。 MEMS
2018-11-07 11:00:01
视频游戏系统和3D电影—或者是仓库库存管理和训练仿真器等工业应用。随着对于尺寸更小、亮度更高和效率更高的HD显示解决方案的要求不断提高，MEMS技术不断地发展成为一款能够包含在小外形尺寸器件内的技术
2018-09-06 14:58:52
如果一款移动电话设计要能实现未来用户所期望的各项广泛服务，创造性思维是不可或缺的；而许多产业观察者认为，微机电系统(MEMS)将是实现这种设计的下一波技术。
2019-06-26 06:59:26
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23:59
通常在毫米或微米级，具有重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉等优点，是近年来发展最快的领域之一。下面让我们来领略一下应用MEMS技术的黑科技吧。1、胶囊胃镜重庆金山科技有限公司生产的胶囊胃镜，为消费者开创
2018-10-15 10:47:43
极大的不同，参见图1。图1. ADI MEMS技术最初面向汽车要求，独有性能升级，同时改善SWAP和成本新一代航空电子平台满足下文表1中的惯性检测系统规格：表1. 惯性系统的关键航空电子性能目标ADI
2018-10-17 09:43:58
从可穿戴设备到家庭助理，越来越多的设备利用麦克风准确捕捉几乎任何声音。麦克风构造中最常用的两种技术是微机电系统（MEMS）麦克风和驻极体电容式麦克风（ECM），其中任何一种都有许多用例。本文将回
2019-02-23 14:05:47
MEMS（微机电系统）传声器为在各类设备中添加高级通信和监控功能扩展了机会。目前家庭数字助理和支持语音的导航设备的普及只是其中几个例子，还有更多迹象证明语音控制电子产品开始了巨大增长。鉴于MEMS技术已开始主导传声器领域的市场份额，现在正是审视MEMS传声器电气接口的现有类型和用法的好时机。
2019-08-08 08:43:37
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺和材料，以半导体制造技术为
2016-12-09 17:46:21
的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺和材料，以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术，学科交叉现象极其明显，主要
2018-11-12 10:51:35
。那么 按被测量来划分，MEMS传感器通常被分为以下7类。转自中国传感器** 1、压力传感器：绝对压力的传感器和计量压力的传感器。 2、热学传感器：温度和热量传感器。 3、力学传感器：力、压强、速度
2013-10-11 16:21:38
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微机电系统的缩写，MEMS技术建立在微米/纳米基础上，是对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术，完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。
2019-09-29 09:34:52
MEMS全称微型电子机械系统，相比于传统的机械，MEMS的尺寸更小，其大小在几微米及一个厘米之间，而厚度则更加微小。MEMS的生产技术与集成电路类似，可以大量套用集成电路生产中的技术、工艺等进行大批量、低成本生产。因此，性价比会有很大的提升。
2020-08-18 07:19:30
微小。采用以硅为主的材料，采用与集成电路（IC）类似的生成技术，可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺，进行大批量、低成本生产，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。完整的MEMS是由微传感器
2018-09-07 15:24:09
结构材料，而不是使用基材本身。[23]表面微机械加工创建于1980年代后期，旨在使硅的微机械加工与平面集成电路技术更加兼容，其目标是在同一硅晶片上结合MEMS和集成电路。最初的表面微加工概念基于薄多晶硅
2021-01-05 10:33:12
本文通过与市场上可买到的压电（PZT）状态监测加速度计进行比较，回顾了展示MEMS技术发展状况和性能水平的数据。 MEMS工艺技术的投资与设计创新相结合，大大提高了MEMS的性能，足以使MEMS成为
2018-10-29 17:11:46
陀螺仪(FOG)以前曾经是环形激光陀螺仪(RLG)等其他技术的低成本替代品，现在该技术面临着新的竞争。微机电系统(MEMS)陀螺仪开始抢夺传统FOG应用的市场份额。具体来说，天线阵列稳定、农业机械控制
2018-10-18 10:55:34
什么地点，由谁来起草这个标准也需要大量的时间。这是因为MEMS和半导体晶圆厂与传统封装厂之间的竞争将使最新和最高性能的封装技术得以开发，也使得更多的传统半导体晶圆厂开始为MEMS业界提供服务。
2010-12-29 15:44:12
到MEMS芯片，在MEMS开关器件周围形成一个气密保护外壳。无论使用何种外部封装技术，这种气密外壳都能提高开关的环境鲁棒性和使用寿命。图4为采用单刀四掷(ST4T)多路复用器配置的四个MEMS开关的放大图
2018-10-17 10:52:05
意法半导体公司推出一系列惯性传感器，极具诱惑力的价格配合卓越的产品性能，让意法半导体迅速扩大了在消费电子MEMS传感器市场的份额。公司在MEMS技术特性上实现了两全其美：更小尺寸、更低价格、更高
2019-11-05 06:19:06
作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，我们就来说说状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
很多通信系统发展到某种程度都会有小型化的趋势。一方面小型化可以让系统更加轻便和有效，另一方面，日益发展的IC制造技术可以用更低的成本生产出大批量的小型产品。MEMS
2019-06-24 06:27:01
作者：Mark Looney简介MEMS加速度计终于达到了能够测量广泛机器平台振动的阶段。其最近的能力进步，加上MEMS加速度计已有的相对于传统振动传感器的诸多优势（尺寸、重量、成本、抗冲击性
2019-07-22 06:31:06
可分辨磁场大小为36 nT。 3、展望 目前基于Lorentz力的MEMS谐振式磁传感器主要通过压阻、光学和电容感测技术来检测磁场。这些技术可为设计人员提供研制特定应用场合的最佳传感器方法，例如
2018-11-09 10:38:15
`作为一种新型封装器件，微机电系统(MEMS)将成为21世纪电子领域的重要技术之一，但是对于如何在PCB上装配MEMS，中国工程师仍知之甚少。要想在这一新兴技术领域占有一席之地，除了开发设计外
2014-08-19 15:50:19
中国初创企业（芯奥微、敏芯），所以楼氏电子的市场份额将继续下滑。MEMS麦克风厂商们都在研发创新的技术和制造解决方案，并及时申请专利来保护自己的发明。苹果iPhone6中的MEMS麦克风在一项专利侵权
2015-05-15 15:17:00
的应用，为新型麦克风技术的发展创造了机会。新技术应当能改善上述缺点，让制造商生产出更高质量、更加可靠的设备。微机电系统(MEMS)技术是电容麦克风变革的中坚力量。MEMS麦克风利用了过去数十年来硅技术
2019-11-05 08:00:00
）及KV/F的改进可形成更高的反馈力，最终形成更大的输入范围。 MEMS单元的刚度（k）是一个重要的系统设计参数，因为它可以在MEMS单元中得到很好的控制，不像X0,其最小值受MEMS技术的限制。假设
2018-12-05 15:12:05
近年来射频微电子系统(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到广泛关注，特别是MEMS开关构建的移相器与天线，是实现上万单元相控阵雷达的关键技术，在军事上有重要意义。在通信领域上亦凭借超低
2019-07-29 08:31:54
的应用前景[1]。在目前的通信系统中使用大量射频片外分立单元，如谐振器、滤波器、耦合器等，使系统的空间尺寸较大。利用MEMS技术可以同标准集成电路工艺兼容，制作的无源元件有利于系统集成度和电学性能的提高，并且成本更低。但随之而来的是对这类RF-MEMS系统元件和封装问题的研究，这些也成为人们关注的热点。
2019-06-24 06:11:50
STM32----释放您的创造力，一定学好STM32!!!
2012-07-06 16:26:08
STM32Cube生态系统，助力开发者释放创造力，本片文档主要介绍选型、原型评估、配置、编译、软件包、调试、烧录、监测和总结。
2023-09-05 06:10:05
STM32生态系统，释放您的创造力PPT
2015-06-12 14:55:59
STM32释放您的创造力
2012-08-03 08:22:10
作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，我们就来说说状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因
2018-10-11 10:31:14
介电常数的薄层绝缘介质,使得MEMS 金属桥与共面波导信号线在“关”态下形成MIM 电容的方法,实现了提高“关”“开”两种状态下的电容比,从而提高了单位长度上的相移量。在Ka 波段下，建立90°分布式MEMS 移相器的等效电路，并对其进行了仿真优化，达到要求的技术指标。
2011-08-03 11:01:38
样的转变来自于光学MEMS的技术进步——它们正变得更小、更灵活、质量更佳且更高效。先进MEMS正在将全新且创新型解决方案推进到一些应用领域，比如可穿戴技术、智能住宅和家用电器、汽车平视显示（HUD
2019-03-25 06:45:05
我公司是由在聚焦离子束（扫描离子显微镜）应用技术领域有多年经验的技术骨干创立而成。我们为集成电路设计和制造工业，光电子工业，纳米材料研究领域提供一流的分析技术服务。我们特别专注于离子束应用技术在
2013-09-03 14:41:55
最基础的牛顿第二定律。力是产生加速度的原因，加速度的大小与外力成正比，与物体质量成反比：F=ma。所以MEMS加速度传感器本质上也是一种压力传感器，要计算加速度，本质上也是计算由于状态的改变，产生的惯性力，常见
2021-04-09 07:00:00
最基础的牛顿第二定律。力是产生加速度的原因，加速度的大小与外力成正比，与物体质量成反比：F=ma。所以MEMS加速度传感器本质上也是一种压力传感器，要计算加速度，本质上也是计算由于状态的改变，产生的惯性力，常见
2021-05-25 07:00:00
什么是MEMS？MEMS = Micro-Electro-Mechanical System, 是用半导体技术，在半导体材料上刻蚀出来的微机械结构。下图左边是MEMS制程做出的微机械齿轮与螨虫的大小对比，右边是一个200um的微机械风扇叶片放大图。
2019-09-12 09:05:05
什么是RF MEMS？有哪些关键技术与器件？微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem)，简称MEMS，是以微电子技术为基础而兴起发展的，以硅、砷化镓、蓝宝石等为衬底
2019-08-01 06:17:43
什么是压电MEMS扬声器？压电MEMS扬声器UT-P 2016的指标规格有哪些？压电MEMS扬声器UT-P 2016的应用有哪些？
2021-06-16 08:50:27
的几个例子。 此外，系统通常使用会引起振动的冷却风扇。 这些振动应力会在晶体谐振器上引起频移和噪声。一些需要非常稳定的频率的系统，例如无线基站和小基站，可能会因振动而出现系统故障和服务中断。MEMS
2021-11-13 08:00:00
等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室
2020-05-12 17:27:14
力，然后将其换算成伏特或位值（位值用于数字输出加速度计），随后将换算结果传至微处理器，以便微处理器执行操作。得益于技术的最新发展，已经可以制造出微型低g和高g检测范围的MEMS加速度计，其带宽比以前
2018-11-01 11:33:50
最近几年利用微机电系统（MEMS；Micro Electro Mechanical System）技术，在硅晶圆基板表面制作机电结构的技术备受关注，主要原因移动电话与WLAN（Wireless
2019-06-25 08:07:16
如果一款移动电话设计要能实现未来用户所期望的各项广泛服务，创造性思维是不可或缺的；而许多产业观察者认为，微机电系统(MEMS)将是实现这种设计的下一波技术。 事实上，MEMS元件的推出已证实了其在
2019-07-26 08:16:54
如果一款移动电话设计要能实现未来用户所期望的各项广泛服务，创造性思维是不可或缺的；而许多产业观察者认为，微机电系统(MEMS)将是实现这种设计的下一波技术。 事实上，MEMS元件的推出已证实了其在
2019-07-26 06:22:58
尽管MEMS（微机电系统）技术在气囊和汽车压力传感器中的应用已有大约20年，但促使大众认识到惯性传感器作用的是任天堂的 Wii™和Apple® iPhone®手机。然而，在一定程度上，流行的看法
2019-07-16 06:49:53
基于MEMS的TI TI DLP® Pico™ 投影显示技术的核心是一组高反射性铝制微镜，被称为数字微镜器件 (DMD)。一个DMD可以包含数百万个单独控制的微镜，每个微镜位于相关的补偿金属氧化物
2022-11-18 06:41:21
当前MEMS技术在传感器领域已得到广泛应用并取得了巨大成功。使用硅基微机械加工方法制作的微传感器不仅体积小，成本低，机械牲好，并且能方便地与IC集成。形成复杂的微系统。
2011-03-22 17:44:34
的改进可形成更高的反馈力，最终形成更大的输入范围。 MEMS单元的刚度（k）是一个重要的系统设计参数，因为它可以在MEMS单元中得到很好的控制，不像X0,其最小值受MEMS技术的限制。假设ASIC
2018-11-06 16:07:28
移动电话设计要能实现未来用户所期望的各项广泛服务，创造性思维是不可或缺的；而许多产业观察者认为，微机电系统(MEMS)将是实现这种设计的下一波技术。
2019-10-08 06:52:41
工业应用环境的恶劣性对MEMS传感器的要求极其苛刻，如何选择耐高温、高稳定性的产品也是众多工业生产不可或缺的一步。ADI是MEMS创新产品的领导者,在工业应用领域有丰富的经验，现在我们可以与ADI
2014-10-15 14:15:44
能的ADGM1004 MEMS开关可以大幅提高易用性，同时在RF应用和0 Hz/dc应用中都能保持卓越的开关性能。ADI的MEMS开关技术具有从0 Hz/dc开始的世界顶级的带宽性能，相比RF继电器
2018-11-01 11:02:56
，MEMS惯性传感器用于汽车安全系统可显着提高系统可靠性，并降低系统成本，使汽车安全系统能够应用于大多数汽车。 功能集成度和性能的不断发展也有助于将MEMS加速度计和陀螺仪应用于许多不同的工业系统。 其中
2018-11-12 16:08:43
我遇到了Zynq 7020主板的问题，想和一位可以帮助我的工程师通电话，因为我认为在论坛上充分解释有点复杂。我无法通过服务门户提交技术服务请求;它只是将我重定向到论坛或告诉我打电话给我的经销商。有人
2020-05-25 07:40:15
易谱科技有限公司代理 Radant MEMS 公司在中国区的产品销售与技术支持服务。Radant 是一家专业设计、生产射频/微波开关的厂商，目前产品已在美国以及亚洲市场有了广泛的应用，与无线通信
2014-10-24 11:36:26
稳定控制系统中的刹车传感器，侧面气囊，与日益严格的排放标准相关的引擎控制，大气压力与废气再循环压力。这种传感器用单晶硅作材料，以采用MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片，然后在膜片上扩散杂质形成四只
2016-12-07 15:42:36
MEMS有各种尺寸和功能，从微型化的传感器芯片，到独特的微纳米架构，可以感知、测量、传输并控制几乎所有传感模式。MEMS实现了具有感知、控制和执行能力的增强型微系统，这在十多年前几乎无法想象。
2020-08-05 07:06:14
美国Sandia国家实验室开发的5层多晶硅表面硅MEMS集成工艺代表了这一方向的最高水平，它主要为军方的项目提供表面加工服务。与CMOS集成的机电一体化技术发展：相对体硅工艺，表面工艺由于保持了衬底
2018-11-05 15:42:42
MEMS惯性传感器在当今的众多个人电子设备中发挥着重要作用。 小尺寸、低功耗、易集成、强大功能性和卓越性能，这些因素促使着智能手机、游戏控制器、活动跟踪器、数码相框等装置不断创新。 此外，MEMS
2014-11-17 16:43:56
本帖最后由 gk320830 于 2015-3-7 11:21 编辑
释放MEMS机械结构的干法刻蚀技术湿法刻蚀是MEMS 器件去除牺牲材料的传统工艺，总部位于苏格兰的Point 35
2013-11-04 11:51:00
招聘有从业MEMS惯性传感器技术3年以上的研究生，联系方式：***
2019-01-31 11:38:18
随着传感器、物联网应用的大规模落地，微机电系统（MEMS）在近些年应用越来越广泛，MEMS的存在可以减小电子器件的大小。同时，与之相对应的MEMS封装也开始备受关注。
2020-05-12 10:23:29
随着MEMS 系统级设计成为研究的热点，MEMS 系统级CAD 的开发日益重要。论文介绍了一种基于降阶宏模型MEMS 系统级仿真平台，通过有限元方法提取MEMS 器件几何物理数据，建立MEMS 器件
2009-12-19 14:05:29
14 介绍了微机电(MEMS)封装技术,包括晶片级封装、单芯片封装和多芯片封装、模块式封装与倒装焊3种很有前景的封装技术。指出了MEMS封装的几个可靠性问题,最后,对MEMS封装的发展趋势
2009-12-29 23:58:1642 MEMS的应用
MEMS 技术的应用范围广泛[24～28 ] ,MEMS 技术是一种典型的多学科交叉的前沿研究领域, 几乎涉及到自然科学及工程技术的所有领
2009-03-17 15:29:391781 东方集成喜获海淀区公共技术服务平台认证
2009年11月，北京东方中科集成科技股份有限公司（以下简称“东方集成”）“科技租赁公共技术服务平台”获得中关村
2009-12-03 10:51:26492 MEMS交换,MEMS交换原理是什么?
采用微电子机械技术（MEMS）的光交换。这种光交换的结构实质上是一个二维易镜片阵，当进行光交换时
2010-03-20 11:03:48664 MEMS,什么是MEMS
MEMS（Micro Electromechanical System，即微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通
2010-03-20 16:08:241030 MEMS及其应用
MEMS技术是采用微制造技术，在一个公共硅片基础上整合了传感器、机械元件、致动器（actuator）与电
2010-07-26 10:13:15471 MEMS是什么意思呢?电子发烧友网为大家整理了MEMS技术,MEMS传感器,MEMS陀螺仪,MEMS麦克风等相关知识。深入详尽的解释了MEMS技术的发展及应用。
2012-03-31 16:54:29
ADI公司MEMS技术和音频处理技术是业内领先的, 而MEMS麦克风是基于MEMS技术的麦克风产品，是音频技术产品中的一类。本视频将为大家介绍ADI公司的MEMS麦克风产品的基础。
2019-07-05 06:18:005293 ；亚太MEMS市场在智能手机、平板电脑、可穿戴设备等电子产品产量大幅提高的带动下，规模进一步扩大。相比之下，中国MEMS产业尚处于起步阶段，与连续三年高增长的市场不相匹配。旺盛的市场需求与相对薄弱的产业形成反差，具有一定知名度和出货量的本土MEMS企业
2020-04-09 10:06:40308 Sofant将RF MEMS（射频微机电系统）用于其取得专利的高效MEMS天线平台，可解决无线通信系统面临的若干挑战。其最初目标是用于卫星通信和5G，利用MEMS天线技术降低电子扫描天线阵列70%以上的功耗。
2020-08-31 14:50:561539 简介：本节以truedyne sensor公司为例，介绍了他们的MEMS传感器技术的积累过程。MEMS传感器的技术核心，是硅谐振测量通道，与传统的谐振器技术相比，MEMS传感器具有许多的优点，例如
2020-12-28 15:42:4019381 传感器公司为例，介绍了他们的MEMS传感器技术。更详细的技术干货，带你进一步揭开MEMS技术神秘的面纱。01丨开拓—什么是MEMS技术MEMS的全称，是Micro-E
2021-10-29 18:24:49554 
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