可提供单片解决方案的CMOS片上压电MEMS超声换能器平台

据麦姆斯咨询报道，马来西亚CMOS和MEMS代工服务供应商SilTerra近日发布了用于指纹识别传感和医疗成像应用的CMOS片上压电MEMS超声换能器（piezoelectric micromachined ultrasound transducer， PMUT）平台（PMUT-on-CMOS）。这款独特的工艺平台提供了单片解决方案，在CMOS上集成PMUT。PMUT的构建采用了CMOS兼容的压电材料，及表面微机械加工技术。设计人员可以选择SilTerra任何一种180 nm或130 nm工艺节点的传统CMOS、BCD、RF及超低功耗平台，在其顶部构建PMUT。

该平台由相关的CMOS IP和PDK支持，以实现完整集成的片上系统。其PDK支持可配置的PMUT单元，以满足各种市场应用，例如：用于指纹传感的20 MHz PMUT单元，或用于医学成像的5 MHz PMUT单元。SilTerra的PMUT-on-CMOS平台目前已经可用于原型设计制造。

“我们非常高兴为原型设计制造推出这款创新的工艺平台。该工艺凭借最标准的CMOS工艺模块，我们有信心实现和传统CMOS技术相近的可制造性和缺陷密度。通过提供真正的单片整体解决方案，我们显着地降低了器件寄生效应，还提供了较高的填充系数，”SilTerra传感器和MEMS业务高级副总裁Arjun Kumar Kantimahanti说。

SilTerra新工艺平台打造的PMUT器件

PMUT-on-CMOS平台的部分主要特性包括基于CMOS的氮化铝基PMUT器件，高达25 MHz的谐振频率，9个额外的掩模层，以在传统CMOS芯片的顶部构建PMUT。

SilTerra还提供MEMS-on-CMOS技术，使MEMS设计人员能够构建单个MEMS芯片解决方案，相比传统的双芯片解决方案，能够以更低的封装成本提供更好的产品性能。该公司拥有最先进的CMOS设备，专业提供MEMS-on-CMOS表面微加工MEMS器件。

SilTerra新工艺平台打造的PMUT器件（实际硅视图）

SilTerra是一家CMOS和MEMS代工服务供应商，提供CMOS逻辑器件、高压、混合信号、RF、BCD、功率、硅光子以及低至90 nm特征尺寸MEMS器件的制造和设计支持服务。SilTerra晶圆厂的设计产能为每月46000片8英寸晶圆，目前为美国、***、韩国和中国的客户提供服务。

SilTerra于2001年开始商业化生产，其工厂位于马来西亚的Kulim高科技园区，并在美国加州圣何塞和***新竹设有销售和营销办事处。