华南激光展 | 激光与微电子制造的碰撞

　　华南激光展与微电子

　　自1960年激光器诞生以来，60年间激光器的种类、数量、质量、水平以及其应用领域都在各行各业中取得深广的发展，激光器和激光技术一直都在突飞猛进地向前跨越，也越来越渗入到微电子科技领域。全球信息技术的迅猛发展离不开微电子和集成电路的发展。然而微电子工业中所涉及到的加工需求早已不是传统加工方式所能满足的了，而激光加工由于具有非接触、高能量密度、加工速度快、局部加工、易于聚焦和导向等多种优越性，且生产效率高、加工质量稳定可靠，因此在微电子工艺中得到了越来越广泛的应用，并取得了良好的技术经济效果。

　　2020华南先进激光及加工应用技术展览会将于11月3-5日 在深圳国际会展中心（宝安新馆）举行，展会在覆盖电子智能制造全产业链核心资源的前提下，立足于 聚焦5G与新基建、驱动新需求、引发新场景 的主旨，将发掘激光在 PCB、锂电、消费电子、微电子、医疗 等领域的应用，旨在带给观众更新、更精致的激光应用交流平台。

　　本期请跟随镭Sir一起，提前获悉在华南激光展的诸多展商中可熟练掌握激光加工技术并与微电子产品加工巧妙结合的企业，他们是滨松光子学商贸（中国）有限公司、苏州德龙激光股份有限公司、奥泰斯工业自动化、深圳市韵腾激光科技有限公司、吉林省永利激光科技有限公司、长春新产业光电科技有限公司、广东华块光子科技有限公司和天津梅曼激光技术有限公司。来展会之前，不妨先看看他们的明星产品吧！

　　■ 激光关键词

　　晶圆切割/电子元器件切割

　　精密加工

　　高稳定性

　　01滨松光子学商贸（中国）有限公司

　　Hamamatsu Photonics China

　　激光智造创新展示区12H58

　　产品 激光隐形切割引擎-国内首发产品

　　产品介绍  可以用于硅晶圆，玻璃，第三代半导体等材料的隐形切割引擎

　　产品特性    质量稳定，同行口碑极好

　　解决方案   激光硅晶圆隐形切割

　　应用领域  半导体

　　02苏州德龙激光股份有限公司

　　Suzhou Delphi Laser Co.， Ltd

　　激光智造创新展示区12H58

　　产品 晶圆激光应力诱导切割设备

　　产品介绍    本设备是利用应力诱导切割技术对LED基板的蓝宝石材料进行加工

　　产品特性

　　■ 划片速度快，切割过程无暂停 产能高、良率高，设备稳定

　　■ 设备无需任何耗材，使用成本优势明显

　　应用领域 半导体

　　产品属性 常规产品

　　03深圳市韵腾激光科技有限公司

　　INTE LASER

　　展位号12G43

　　解决方案 Inte laser自主研发生产的全自动晶圆激光标刻设备、皮秒激光玻璃钻孔设备、高精密玻璃/蓝宝石/滤光片激光切割设备、全面屏激光精密切割设备、全自动SD卡激光切割设备、PCB/FPC激光标刻设备、全自动激光切割贴片设备、LCP激光精密切割设备等获得多家知名企业的用户好评。

　　产品   覆盖膜激光切割设备

　　产品介绍   高频率和低脉宽加工，来确保切割无碳化。激光器双头出光，可以单独调整平台的工作功率。

　　产品特性 切割精度比冲模高（和替代防焊开窗） 卷对片或卷对卷生产，缩短冲模的作业工艺 不同产品只需要变更切割图纸资料，节省开模的成本

　　应用领域   消费电子/半导体/PCB

　　04武汉锐科光纤激光技术股份有限公司

　　RAYCUS FIBER LASER TECHNOLOGIES CO.， LTD.

　　展位号 12F81

　　产品 光束可调高功率光纤激光器

　　产品介绍 锐科2020新一代光束可调激光器RFL-ABP（Adjustable Beam Profile），填补了国产光纤激光器光束可调技术的空白。运用锐科研发的定制化光纤合束器，可以实现高斯光斑、环形光斑、混合光斑等不同模式输出，根据加工要求，任意切换。同时，纤芯、环芯功率可独立调节，实现纤芯/环芯任意功率比。满足高品质激光切割及焊接的需求，成为提升质量和效率的加工利器。

　　为了获得更好的匙孔和熔池的稳定性，减少焊接过程中的飞溅以及更光滑的焊缝，锐科激光推出光束可调高功率光纤激光器，可以在焊接过程中得到开放及稳定的匙孔，有效抑制飞溅产生，提高焊接应用的质量、效果和灵活性。

　　产品优势

　　■ RFL-ABP技术优势

　　1. 全光纤结构、稳定可靠；

　　2. 光模块独立的耦合进输出光纤的芯层和环芯层；

　　3. 中芯/环芯功率可独立调节、功率切换时间短（毫秒量级）；

　　4. 具备波形编辑功能。

　　■ 环形光斑加工优势

　　1.中心光斑和环形光斑功率可独立调节；

　　2.焊接无飞溅；

　　3.焊缝成形稳定、一致性好；

　　4.熔池更大、更稳定，温度梯度小。

　　ABP环形光斑示意图

　　中芯/环芯可任意功率、独立调节

　　熔池更宽、焊缝更光滑

　　环形光斑2+4kW

　　100+300μm芯径

　　常规6kW

　　100μm芯径

　　应用领域

　　锂电行业 电子元器件 汽车制造

　　方形电池封口焊

　　模组焊接中的——软连接焊接

　　模组焊接中的——Busbar汇流排焊接

　　模组焊接中的——侧板焊接

　　05奥泰斯工业自动化

　　OPTEX FA Co.， LTD.

　　展位号 12H76

　　产品1 超高精度激光位移传感器CDX系列

　　产品介绍 业界超高等级线性精度±0.015%F.S.激光位移传感器「CDX」系列已成功上市，采用新研发的ATMOS感光元器件，实现精度比以往增加2.7倍以上，成为目前世界上高线性精度的激光位移传感器。

　　产品特性

　　■ CDX系列内置Ethernet通信功能，无需外接控制器，无需专用软件。

　　■ 产品主要专攻透明体表面/厚度测量，最适合玻璃、芯片等透明体•镜面体的测量。可测量玻璃厚度Min. 0.06mm。

　　■ 在以FPD、半导体、电子部件行业为首的行业领域广泛使用。

　　应用领域    半导体/PCB/锂电/汽车电子/工业电子

　　产品2   对射型边缘测量传感器TD1系列

　　产品介绍   对射型边缘测量传感器TD1系列，受光素子采用CMOS元器件，实现边缘位置的高精度测量。

　　产品特性

　　■ 边缘测量、宽度•间距测量可选。

　　■ 采用宽光幕激光：3×14mm。

　　■ 配置RS-485通信方式。

　　■ 采样周期：500μs。

　　■ 配置光轴对焦调整机能，安装方便。

　　应用领域 半导体/PCB/锂电/汽车电子/工业电子

　　06吉林省永利激光科技有限公司

　　Jilin Yongli Laser Technology Co.， Ltd.

　　展位号12J82

　　产品 光纤激光器

　　产品介绍 Sunlite连续光纤激光器，具有工作波长范围广、单模模式、低振幅噪声、高稳定性以及泵浦二极管使用寿命长等诸多特点。激光器可搭配多 种光纤终端或准直光学器件。

　　产品特性 光束质量优，电光转换效率高，功率连续可调，可靠性、稳定性高。

　　应用领域 消费电子/半导体/医疗/汽车电子/工业电子

　　产品属性 常规产品

　　07长春新产业光电科技有限公司

　　Changchun New Industries Optoelectronics Technology Co.，Ltd.

　　展位号12K57

　　产品1 激光打标机EP10系列

　　产品介绍 体积小巧，结构紧凑，可便携移动，输出激光光斑小，打标线条精细，光束质量好，输出激光稳定性高，整机性能稳定，操作简单，易上手，脉宽窄，热影响区小，不伤工件。可应用于电子元器件，金银手饰，电工电器，通讯产品，标牌，卫浴洁具，五金制品，工具配件，精密器械，PE管材，医疗器械等行业。

　　应用领域   电气工程/电子/半导体

　　产品2   调Q脉冲大能量激光器

　　产品介绍 CNI研发生产的高能量激光器包括灯泵浦激光器和半导体泵浦激光器。此类产品广泛应用于医药医疗、军事防御、科学研究、材料加工以及工业制造等领域。新产业可提供的激光器波长：266nm，355nm，532nm，1064nm，1573nm等 。其中，532nm绿光激光器的单脉冲能量可达450mJ，1064nm红外激光器的单脉冲能量可达20J。

　　应用领域   电气工程/电子/半导体

　　08广东华块光子科技有限公司

　　Guangdong Huakuai Photon Technology Co.，Ltd.

　　展位号 12K62

　　产品   YPP GREEN皮秒绿光激光器

　　产品介绍

　　YPP Green系列皮秒激光器，是为特殊玻璃材料、半导体领域等领域量身定制的皮秒激光器。YPP-Green系列激光器是太阳能光伏、激光精密调阻及透明材料标记的理想高端光源。

　　产品特性

　　■ 全光纤结构，优质的光束质量及工业环境适用性；

　　■ 高达100uJ的单脉冲能量；

　　■ 窄脉宽小于10ps；

　　■ 脉冲串模式/PSO频率跟随功能；

　　■ 优质的光束质量；

　　■ 可控的采购成本和维护周期；

　　■ 优越的工业环境适用性及寿命。

　　应用领域

　　■ FPC切割、FPC开窗，PI膜无碳化切割、薄膜切割；

　　■ 半导体封装切割、精密调阻；

　　■ FPC切割、FPC开窗，PI膜切割、薄膜切割；

　　■ 电子元器件切割；

　　■ Sip封装切割。

　　09天津梅曼激光技术有限公司

　　TIANJIN MAIMANLASER TECHNOLOGY CO.，LTD.

　　展位号 12K55

　　产品1 F系列1064nm冷光激光器

　　产品介绍 F系列激光器可以广泛的应用到金属、塑料等材料表面标记，高峰值功率也拓展了加工领域，虽然波长与光纤激光器相同，但加工的材料范围比光纤广泛的多。F系列激光器的设计结构具有天然的防反射功能，因此能够加工金、银、铜等高反射材料而不使激光器功率下降或损坏，相比之下光纤激光器不具有这种设计结构，即便有隔离器在加工高反射材料时仍容易造成激光器的功率快速下降或烧毁。

　　产品特性   冷光激光器，应用范围广，加工更精细

　　应用领域   采用半导体端泵技术与光纤激光技术相结合，实现紧凑、高性能、高可靠性、超低价格的新一代全固态激光器，寿命更长、广泛应用于激光标记、激光划线、激光调阻、科学研究等领域。

　　产品2  坚石Plus系列355nm高功率紫外激光器

　　产品介绍

　　坚石Plus系列激光器，真正做到了长时间工作，免维护，激光器将电源与红光整合在一起，方便集成到光纤机架，降低成本，减少集成难度，梅曼助力您无忧生产。

　　产品特性

　　■ 长寿命，免维修，无需定期调光路

　　■ 安装方便，一体机无电源，直接安装振镜

　　■ 降低成本，无需光路兼容光纤机架

　　应用领域 晶元划片、玻璃标记、微孔雾化器打孔、材料标记。

　　部分电子展商

　　*以上排名不分先后

　　■ TIPS！

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