中国大陆关于MEMS和NEMS的发展情况

　　MEMS/NEMS在全球蓬勃发展，中国大陆作为一个重要的市场也必然有迅速的发展。本站首次对国内知名的MEMS/NEMS企业做了统计，以对行业发展状况进行初步的分析。本次统计了28家大陆MEMS研发企业，既包括已成立数十年的老牌公司，也有刚刚成立的新锐公司，遍及8个省级行政区。

　　地域分布

　　北京、陕西和江苏是MEMS/NEMS企业最多的省/直辖市，上海、重庆也有较多企业。山东、河北、辽宁和广东四省也有相关企业。

　　北京地区的高校和研究所众多，科研实力雄厚，从事MEMS/NEMS研发起步较早，而且政府和有关高校对于科技研究的产业化也给与大力支持。

　　陕西省教育、科研和工业实力在西部地区排名前列，有为数众多的高校和研究所，还拥有航空研发和制造基地，包括多家著名的飞机设计所和飞机制造公司，这些都为MEMS/NEMS企业的发展提供了很好的机会。

　　江苏省位于东部沿海，财力雄厚，科技发展速度快，整体科技和工业水平均较高。而且江苏省各地政府部门对于高新技术发展支持力度很大，苏州市着力打造苏州工业园区生物纳米科技园，希望使其成为生物科技的创新平台。无锡市积极建设中国微纳国际创新园，并将微纳米产业作为重点发展对象。

　　上海市也是院校和科研院所云集，人才济济。位于长三角的核心地带，产业发展的相关条件都十分优越。重庆科研院校为数不少，工业基础好，有多家老牌的仪器仪表企业，政府亦十分关注MEMS产业的发展并作出了很多努力。

　　简评： 这些省市境内一般都有众多的知名高校和研究所，科技实力领先；地方政府对于科技发展确实重视，有相应的政策和措施来支持微纳产业的发展。

　　产品类型

　　首先关注两家加工设备提供商，其中北京七星华创电子股份有限公司的背景是七星华电科技集团，历史可以追溯到原700厂、706厂、707厂、718厂、797厂、798厂六家国家骨干电子企业，研发实力为国内最强。另一家设备商–创威纳科技有限公司的主要技术人员曾在中国科学院微电子中心、清华大学等单位长期从事半导体设备及工艺研究工作，具有较强的产品研发实力。加工设备是行业发展的基础设备，为了给为国内企业提供持久的技术支持，自主研发加工设备是必由之路。我们期待未来将会有越来越多的自主设备出现在工艺线上。

　　在MEMS/NEMS器件及系统方面，当前主要产品包括：压力传感器、惯性传感器、声学传感器、地震检波器、生物芯片、微流体芯片、微内窥镜。

　　研发压力传感器的单位众多，这也与压力传感器在国内研究起步较早有重要关系。在此要重点提到的是宝鸡秦明传感器有限公司，其研发部门前身为宝鸡传感器研究所，是国内最早开展微压力传感器研究的单位之一，并且带动了多家企业，例如位于江苏的昆山双桥传感器测控技术有限公司就与宝鸡传感器研究所颇有渊源。压力传感器发展迅速也与市场的巨大需求分不开，广泛用于工业领域的测试控制、医疗领域、汽车领域，在未来几年市场还将迎来更大的发展，例如轮胎压力监测系统（TPMS）。

　　惯性传感器一直是MEMS产业的重要推动力量，在国内市场也是如此。北京、河北、陕西、上海均有进行惯性MEMS研发和生产的单位。在此要重点关注的是陕西省，其境内有众多企业均从事惯性MEMS研发，例如业内颇具名气的西安中星测控有限公司。这与陕西省的科技发展历史有关，陕西是重要的航空研发/生产基地，包括中国航空工业集团公司第一飞机设计研究院、西安飞机工业（集团）有限责任公司和陕西飞机工业（集团）有限公司等。目前国内的惯性MEMS在性价比和精度、量程等方面还需提高，以增强竞争力。

　　声学传感器方面，主要有两家企业：位于山东的歌尔声学股份有限公司和苏州敏芯微电子技术有限公司。业已上市的哥尔声学致力于电声行业微型电声元器件和消费类电声产品的研发和制造，主要产品包括微型麦克风、微型扬声器/受话器等。苏州敏芯成立时间较短，但较为活跃，目前主要产品是微型硅麦克风芯片。

　　地震检波器在矿产勘探方面应用广泛，MEMS检波器以高性价比正逐步获得更多市场份额。 威海双丰电子集团有限公司和西安思坦地震技术有限公司致力于这方面的研究，经过十多年的发展已发展了多类产品并应用。

　　生物医疗领域也有数家企业具有相当实力。博奥生物有限公司已经研发出了多种生物芯片及芯片实验室，在国内外均有较高的知名度。博奥生物以清华大学、中国医学科学院等科研单位为技术依托，研发实力当属一流，但是当前国外相关企业也很多，竞争亦很激烈。重庆金山科技（集团）有限公司的拳头产品是基于MEMS技术的胶囊内窥镜和硅微型泵，其中胶囊内窥镜项目技术达到国际领先。

　　简评：产品种类比较少，主要还是惯性器件和压力传感器，而且多是中低端产品。一方面这与市场的需求导向有关，另一方面这也反映了国内MEMS/NEMS企业的一个弱点—总体上研发实力不够，创新性强的新器件、新系统鲜有出现。重庆金山科技的胶囊内窥镜在这方面表现可圈可点，值得借鉴和学习。

　　公司规模/注册资本/营业额

　　注册资本能在一定程度上反映企业的投资规模和实力，我们对比了能从22家MEMS企业的注册资本，以从一个方面反映国内MEMS企业的发展状况。从图中可以看出，大部分MEMS企业的注册资本在5000万以下（占82%），其中注册资本在500万以下的约占36%，注册资本在1000万-5000万（不含）的占36%，说明中国大陆的MEMS企业主要是中小企业。注册资本在1亿以上的共有三家，北京七星华创电子股份有限公司、北京博奥生物芯片有限公司和歌尔声学股份有限公司，注册资本分别为9亿、3.765亿和1.2亿人民币。以上三家企业在各自领域都是佼佼者。

　　总体来看，中国大陆的MEMS企业还有很大的发展潜力。身处全球最大的MEMS市场，国内的MEMS企业有着显著的市场优势，而现有的企业数量和发展规模与巨大的市场很不相称。

　　研发类型

　　MEMS是一项新兴的技术，最初多来自高校和研究所，或是国企，因此走向产业化的MEMS企业也与高校和研究所有着千丝万缕的联系。我们将中国大陆的MEMS企业的发展类型分为三种：源自高校和研究所，源自国企，自主研发。

　　1.源自大学、研究所

　　◆ 北京青鸟元芯

　　以“北京大学微电子学研究院“和“微米/纳米加工技术国家级重点实验室“为技术依托。

　　◆ 博奥生物

　　以清华大学、中国医学科学院等科研单位为技术依托，是生物芯片北京国家工程研究中心。

　　◆ 西安维纳信息测控有限公司

　　以西安交通大学为技术依托。

　　◆ 上海芯敏微系统技术有限公司

　　以中科院上海微系统所传感技术国家重点实验室为依托。

　　◆ 沈阳汇博实业公司

　　以沈阳仪器仪表工艺研究所为依托。

　　◆ 北京创威纳科技有限公司

　　主要技术人员曾在中国科学院微电子中心、清华大学等单位长期从事半导体设备及工艺研究工作。

　　◆ 歌尔声学股份有限公司

　　与中科院声学所、北京邮电大学等国内外多家知名高校和科研机构建立了长期的战略合作伙伴关系。

　　2.源自国企

　　◆ 七星华创

　　北京七星华电科技集团有限责任公司，是在原七○○厂、七○六厂、七○七厂、七一八厂、七九七厂、七九八厂六家建于“一五”期间的国家骨干电子企业的基础上，重组、改制而成的高科技企业集团。

　　◆ 宝鸡秦明传感器有限公司

　　是我国第一个专业化生产压阻压力传感器技术研究开拓者之一，中国第一个传感器专业研究所—宝鸡传感器研究所是其开发研究中心，是集科研，生产，销售为一体的国有企业。

　　◆ 昆山双桥传感器有限公司

　　其总经理王总原任宝鸡秦岭晶体厂总工程师，宝鸡传感器研究所所长。

　　3.自主研发/归国创业

　　◆ 重庆金山科技（集团）有限公司

　　自主研发。

　　◆ 苏州敏芯微电子技术有限公司

　　海外留学人员创业。

　　◆ 深迪半导体（上海）有限公司

　　海外归国人员创业。

　　总体来说，目前国内的MEMS企业的研发大多是依托高校、研究所，或者本身就是具有研发能力的国有企业。近年来海外留学人员归国创立的MEMS企业也越来越多。自主研发的民企中，重庆金山是出色的代表，其标志产品“胶囊内窥镜”即为其自主研发。我们也希望看到越来越多的有特色的MEMS企业涌现。