中国MEMS技术产业的重大机遇

　　我国MEMS产业发展也面临着重大机遇，特别是移动互联网和物联网的快速发展，将对MEMS产业产生深远的影响，并将催生大量新的产品、新的应用，带动MEMS产品在日常生活及工业生产中的普及化。

　　从中国科技大学获悉，中国科学院院士郭光灿领导的中科院量子信息重点实验室在基于碳纳米管的纳米机电系统（NEMS）方面取得系列重要进展。该实验室固态量子芯片组郭国平研究组与清华大学姜开利研究组等合作并成功实现了两个串联碳纳米管谐振器的强耦合、碳纳米管谐振器中两个模式的强耦合，并利用这种耦合实现了声子的相干操控。相关成果分别发表在国际权威杂志《纳米快报》和《纳米尺度》上。

　　碳纳米管由于其良好的电学性能、优异的力学性能，近年来被广泛应用于纳米机电系统的相关研究中，其在质量、微力、气体、位移等物理量的测量方面也具有广阔的应用前景。特别地，碳纳米管谐振器的机械模式和单分子磁体、单电子电荷以及自旋等物理量具有较强的耦合，可以用来探索纳米尺度下的物理现象，是一种品质优良的量子传感器件。

　　在量子信息领域，纳米谐振器中的声子可以保持较长的相干时间，可以保持相干进行远距离的传输，是一种良好的飞行量子比特，被认为是量子数据总线的候选者之一。围绕探索声子作为量子数据总线这一目标，郭国平研究组开展了多机械振子长程耦合方面的研究，并在碳纳米管机械振子上首次实现了两个串联机械振子的强耦合，同时也观测到了两个机械振子分别和量子点的强耦合。该新型耦合机械振子器件为研究电子-声子相干相互作用、电子长程耦合以及电子纠缠态提供了新的平台。利用声子作为飞行量子比特也为量子数据总线研究提供了新思路。

　　在实现了声子的长程耦合、长程传递的基础上，量子数据总线的研究还需要实现对声子的相干操控。机械振动高阶模式的研究对超灵敏传感器、声子的相干操控具有重要意义。目前国际上的多机械模式耦合的相关研究主要集中在百千赫兹的低频谐振器，而要实现更灵敏的传感器，实现更快的声子操控，需要进一步提高谐振器的谐振频率。

　　针对高频声子操控的难题，郭国平研究组发现单根碳纳米管中不同方向的振动模式都可以工作在百兆赫兹量级，这两个模式可以通过额外加入一个参量驱动来进行耦合，且通过调节驱动功率可以实现从弱耦合到强耦合的线性调控，这与理论计算的结果完全一致。研究组通过控制驱动微波的波形实现了机械振动中声子的相干拉比操作，观测到10次以上的拉比震荡，是目前实验上声子操作次数的最大纪录，此外拉比操作的频率大于500千赫兹，比此前的相关报道高出两个数量级。该研究成果发表在国际权威杂志《纳米快报》上。

　　该系列工作得到了科技部、国家自然科学基金委、中科院和教育部的资助。 “通过一系列的手段将机械振动冷却到量子基态之后，对声子的相干操控将在量子传感、量子信息领域具有广阔的应用前景。”郭国平说。

　　碳纳米管由于其良好的电学性能、优异的力学性能，近年来被广泛应用于纳米机电系统（NEMS）的相关研究，在质量、微力、气体、位移等物理量的测量方面也具有广阔的应用前景。特别地，碳纳米管谐振器的机械模式和单分子磁体、单电子电荷以及自旋等物理量具有较强的耦合，可以用来探索纳米尺度下的物理现象，是一种品质优良的量子传感器件。

　　当微机电系统（MEMS）的特征尺寸缩小到100纳米以下时， 又被称为纳机电系统（NEMS， nano electro mechanical system）。 由于尺寸更小及纳米结构所导致的新效应， NEMS 器件可以提供很多MEMS器件所不能提供的特性和功能， 例如超高频率、低能耗、高灵敏度、对表面质量和吸附性前所未有的控制能力等。

　　MEMS传感器作为国际竞争战略的重要标志性产业，以其技术含量高、市场前景广阔等特点备受世界各国的关注。

　　我国MEMS产业发展也面临着重大机遇，特别是移动互联网和物联网的快速发展，将对MEMS产业产生深远的影响，并将催生大量新的产品、新的应用，带动MEMS产品在日常生活及工业生产中的普及化。

　　NEMS（纳机电系统）是未来MEMS传感器发展趋势之一，近几年， MEMS 与纳米技术融合的步伐在加快。 一方面新的纳米材料与纳米加工技术越来越多地在MEMS技术中得到应用， 促进了微机电系统性能提高和新器件的涌现， 另一方面微纳机电系统技术也提供了新的纳米级三维加工手段， 催生了诸如NEMS继电器等新型的IC 器件。

　　中国科学院院士在纳米机电系统研究中取得系列进展，通过一系列的手段将机械振动冷却到量子基态之后，对声子的相干操控将在量子传感、量子信息领域具有广阔的应用前景。

　　这些成果必将提高我国NEMS（纳机电系统）产品整体研发水平，助力中国MEMS产业跻身世界前列。