德国半导体厂商英飞凌(Infineon)在2016年收购荷兰半导体设计公司Innoluce并取得其所研发微型雷射扫描技术后，目前正在开发采用微机电系统(MEMS)的光达(LiDAR)芯片，可望降低
2017-02-08 08:31:24
874 MEMS传感器在各类电子产品上快速普及，我们身边的智能手机、平板电脑等几乎所有电子设备无不包含，然而大部分人对MEMS技术还是比较陌生的。 MEMS技术的应用主要有传感器和执行器两部分，本文
2023-08-21 17:23:164251 
鉴于MEMS工艺源自光刻微电子工艺，所以人们很自然会考虑用IC设计工具来创建MEMS器件的掩膜。
2011-12-09 11:44:16858 越来越小）二、基本性能比较表项目 ECM 硅麦灵敏度一致性 差 好功耗 ＞350uA ＜160uA输出阻抗 2.2KΩ ＜100Ω抗冲击 ＜3000g ＞5000GX-ray检查 不可忍受 可忍受工作
2018-11-28 15:16:49
从可穿戴设备到家庭助理，越来越多的设备利用麦克风准确捕捉几乎任何声音。麦克风构造中最常用的两种技术是微机电系统（MEMS）麦克风和驻极体电容式麦克风（ECM），其中任何一种都有许多用例。本文将回
2019-02-23 14:05:47
MEMS（微机电系统）传声器为在各类设备中添加高级通信和监控功能扩展了机会。目前家庭数字助理和支持语音的导航设备的普及只是其中几个例子，还有更多迹象证明语音控制电子产品开始了巨大增长。鉴于MEMS技术已开始主导传声器领域的市场份额，现在正是审视MEMS传声器电气接口的现有类型和用法的好时机。
2019-08-08 08:43:37
典型应用如下图：随着电子技术的发展，MEMS的应用领域越来越广泛，由最早的工业、军用航空应用走向普通的民用和消费市场。在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别、方向定位、以及温度
2018-11-07 10:56:09
传感器芯片面积为5 mm x 5 mm，则一个8英寸（直径20厘米）硅片（wafer）可切割出约1000个MEMS传感器芯片，分摊到每个芯片的成本则可大幅度降低。非硅材料：近年来，MEMS的材料应用上
2016-12-09 17:46:21
20厘米）硅片（wafer）可切割出约1000个MEMS传感器芯片，分摊到每个芯片的成本则可大幅度降低。非硅材料：近年来，MEMS的材料应用上有被非硅材料逐渐替代的现象，学术研究人员现在开始专注于开发
2018-11-12 10:51:35
智能化的特点， 经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。在众多汽车传感器中，有越来越多的MEMS
2022-10-18 18:28:49
传感器曾经被局限在汽车市场和工业应用领域；今天，随着MEMS传感器越来越小，价格越来越低，能效越来越高，设计和应用空间不断扩大，它在消费类应用市场的普及率正在不断提高。 制造这些器件所采用的微加工
2018-10-31 16:56:44
MEMS传感器普及将加速物联网时代到来
2021-02-22 07:16:32
MEMS全称微型电子机械系统，相比于传统的机械，MEMS的尺寸更小，其大小在几微米及一个厘米之间，而厚度则更加微小。MEMS的生产技术与集成电路类似，可以大量套用集成电路生产中的技术、工艺等进行大批量、低成本生产。因此，性价比会有很大的提升。
2020-08-18 07:19:30
，由此带来电子系统数量和规模在不断扩充，尤其需要更多的MEMS传感器来感测碰撞的不同部位以及车身姿态。同时，通过多种传感器的融合，降低系统复杂度和系统成本，也是汽车安全系统发展的另一大趋势。 ADI
2014-08-08 11:08:12
微小。采用以硅为主的材料，采用与集成电路（IC）类似的生成技术，可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺，进行大批量、低成本生产，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。完整的MEMS是由微传感器
2018-09-07 15:24:09
层，该多晶硅层被图案化为可移动的机械结构，并通过牺牲性蚀刻下面的氧化物层来释放。叉指式梳状电极用于产生平面内力并以电容方式检测平面内运动。这种MEMS范例使制造低成本的加速度计成为可能适用于例如汽车
2021-01-05 10:33:12
应用不能接受的。比较测试中使用的是第二代器件，其噪声比第一代器件降低了两个数量级，而功耗降至第一代的40%。表2总结了两代MEMS加速度计的性能比较结果，并突出显示了性能改进。表2. 第一代和第二代
2018-10-23 14:29:49
。对于比较中使用的第二代设备，噪声比第一代降低两个数量级，而功耗降低到40％。表2总结了两种MEMS 加速度计的性能对比，突出表现了性能的提高。表2.用于状态监测的第一和第二个MEMS加速度计世代的主要
2018-10-29 17:11:46
低功耗可利用MEMS加速计(Accelerometer)传感器来增加电池寿命。传感器变得越来越省电，所嵌入的各种功能也有助于减少整体系统能耗。举例来说，当用户不使用该装置时，动作感应唤醒功能让整个系统保持休眠状态。不过还有很多其他的可能性，利用MEMS加速计来减少整体功耗。
2020-08-17 07:51:48
低功耗可利用MEMS加速计(Accelerometer)传感器来增加电池寿命。传感器变得越来越省电，所嵌入的各种功能也有助于减少整体系统能耗。举例来说，当用户不使用该装置时，动作感应唤醒功能让整个系统保持休眠状态。不过还有很多其他的可能性，利用MEMS加速计来减少整体功耗。
2020-08-12 07:15:31
。FOG仍然在性能上具有优势，但其成本却比MEMS高出10倍。如果可以使用GNSS，而且应用的目的是在开放天空环境中运行，则MEMS可以取代一些低端FOG。如果应用的目的是在信号不良的GNSS环境中使
2018-10-18 10:55:34
非常低廉的标准封装形式，因此采用塑料封装或与集成电路兼容的封装，这可以利用集成电路工业领域的成本优势。使用标准封装也降低了设计和测试时间，封装本身的成本也非常低。一个通行的准则是，如果MEMS器件可以
2010-12-29 15:44:12
可能长期保持接通状态。ADI公司已知晓这种情况，并竭力让MEMS开关技术实现出色的COL性能以降低寿命风险。通过深入开发，COL性能已从最初的50°C下7年（平均失效前时间）提升到业界领先的85°C下
2018-10-17 10:52:05
在通信领域上亦凭借超低损耗、高隔离度、成本低等优势在手机上得到应用。然而RF MEMS开关普遍存在驱动电压高、开关时间长的问题，劣于FET场效应管开关和PIN二极管开关。相对于国外已取得的成果，国内的研究尚处于起步阶段。下文将针对MEMS开关的缺陷做一些改进。
2019-07-29 07:57:25
损耗、高隔离度、成本低等优势在手机上得到应用。然而RF MEMS开关普遍存在驱动电压高、开关时间长的问题，劣于FET场效应管开关和PIN二极管开关。相对于国外已取得的成果，国内的研究尚处于起步阶段。下文将
2019-07-08 08:02:54
和汽车业MEMS（参见图2）目标是同时保证性能和成本水平。 图2. 即使在极端运动动力学条件下，工业MEMS设备也能够降低噪声和稳定运行。与消费类领域相比，工业和汽车领域需要在相对复杂和极端的环境中精确
2018-10-30 14:52:39
，MEMS规模的器件，小到可以使用与目前集成电路类似的批量生产工艺制造。如同集成电路产业一样，批量制造能显著降低大规模生产的成本。在一般情况下，微机电系统也需要非常量小的材料以进行生产，可进
2018-11-07 11:00:01
元件抵消了可能出现的衍射效率损失，并且保持系统亮度。制造工艺的进步将对系统对比度的影响降到了最低。Pico投影技术变得越来越小、越来越亮，并且功效越来越高，从而在小外形尺寸产品中实现了创新型高清投影
2018-09-06 14:58:52
Bob Scannell，ADI公司业务开发经理最近几代的MEMS技术已经能够为航空电子设备提供高度可靠的关键性能，可大幅降低尺寸、重量、功耗(SWAP)和成本。在航空电子行业以及其它同样具有高要求
2018-10-17 09:43:58
，MEMS惯性传感器用于汽车安全系统可显着提高系统可靠性，并降低系统成本，使汽车安全系统能够应用于大多数汽车。 功能集成度和性能的不断发展也有助于将MEMS加速度计和陀螺仪应用于许多不同的工业系统。其中
2018-11-12 15:45:28
，这是修修补补的改造所不能实现的效果。由于MEMS振荡器的实现原理完全不同于以往的石英晶振，因此它可以克服现有石英晶振的很多先天劣势。具体总结如下：由采用全硅MEMS技术所带来的优势，下面从体积到性能
2016-06-04 10:18:38
微机电系统 (MEMS) 将很快成为智能系统设计和构造不可或缺的部分。这些器件缩短了物理世界和电子世界之间的差距，它们用于众多应用，涉及各种细分市场。在众多细分市场中，价格降低、准确度要求提高和快速面市需求将对设计和制造性能提出新的约束条件。企业要获得成功必须找到新的方法来应对这些挑战。
2019-10-17 07:11:28
。 在此背景下，以MEMS为代表的智能传感器技术得到了快速的发展。与传统的传感器技术相比，MEMS体积小、重量轻、成本低、能耗低、可靠性高、易于批量生产、智能化高。现在正处于高速发展的态势。 ADI
2018-12-18 14:35:44
在半导体制造设备中的生产能力，也可用于工业和航空领域，有助于降低总体成本。此外，过去25年来，汽车应用领域已安装了超过十亿个传感器，事实证明，MEMS惯性传感器的可靠性和质量都很高。MEMS传感器
2018-10-12 11:01:36
作者：Mark Looney简介MEMS加速度计终于达到了能够测量广泛机器平台振动的阶段。其最近的能力进步，加上MEMS加速度计已有的相对于传统振动传感器的诸多优势（尺寸、重量、成本、抗冲击性
2019-07-22 06:31:06
向速度变化率，如果车辆受到追尾或侧向冲击，或者遇到路面凹坑而弹起，气囊都不应被触发打开。现在越来越多的汽车安装侧向安全气囊，由另一个独立的感应器检测其侧向运动情况。任何影响方向感应或减速检测的因素都会
2014-08-19 15:50:19
IC Insights预期，今年MEMS产值可望攀高至80亿美元。 在中国庞大的市场上，平板电脑和智能手机等消费电子仍将是MEMS传感器增长的主要市场领域。MEMS传感器普及的主要动力来自于成本
2014-08-13 13:49:08
，电源上的任何纹波都会直接出现在输出信号上。MEMS麦克风优异的PSRR为音频电路设计提供的自由度是ECM无法比拟的。器件数量和系统成本得以降低。在助听器之类电池供电的微型应用中，每毫瓦功耗都至关重要
2019-11-05 08:00:00
导读：传感器性能对MEMS和ASIC参数的高度依赖性表明，闭环传感器的系统级设计需要做大量的折衷考虑，其中的ASIC噪声预算、激励电压、功耗和技术都高度依赖于MEMS参数。 微机械式惯性传感器
2018-12-05 15:12:05
刚毕业的时候IC spec动则三四百页甚至一千页，这种设置和使用方法很详尽，但是这几年IC datasheet为什么越来越薄了，还分成了IC功能介绍、code设置、工厂量产等等规格书，很多东西都藏着掖着，想了解个IC什么东西都要发邮件给供应商，大家有知道这事为什么的吗？
2024-03-06 13:55:43
损耗、高隔离度、成本低等优势在手机上得到应用。然而RF MEMS开关普遍存在驱动电压高、开关时间长的问题，劣于FET场效应管开关和PIN二极管开关。相对于国外已取得的成果，国内的研究尚处于起步阶段。下文将针对MEMS开关的缺陷做一些改进。
2019-07-29 08:31:54
的应用前景[1]。在目前的通信系统中使用大量射频片外分立单元，如谐振器、滤波器、耦合器等，使系统的空间尺寸较大。利用MEMS技术可以同标准集成电路工艺兼容，制作的无源元件有利于系统集成度和电学性能的提高，并且成本更低。但随之而来的是对这类RF-MEMS系统元件和封装问题的研究，这些也成为人们关注的热点。
2019-06-24 06:11:50
USB产品的应用越来越广泛，USB仪器逐步确立主流地位
2021-05-12 06:33:37
的时机是否成熟，例如状态监控？预计MEMS的性能将会持续大幅提升，为状态监控设备设计人员提供更多选项，进而实现新一代智能传感器、无线传感器以及低成本、垂直集成系统。
2018-10-11 10:31:14
的状态，这一点始终很重要。 自动语音识别（ASR）是一种将语音信号自动转录为书面文字的过程，ASR的转录准确性越来越接近人类水平，目前约为95％。 到目前为止，使用ASR，只有在环境条件更有利的实验室中
2020-09-01 18:48:02
）上，我看到，这项技术已经越来越受欢迎。 市场分析师同样认为DLP技术还有巨大的、未被开发的潜能。根据Yole Development 公司和Grand View Research公司的预测，MEMS
2019-03-25 06:45:05
具有重大的战略意义。而在整个物联网生态中，MEMS 传感器正扮演着越来越重要的角色，在即将到来的智能物联网时代中将起到核心作用，为新科技产品提供更智能、更敏锐的感知能力。中国作为全球最大的电子产品
2020-08-06 06:03:50
`MEMS全称Micro Electromechanical System（微机电系统），是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合
2020-05-12 17:27:14
的时机是否成熟，例如状态监控？预计MEMS的性能将会持续大幅提升，为状态监控设备设计人员提供更多选项，进而实现新一代智能传感器、无线传感器以及低成本、垂直集成系统。敬请关注该主题未来发展的更多信息
2018-10-29 16:57:40
「软件无线技术（SDR；Software Defined Radio）」，试图应用在各种移动通信系统，在此前提下如果应用MEMS技术，可望制成可变电容器与可变电感器等无线通信元件。
2019-06-25 08:07:16
在过去10年里，以人类语言和音频信号为媒介的人机交互应用在日常生活的作用越来越重要。设备本身必须充分利用不同的功能，才能取得最佳的性能，例如，音频定位、自动语音识别、自动说话人识别等。本文着重探讨取得这些结果所需的算法和完整的嵌入式方案即MEMS麦克风阵列所需的硬件架构。
2021-06-02 06:48:48
，MEMS开关的体积缩小多达95%，可靠性提升10倍，速度提升30倍，功耗降低10倍。ADGM1004 MEMS开关为ADI公司性能优异的开关产品阵营又添异彩。作者简介Eric Carty于1998年
2018-11-01 11:02:56
MEMS（微机电系统）传感器都有哪些优点？为什么MEMS（微机电系统）传感器受消费者欢迎？
2021-06-17 07:45:15
优点，研发出兼具成本效益与高精准度的新一代MEMS专属制程--THELMA60，并已用于加速度计和陀螺仪生产，可望大幅提升MEMS元件性价比，开创新的应用市场。
2020-05-05 06:36:14
，MEMS惯性传感器用于汽车安全系统可显着提高系统可靠性，并降低系统成本，使汽车安全系统能够应用于大多数汽车。 功能集成度和性能的不断发展也有助于将MEMS加速度计和陀螺仪应用于许多不同的工业系统。 其中
2018-11-12 16:08:43
新人报道，祝论坛越来越旺。
2012-04-02 15:12:04
易谱科技有限公司代理 Radant MEMS 公司在中国区的产品销售与技术支持服务。Radant 是一家专业设计、生产射频/微波开关的厂商，目前产品已在美国以及亚洲市场有了广泛的应用，与无线通信
2014-10-24 11:36:26
已达数十年，并且已经应用在特定利基市场。 但是，只有 MEMS 技术成熟到能够实现低成本、小规格设备的程度，这些 IMU 在各种应用中的实施规模才会急剧攀升。虽然这些 IMU 的性能在要求不高的应用中
2017-03-31 12:31:30
MEMS传感器典型应用如下图：随着电子技术的发展，MEMS的应用领域越来越广泛，由最早的工业、军用航空应用走向普通的民用和消费市场。在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别
2016-12-07 15:42:36
的时机是否成熟，例如状态监控？预计MEMS的性能将会持续大幅提升，为状态监控设备设计人员提供更多选项，进而实现新一代智能传感器、无线传感器以及低成本、垂直集成系统。敬请关注该主题未来发展的更多信息
2018-10-18 11:36:54
经常亲眼见证这些创新，我也相信DLP技术可以在更加广阔的消费类市场有所作为，在刚刚过去的美国国际消费类电子产品展（CES）上，我看到，这项技术已经越来越受欢迎。 市场分析师同样认为DLP技术还有巨大的、未被开发的潜能。根据Yole Development 公司和Grand View Researc…
2022-11-14 06:34:02
电子设备和通信系统设备的振荡器选择是影响系统性能的主要因素。目前振荡器有两种：石英晶体振荡器是由石英晶体的基本结构构成，和一个简单的振荡器电路。全硅MEMS谐振器，锁向电路，温度补偿，以及制造校准
2020-05-30 13:25:53
蓝牙技术越来越鸡肋热43已有 1631 次阅读2012-04-26 10:06标签:蓝牙技术
蓝牙是现代数字无线领域中的一个小小奇迹，但这项技术正在变得越来越鸡肋，让一部分用户深感无奈
2012-09-16 05:05:07
随着More-Than-Moore(超摩尔定律)的口号越来越响亮，逐渐带动物联网(IoT)、智能穿戴设备的兴起。而这些设备里面不可或缺的就是MEMS传感器，所以前面花了两堂课讲了一些MEMS相关
2021-11-17 07:45:26
作者：Ed Spence市场上出现了很多采用微型机电系统(MEMS)加速度计作为核心传感器的高度集成和易于部署的状态监控产品。这些经济产品有助于减少总体部署和拥有成本，并且可在该过程中扩展受益于状态
2019-07-17 06:38:53
MEMS惯性传感器在当今的众多个人电子设备中发挥着重要作用。 小尺寸、低功耗、易集成、强大功能性和卓越性能，这些因素促使着智能手机、游戏控制器、活动跟踪器、数码相框等装置不断创新。 此外，MEMS
2014-11-17 16:43:56
微机电系统（MEMS）技术是通过使用先进的微制造技术将机械器件、传感器和电子组件部署在单个硅基板上而实现。如今，这些技术已经逐渐取代了汽车市场各种车型使用的大部分传感装置，并带来系统在降低成本、持续可靠性（由于固有的稳健性）、空间利用（由于其紧凑的尺寸）以及工作性能等方面相当大的设计优势。
2019-08-02 06:35:04
微机电系统(MEMS)运动IC在走向更高的集成度、更小的芯片尺寸、更低的成本以及更高的性能和可靠性。这些趋势在最新的加速度计、陀螺仪和惯性测量单元(IMU)上得到了体现，使得MEMS器件得以满足多种下一代电子产品，特别是消费电子产品的需求。
2019-10-29 07:52:04
随着传感器、物联网应用的大规模落地，微机电系统（MEMS）在近些年应用越来越广泛，MEMS的存在可以减小电子器件的大小。同时，与之相对应的MEMS封装也开始备受关注。
2020-05-12 10:23:29
采用PC的IC工具降低MEMS设计方法
鉴于MEMS工艺源自光刻微电子工艺，所以人们很自然会考虑用IC设计工具来创建MEMS器件的
2010-03-11 14:23:33467 模拟IC设计公司SiTime发表以矽MEMS技术取代石英振荡器OCXO和TCXO的新产品，运用微机电系统(MEMS)技术将各种频率烧制成一颗IC，可减少体积及成本，并以标准化制程，缩短生产时程。SiTim
2011-11-16 10:32:07626 我们来探究一下可以提高基于MEMS的OXC系统的连接可靠性的技术和工程设计方法。微机电系统(MEMS)是一种能够实现大的规模效益、优越的旋光性能以及降低电信光交换成本的必需技术
2011-12-28 10:30:451648 
如今MEMS（微机电系统）应用越来越广泛，MEMS（微机电系统）陀螺仪可提供反馈检测机制，对优化导航系统性能非常有用.
2012-12-10 13:55:211508 频率稳定度。 而SiTime的TempFlat MEMS是一个革命性的突破，通过消除温度补偿需求，大幅度的促进了性能的提高，尺寸的缩小，功耗和成本的降低。
2013-07-11 09:15:231108 麦克风是一种将声压波转换为电信号的换能器。在音频信号链中有越来越多的传感器与其它元件集成在一起，ME MS 技术则使得麦克风越来越小，并且可以提供模拟或数字输出。 模拟和数字麦克风输出信号
2017-09-14 16:23:36
42 对微机电系统（MEMS）麦克风的需求越来越多，MEMS麦克风提供高性能和保真度及可靠性在紧凑的尺寸内，适用于便携式设备。
2017-09-18 17:47:0251 ，独立的MEMS代工厂努力寻求标准化的工艺以提升规模经济，减少制造时间和降低成本，使得独立的MEMS代工厂快速成长，但目前IDM代工仍处于市场领导地位。
2018-07-31 09:24:002544 因为技术和经济的原因，MEMS传感器曾经被局限在汽车市场和工业应用领域；今天，随着MEMS传感器越来越小，价格越来越低，能效越来越高，设计和应用空间不断扩大，它在消费类应用市场的普及率正在不断提高。
2018-05-19 01:32:002316 随着传感器、物联网应用的大规模落地，微机电系统（MEMS）在近些年应用越来越广泛，MEMS的存在可以减小电子器件的大小。同时，与之相对应的MEMS封装也开始备受关注。
2020-05-11 17:27:55988 
随着微机电和惯性技术的发展，MEMS惯性器件技术越来越成熟，MEMS陀螺以其性能高、尺寸小、能耗低、可靠性高、重量轻、价格低等优点，在低成本姿态测量系统中的应用越来越广泛。
2020-07-14 16:04:211711 
在整个MEMS生态系统中，MEMS封装发展迅速，晶圆级和3D集成越来越重要。
2020-07-21 11:09:221426 MEMS器件具有重量轻、体积小、成本低、功耗小等优点，非常有利于MEMS器件在电信和消费电子等行业中的应用。近年来，MEMS技术在汽车行业尤其是包括安全气囊系统在内的车辆安全系统中越来越受到青睐。
2022-09-07 09:16:181536 MEMS器件具有重量轻、体积小、成本低、功耗小等优点，非常有利于MEMS器件在电信和消费电子等行业中的应用。近年来，MEMS技术在汽车行业尤其是包括安全气囊系统在内的车辆安全系统中越来越受到青睐。
2023-05-20 15:01:551917 
MEMS传感器的分类复杂，全球每年消耗的MEMS传感器数以亿计，这些MEMS传感器的被广泛应用于智能手机、汽车电子、智能制造等领域。由于不同MEMS器件的功能和性能都存在差异，以往的测试方案都是采用定制化的仪器。造价高昂的测试方案导致MEMS传感器厂商的测试成本提升，最终由消费者买单。
2022-09-13 14:48:22746 
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