20年后的MEMS在国内是否还有出路

　　MEMS技术尤其是在传感器上的应用，在中国将来会有很大的市场。由于***的讲话，物联网、传感网也被各地政府重视，而物联网的核心技术除了无线传输就是传感器，而传感器现在有很多是用MEMS技术来制造的。可以说，在中国的发展潜力是很大的。

　　但是MEMS技术的行业门槛比较高，国内几乎就没有一流的Fab，大多数大学的研究也主要是进行前段的模拟设计研究，只有少数大学/公司有一定程度的工艺积累，相对国外比较落后。MEMS技术还没能像CMOS那样形成行业标准的工艺平台，国内又没有能够有希望制定行业标准的高端Fab，因此国内大多数公司以及创业者都停留在前端设计或者炒概念的阶段。MEMS的Fab投资巨大，对创业团队的要求比较全面，国内很难有一支团队能够整合。现阶段中国很多从事MEMS行业的人士（很多是半导体行业的）都会走和国外合作或者和大学合作的道路切入。国内积累的薄弱让这个行业风险巨大，希望将来不会成为一个概念泡沫。

　　中国未来20年，是物联网，人工智能和智能制造规模化发展的时代。无论是哪个领域，传感器作为感知层，都会发挥不可替代的作用。当传感器达到一定数量规模的时候，MEMS技术就会凸显出优越性：低成本，批量化，可大规模生产等特点，注定未来会发展潜力巨大。

　　从过去十几年来看，国内除了这手机麦克风MEMS传感器等少数领域外，MEMS发展不如IC，因为传感器功能，形态各异，其设计和工艺都没有标准化流程，需要Fabless和Foundry在不同领域不断积累，但是从政府投资来看，未来一定会跟IC一样，在汽车，物联网等众多领域形成遍地开花的局面。

　　目前国内厂商和科研院所对于MEMS设计和工艺通常一起做，因为MEMS设计具有独特性，但并不复杂，不像IC那样需要大规模团队去完成前端和后端设计，MEMS设计与工艺的关联性也非常大。未来可考虑在应用领域比较广泛的的几个产品方向像压力计，加速度计，陀螺仪等领域进行布局。MEMS+IC的智能传感器方案也会是未来发展的大方向。

　　现有的可实用的MEMS装置好像没有下面的例子那样足够微型化。

　　1·小型装置的分布式动力系统：

　　传统机械的传动和自然界中生物的运动传动方式最大的不同在于：机械工业中一般采用一个原动装置和若干复杂的传动链来实现某种特定功能，为保证其功能实现，必须要对其传动链进行复杂和精准的设计；而生物的每一块肌肉都是可以发力的，因为其动力系统是肉眼不可见的线粒体，密布在每一个细胞中，其自由度很大，依赖各种感官（传感器？）构成反馈控制，来得到相关的经验，再按照经验来运动。

　　而MEMS是机械实现模拟后者的一个很好的途径：而后者的优点有很多，因为不需要依赖刚性的传动装置来有效地传递力矩，因此可以加入更多的缓冲装置，因为动力分部式设计，传动链比较短，控制设计上也更加方便，简单。

　　2：医用微型机械装置：

　　小时候看的甚觉不靠谱的纳米机器人说不定会正式在历史长河中登场了。再复杂的化学分子实现不了的药理作用，通过程式控制的微型装置都可能实现。这是多么令人狂喜的一件事情。药理学这门课的重心也许将会从介绍药物药理作用发展到通过微型电子机械设计药理作用过程，那是多么令人吃惊的改变啊。

　　综上，MEMS行业将来在国内市场巨大，也有政府支持，但是国内积累薄弱，起步比较艰难，风险不小。