本应用笔记探讨了MEMS（微机电系统）技术在标准实时时钟（RTC）中相对于标准晶体技术的优势。最明显的优势是尺寸。还讨论了MEMS技术优越的其他领域-CMOS工艺和开发，制造与组装以及环境耐用性
2021-05-13 07:50:00
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进行MEMS制造的最基本需求是能够沉积1到100微米之间的材料薄膜。NEMS的制造过程是基本一致的，膜沉积的测量范围从几纳米到一微米。
2022-10-11 09:12:591193 MEMS传感器在各类电子产品上快速普及，我们身边的智能手机、平板电脑等几乎所有电子设备无不包含，然而大部分人对MEMS技术还是比较陌生的。 MEMS技术的应用主要有传感器和执行器两部分，本文
2023-08-21 17:23:164251 
MEMS传感器是当今最炙手可热的传感器制造技术，也是传感器小型化、智能化的重要推动了，MEMS技术促进了传感器的极大发展。
2023-11-05 10:13:46633 
层，该多晶硅层被图案化为可移动的机械结构，并通过牺牲性蚀刻下面的氧化物层来释放。叉指式梳状电极用于产生平面内力并以电容方式检测平面内运动。这种MEMS范例使制造低成本的加速度计成为可能适用于例如汽车
2021-01-05 10:33:12
顾两种技术的基础知识，比较它们的差异并贯穿每种解决方案的优势。MEMS麦克风MEMS麦克风采用MEMS元件安装在印刷电路板（PCB）上并由机械覆盖物保护， 机壳内加工了一个小孔，可以让声音进入设备。此孔
2019-02-23 14:05:47
ADI公司产品营销工程师Max Liberman和业务开发经理Bob Scannell在工业制造运营中，被动的设备维修是造成生产能力丧失的一个主要因素，这种维修本来是可以避免的。平均售价仅几美元
2018-10-17 10:34:00
ADI公司产品营销工程师Max Liberman和业务开发经理Bob Scannell在工业制造运营中，被动的设备维修是造成生产能力丧失的一个主要因素，这种维修本来是可以避免的。平均售价仅几美元
2018-10-18 11:35:34
ADI公司产品营销工程师Max Liberman和业务开发经理Bob Scannell在工业制造运营中，被动的设备维修是造成生产能力丧失的一个主要因素，这种维修本来是可以避免的。平均售价仅几美元
2018-10-24 10:42:46
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺和材料，以半导体制造技术为
2016-12-09 17:46:21
的微型器件研究，还有很多创新工作要做，不然就会面临发展停滞的风险。技术优势：用MEMS工艺制造传感器、执行器或者微结构， 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生产等特点， 产能高，良品率
2018-11-12 10:51:35
、机械和热属性都非常出色。此外，半导体厂商还意识到，如果使用成熟的芯片量产制造技术，在晶片上一次可以制造数以万计的MEMS器件。这就是说，MEMS可以利用微电子器件现有的规模经济，获得更大的成本优势
2018-10-31 16:56:44
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微机电系统的缩写，MEMS技术建立在微米/纳米基础上，是对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术，完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。
2019-09-29 09:34:52
微小。采用以硅为主的材料，采用与集成电路（IC）类似的生成技术，可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺，进行大批量、低成本生产，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。完整的MEMS是由微传感器
2018-09-07 15:24:09
据麦姆斯咨询介绍，物联网（IoT）可以利用MEMS的几个核心功能和优势，MEMS器件可以有效地满足许多物联网应用的要求：
2020-12-23 07:09:36
设计流程中都必须对封装策略和如何折中进行考虑和给与极大的关注。许多MEMS产品供应商都会把产品封装作为进行市场竞争的主要产品差异和竞争优势。封装选择规则设计MEMS器件的封装往往比设计普通集成电路的封装
2010-12-29 15:44:12
很小，能够以极小的损耗可靠地传送0 Hz/dc至数百GHz信号，有望彻底改变电子系统的实现方式。这种性能优势会对大量不同的设备和应用产生重要影响。在MEMS开关技术的帮助下，很多领域都将达到前所未有
2018-10-17 10:52:05
在通信领域上亦凭借超低损耗、高隔离度、成本低等优势在手机上得到应用。然而RF MEMS开关普遍存在驱动电压高、开关时间长的问题，劣于FET场效应管开关和PIN二极管开关。相对于国外已取得的成果，国内的研究尚处于起步阶段。下文将针对MEMS开关的缺陷做一些改进。
2019-07-29 07:57:25
意法半导体公司推出一系列惯性传感器，极具诱惑力的价格配合卓越的产品性能，让意法半导体迅速扩大了在消费电子MEMS传感器市场的份额。公司在MEMS技术特性上实现了两全其美：更小尺寸、更低价格、更高
2019-11-05 06:19:06
电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米——1微米可是要比人们头发的直径小很多。 MEMS
2018-11-07 11:00:01
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23:59
了安全、快速、卫生、无痛、无创的胃部舒适检查新时代。传统胃镜检查对患有胃部疾病的人来说简直如同噩梦，而采用MEMS技术制作的胶囊胃镜，采用自然吞服的方式，极大减轻痛苦，其内置高清摄像头，可在体内全方位
2018-10-15 10:47:43
，这是修修补补的改造所不能实现的效果。由于MEMS振荡器的实现原理完全不同于以往的石英晶振，因此它可以克服现有石英晶振的很多先天劣势。具体总结如下：由采用全硅MEMS技术所带来的优势，下面从体积到性能
2016-06-04 10:18:38
微机电系统 (MEMS) 将很快成为智能系统设计和构造不可或缺的部分。这些器件缩短了物理世界和电子世界之间的差距，它们用于众多应用，涉及各种细分市场。在众多细分市场中，价格降低、准确度要求提高和快速面市需求将对设计和制造性能提出新的约束条件。企业要获得成功必须找到新的方法来应对这些挑战。
2019-10-17 07:11:28
作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，我们就来说说状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
很多通信系统发展到某种程度都会有小型化的趋势。一方面小型化可以让系统更加轻便和有效，另一方面，日益发展的IC制造技术可以用更低的成本生产出大批量的小型产品。MEMS
2019-06-24 06:27:01
作者：Mark Looney简介MEMS加速度计终于达到了能够测量广泛机器平台振动的阶段。其最近的能力进步，加上MEMS加速度计已有的相对于传统振动传感器的诸多优势（尺寸、重量、成本、抗冲击性
2019-07-22 06:31:06
还有用于医疗(如药品传送)的微型泵和微型阀等，这些MEMS器件特别细小，甚至可以植入人体。目前MEMS并不都仅仅处于实验室阶段，有的已进入实用场合，例如已有制造厂商完成了MEMS光学系统的商品化，该系
2014-08-19 15:50:19
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:52 编辑
MEMS陀螺仪的原理与应用优势分析
2012-08-14 22:49:36
MEMS麦克风制造的推荐焊接参数（即焊膏厚度）是多少？以上来自于谷歌翻译以下为原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16:47
2. MEMS麦克风的SEM图像图3. MEMS麦克风的横截面由于几何结构在制造工艺中受到严格控制，因此不同麦克风的实测性能具有高度可重复性。利用MEMS技术构建麦克风的另一个优势是薄膜极小，因此其
2019-11-05 08:00:00
导读：传感器性能对MEMS和ASIC参数的高度依赖性表明，闭环传感器的系统级设计需要做大量的折衷考虑，其中的ASIC噪声预算、激励电压、功耗和技术都高度依赖于MEMS参数。 微机械式惯性传感器
2018-12-05 15:12:05
加工工艺技术，在外力作用下使光栅的某些特征参数（如周期、光栅等常数）发生改变，从而实时改变光栅的工作性能，实现光栅的可编程应用。基于其独特的优势，MEMS光栅已经用于光通信、高清显示设备、光谱分析等领域
2016-08-04 15:08:50
DMA方式输出的优势是什么？
2021-11-25 08:01:02
近日，麻省理工學院微系統技術實驗室的研究人員開發出了一種使用桌面型3D打印機制造高質量微電機系統(MEMS)的方法。用這種方法制造MEMS，其成本僅有市場上現有技術的百分之一，而且質量一點不差
2015-12-24 16:27:44
损耗、高隔离度、成本低等优势在手机上得到应用。然而RF MEMS开关普遍存在驱动电压高、开关时间长的问题，劣于FET场效应管开关和PIN二极管开关。相对于国外已取得的成果，国内的研究尚处于起步阶段。下文将针对MEMS开关的缺陷做一些改进。
2019-07-29 08:31:54
作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，我们就来说说状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因
2018-10-11 10:31:14
具有许多独特的优势。 它们在相同的性能等级中较小，并且经过设计和调整，使其在多麦克风音频信号之间具有匹配的幅度和相位。此外，MEMS技术可抵抗高温和回流焊，从而实现了自动化的PCB组装过程。语音用户界面
2020-09-01 18:48:02
不能进行SMT（表面贴装技术）操作。在MEMS麦克风的制造过程中，SMT回流焊简化了制造流程，可以省略一个目前通常以手工方式进行的制造步骤。在ECM麦克风内，必须添加进行信号处理的电子元件；而在MEMS麦克风
2016-05-17 12:01:13
、制造、销售与服务于一体的无源光通信器件OEM/ODM厂商，主要生产和销售光纤连接类产品（光纤连接器、适配器、跳线），WDM波分复用器，PLC光分路器，MEMS光开关等核心光无源基础器件，广泛应用于光纤到户、4G/5G移动通信、互联网数据中心、国防通信等领域。`
2020-05-12 17:27:14
元件来最小化寄生电容。因此，MEMS可提供比所有传统制造的惯性传感器组合更多的优势。 First Sensor 传感器在测量倾斜度，加速度和振动方面的优势： · 灵活的MEMS设计：测量范围从1到
2020-07-07 09:36:40
进的MEMS开关制造设备，ADI公司目前可以批量生产高性能的快速小型MEMS开关，此类开关的特点是机械耐用、功耗低且具有静电放电 (ESD) 保护功能。MEMS开关技术ADI MEMS开关技术的关键是
2018-11-01 11:02:56
的晶体振荡器的微机电系统(MEMS)振荡器已打入了频率控制市场。这些MEMS振荡器具有绝佳的可靠性，并且可提供具有成本优势的各种封装尺寸，尤其是在晶体振荡器上属于高成本结构的小巧型封装。此外，通过引进单
2014-08-20 15:39:07
电子设备和通信系统设备的振荡器选择是影响系统性能的主要因素。目前振荡器有两种：石英晶体振荡器是由石英晶体的基本结构构成，和一个简单的振荡器电路。全硅MEMS谐振器，锁向电路，温度补偿，以及制造校准
2020-05-30 13:25:53
。这并没有妨碍状态监控产品设计师在新产品中使用噪音性能优良的MEMS。作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，下面是状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因。
2019-07-17 06:38:53
微机电系统（MEMS）技术是通过使用先进的微制造技术将机械器件、传感器和电子组件部署在单个硅基板上而实现。如今，这些技术已经逐渐取代了汽车市场各种车型使用的大部分传感装置，并带来系统在降低成本、持续可靠性（由于固有的稳健性）、空间利用（由于其紧凑的尺寸）以及工作性能等方面相当大的设计优势。
2019-08-02 06:35:04
SPEA在MEMS半导体测试分类机、分选设备设计制造有数十年的历史，公司推出的的H3560 - MEMS取放传送装置性能凸出，优势明显。H3560 具有所有的接触和界面被测器件所需
2022-09-23 11:18:36
ST mems陀螺仪
基于ST专有的MEMS技术的优势和世界
2008-09-23 10:41:202137 “MEMS的应用与机遇”研讨会探索MEMS广阔市场
MEMS是多学科交叉融合的前沿技术，是未来的主导产业之一。MEMS以其微型化的优势，在消费电子、医疗电子集汽车电子等
2010-02-22 11:18:02502 MEMS规范概述
许多拥有晶圆厂的半导体制造商寻求通过为无晶圆厂MEMS开发商制造MEMS器件来利用他们旧生产线的产能，但是若
2010-03-11 14:35:31530 MEMS光开关的优势有发展动态简介
摘要 本文介绍了基于MEMS(微电子机械系统)技术的光开关的技术优势及主要制造商情况，并概要分
2010-03-20 11:15:341065 中心议题： MEMS振荡器与传统石英晶振的比较优势 Stime最新的MEMS晶振性能介绍 解决方案： MEMS振荡器体积更小巧，厚度可低至0.25毫米 MEMS振荡器的稳固程度为传统石英晶振的十倍 MEMS振
2012-09-14 23:09:332323 MEMS麦克风在移动设备中的应用优势，MEMS麦克风不仅提供极佳的音频质量，而且具有优良的抗电磁干扰功能
2012-12-10 14:01:592977 面向世界各地的集成元件制造商（IDM）和最终测试分包商，设计和制造最终测试分选机、测试座和负载板的厂商Multitest公司，日前宣布其设备全面支持MEMS振荡器的相关优势。
2012-12-21 14:09:25731 MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较_陈莉
2017-03-19 18:58:18
2 作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，我们就来说说状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因。
2018-07-07 11:25:00590 在MEMS传感器的新闻发布会，ST谈论了MEMS的发展现状，ST做了20年的MEMS 传感器，优势是经过市场检验的制造技术，更是集成市场领先者，MEMS传感器起始于汽车和工业，真正的助力却是消费类电子。所以ST MEMS的下一波发展机会将会再次回到消费电子行业。
2018-01-19 16:14:522220 公司实为MEMS 晶圆纯代工厂前列，产能及利用率双双提升，充分受益行业景气。Yole 统计，2017 年公司名列MEMS 晶圆代工厂第三名。当前Silex MEMS 制造产能达4000
2018-07-25 11:08:002544 全面屏CNC切割方式在全面屏加工中是有优势的，那具体有哪些优势？
2018-03-06 10:32:358064 MEMS产业增长潜力巨大，而MEMS制造是产业持续发展的瓶颈还是将潜力兑现成现实的关键路径?据麦姆斯咨询报道，漫长的开发周期、繁多的制造平台、研发期间的用量少带来的高报价是阻碍新产品快速研发的主要绊脚石。
2018-05-21 23:27:003239 
可能大部分对MEMS还是比较陌生，但其实MEMS在生活中早已无处不在了，智能手机、手环、汽车、无人机、VR/AR头戴式设备等，都应用了MEMS器件。
2018-07-15 08:40:2421882 除了5G通信，Emerald MEMS OCXO还适合物联网和汽车应用。在物联网领域，MEMS 时钟具有体积小、重量轻和低功耗的优势。而在汽车领域，严苛环境下的稳定性以及智能汽车对时钟精度的高要求都使得MEMS OCXO极具竞争力。
2020-02-12 09:05:001816 
IMT公司专项奖学金支持未来之才开展创新研究，推动MEMS制造工艺技术快速发展。
2019-05-06 14:22:04809 源自微电子，MEMS制造的优势在于批处理。就像其它任何产品，MEMS器件规模量产加大了它的经济效益。如同集成电路制造，MEMS制造中光刻方法往往最具成本效益，当然也是最常用的技术。然而，其它处理方式，同时兼具优点和缺点，也在使用，包括化学/物理气相沉积（CVD/ PVD）、外延和干法蚀刻。
2019-08-29 15:10:579161 MEMS（微型机电系统） 麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，简单的说就是一个电容器集成在微硅晶片上，使用表贴工艺贴装到电路板上并搭配合适的ASIC，最后进行盖外壳完成封装。MEMS麦克风在简洁的外观之余，同时提供高性能、保真度及可靠性，适用于携带式装置。
2019-08-15 14:40:157195 深度反应离子刻蚀或DRIE是一种相对较新的制造技术，已被MEMS社区广泛采用。
2020-03-14 11:04:075187 
MEMS(微电子机械系统)技术是一种使产品集成化、微型化、智能化的微型机电系统。在半导体集成电路技术之上发展起来的硅基MEMS制造技术目前使用十分广泛。 国外技术发展日趋成熟 上世纪80年代
2020-04-03 15:27:421773 MEMS是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。 用MEMS工艺制造的传感器具有微型化、集成化
2020-04-16 16:17:461001 三级钟MEMS振荡器的问世，让MEMS技术顺利切入高端精密频率组件市场，对石英振荡器带来全面性的威胁，原本石英晶体精准、稳定度高等特性固守高端频率组件领域的优势已不复存在。
2020-05-04 17:41:002154 
敏芯股份称，MEMS芯片的制造工艺和集成电路芯片完全不同，且一种MEMS芯片对应一种制造工艺。芯片研发公司要想做出性能出色的MEMS芯片，首先要有自主开发生产工艺的能力。这是MEMS芯片企业创业艰难的核心所在，也是公司推动MEMS产业链全国产化的原因。
2020-05-30 11:08:1413787 三级钟MEMS振荡器的问世，让MEMS技术顺利切入高端精密频率组件市场，对石英振荡器带来全面性的威胁，原本石英晶体精准、稳定度高等特性固守高端频率组件领域的优势已不复存在。
2020-06-19 09:49:082059 
MEMS硅晶振采用硅为原材料，采用先进的半导体工艺制造而成。因此在高性能与低成本方面，有明显于石英的优势。
2020-07-17 17:08:392422 MEMS器件利用半导体加工技术来制造三维机械结构，三种最常用的MEMS制造技术包括体微加工（Bulk Micro Machining）、表面微加工（Surface Micro Machining）和LIGA。
2020-07-29 17:42:586928 MEMS是一种制造技术，诸如杠杆、齿轮、活塞、发动机甚至蒸汽机都是由MEMS制造的。相比于芯片制造业越来越被普通人熟知，而与芯片采用相同工艺的MEMS技术显得有些神秘。什么是MEMS？ MEMS
2021-02-20 11:05:316656 MEMS工艺——半导体制造技术说明。
2021-04-08 09:30:41237 MEMS IC的制造可以用硅来完成，然后以其他方式放置少量的材料层并将其固定在Si衬底上。然后，将其选择性地固定，从而留下微小的3D结构，例如膜片，横梁，杠杆，弹簧和齿轮。
2021-06-19 14:56:0510195 使用SiTime MEMS硅晶振有许多好处 - 从低功耗和高性能到可靠性和弹性。 MEMS作为微电子机械系统身就很小。硅晶振可实现极端扩展。无论是单独的谐振器还是与其控制电子器件（例如，振荡器IC
2021-10-27 17:00:131299 赞助商广告展示 原文标题：MEMS芯片制造工艺流程详解 文章出处：【微信公众号：今日半导体】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。 审核编辑：彭静
2022-07-11 16:20:185860 MEMS技术日益成熟，并已在在各类电子产品上快速普及，从产值来看，有数据显示目前MEMS传感器约占整体传感器市场一半以上产值。MEMS传感器如此重要，然而大部分人，包括技术人员对MEMS技术还是比较
2022-10-25 10:14:19976 随着微加工技术的发展，基于MEMS微桥结构技术制造的微测辐射热计器件，具备与半导体读出电路单芯片集成并实现大规模生产的能力，逐渐成为非制冷红外探测器的主流制造技术。
2023-02-21 17:10:221213 提出了一种利用飞秒激光诱导化学蚀刻（FLICE）制造压电致动的石英晶体MEMS谐振器的方法。
2023-04-20 09:10:46878 RF MEMS开关是一种小型微机械开关，具有低功耗，可以使用传统的MEMS制造技术生产。它们类似于房间里的开关，通过打开或关闭接触点来传导信号。
在RF MEMS设备的情况下，开关的机械部件仅有几微米大小。与普通开关不同的是，RF MEMS开关传导的信号处于射频范围内。
2023-05-23 14:58:51862 
MEMS振荡器的优势照比传统OSC的主要优势
2022-02-08 17:08:36564 
MEMS 器件通常使用两个芯片制造：一个来自 CMOS 晶圆，另一个来自 MEMS 晶圆。这种两芯片制造工艺给制造商带来了一些挑战。为 MEMS 和 CMOS 生产单独的晶圆成本高昂，会延长上市时间，而且只能生产小批量（特别是在硅短缺的情况下）。
2023-08-15 16:14:40550 
本文整理自公众号芯生活SEMI Businessweek中关于MEMS制造工艺的多篇系列内容，全面、专业地介绍了MEMS芯片制造中的常用工艺情况，推荐！ 作为现代传感器重要的制造技术，MEMS
2023-10-20 16:10:351408 
以最清晰明了的方式，图解直观阐述MEMS传感器芯片的制造过程和原理！ MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的缩写，具有微小的立体结构（三维结构），是处理各种输入、输出信号的系统的统称。 是利用微细加工技术，将机械零零件、电子电路
2023-11-02 08:37:09777 
和封装成本。本文讨论不同的半导体 MEMS 制造方法及其进展。 半导体 MEMS 的重要性 MEMS 主要是传感器系统，可以控制或感测化学、光学或物理量，例如流体、加速度或辐射。MEMS 设备/传感器拥有与外界的电气接口，通常通过 IC 实现，IC 提供必要的智能，使设备能
2023-11-24 09:19:31287 膜厚测试在MEMS制造工艺中至关重要，它不仅关乎工艺质量，更直接影响着最终成品的性能。为了确保每一片MEMS器件的卓越品质，精确测量薄膜厚度是不可或缺的一环。
2024-01-08 09:40:54262 
，而MEMS差分振荡器则采用微机械元件实现，因此能够在尺寸和功耗上实现更大的优化。本文将深入探讨MEMS差分振荡器与传统差分振荡器之间的区别和优势。 首先，MEMS差分振荡器的最大优势在于其微机械元件的制造方式。传统差分振荡器使用的元件需
2024-01-26 14:20:52128
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