背景二氧化硅薄膜具有硬度大、防腐蚀性、耐潮湿性和介电性能强等优点，因此二氧化硅薄膜在半导体行业中可以用作器件的保护层、钝化层、隔离层等。 PECVD即等离子体增强化学的气相沉积法是借助微波或射频
2020-09-29 15:07:21
9585 我们提出了一种观察铝层蚀刻截面的方法，并将其应用于静止蚀刻蚀刻的试件截面的观察。观察结果成功地阐明了蚀刻截面几何形状的时间变化，和抗蚀剂宽度对几何形状的影响，并对蚀刻过程进行了数值模拟。验证了蚀刻截面的模拟几何形状与观测结果一致，表明本数值模拟可以有效地预测蚀刻截面的几何形状。
2021-12-14 17:12:053667 
是在集成电路制造的一个基本步骤。Mat和Looney~研究了二氧化硅在高频溶液中的蚀刻速率作为浓度、温度、氧化物生长过程和溶液搅拌的函数。 介绍 稀释度高频解中的平衡点 在稀高频溶液中，高频=H++F([3]HF+F-=；对于平衡常数(反应r~和r2的1和K2，其值分别为6.8510 4 工具
2021-12-31 11:08:013593 
（干法刻蚀硅）17、 RIE SiO2 （干法刻蚀二氧化硅）18、 RIE Si3N4 （干法刻蚀氮化硅）19、 RIE Al、AlN、Ti、TiN （干法刻蚀金属，包括干法刻蚀铝、干法刻蚀氮化
2015-01-07 16:15:47
二氧化碳传感器通常是利用红外辐射的方式进行测量。由于二氧化碳对2.7、4.35和14.5波段处红外线有强烈的吸收，并且考虑到2.7和14.5两个吸收带都易受到水汽吸收的影响，因此通常选择4.35处
2016-09-14 22:32:30
方法，由于它们通常不仅仅对一种气体组成度敏感.所以其精度很低且漂移量较大.与化学二氧化碳传感器相比，光学测量仪器有许多优点，但其昂贵的价格也确时 二氧化碳传感器应用原理 随着全球气候的变暖，使得各个国家在
2015-01-07 11:42:07
二氧化碳传感器有哪些类型比较好的，跪求大神指导！！！！！！！！！
2017-05-02 18:54:09
二氧化碳浓度检测在生活环境、植物栽培以及文物、档案保护方面越来越多的被大家重视起来。今天让工采网技术工程师来介绍一下这些应用场合可选择的二氧化碳传感器有哪些？一、二氧化碳传感器在楼宇控制中
2018-10-09 14:32:28
的二氧化碳进行光合作用，二氧化碳是近乎所有植物唯一的碳来源。图源网络二氧化碳最重要的生理作用在于为光合作用提供碳，因此空气中二氧化碳的含量对植物的生长影响很大。研究还表明：低浓度的二氧化碳没有
2020-07-20 17:26:30
二氧化碳(CO2)传感器在工业，农业，国防，医疗卫生，环境保护，航空航天等许多领域都有广泛的应用目前二氧化碳传感器的种类很多，就其原理米分有热导式，密度计式、辐射吸收式、电导式，化学吸收式
2015-01-08 11:40:01
传感器。 二氧化碳传感器具有通讯和自诊断功能、安装维护方便，典型的智能化现场监测仪表的先进性能得到了充分的展理，极大的满足了工业现场安全监测对设备高可靠性的要求。 二氧化碳传感器采用进口电化学
2015-01-06 11:54:50
二氧化碳分析仪的原理：该仪器属于电调制非分光式(NDIR)红外线气体分析器，其工作原理是基于不同种类的气体对红外线的选择 性吸收效率不同。仪器采用单光源、单管隔半气室及先进的检测器，工艺精湛、分析精度高、稳定性好。采用先进的数字处理技术，全新的液晶显示画面。
2012-02-01 13:56:05
STACO2-2400-01是由慧感嘉联自主研发的全新一代有源二氧化碳监控标签，采用进口NDIR红外气体传感器和微控制技术，响应速度快，测量精度高，稳定性和重复性好。在该标签中，慧感嘉联采用了创新性
2022-10-20 17:53:21
[img][/img]二氧化碳爆破加热器中加热电子元件叫什么有谁知道是什么
2016-07-15 17:32:17
煤层封孔二氧化碳爆破设备技术领域本机器新型涉及煤矿钻孔封堵爆裂技术领域，特别涉及煤层封孔二氧化碳爆破设备。背景技术诈要爆破目前仍是煤矿开采的方法之一。诈要爆破威力大、作用猛，是典型的明伙爆破。但明
2020-07-25 07:52:31
`二氧化钛是一种高折射率材料，适于电子枪蒸镀，膜层致密，牢固，抗化学腐蚀。可分为白色和黑色。颜色的不同主要因为生产环境的因素，白色是在大气中烧结而成的，而黑色是在真空中烧结而成。在试用中，黑色比白色
2018-11-20 10:03:19
AOE刻蚀氧化硅可以，同时这个设备可以刻蚀硅吗？大致的气体配比是怎样的，我这里常规的刻蚀气体都有，但是过去用的ICP，还没有用过AOE刻蚀硅，请哪位大佬指点一下，谢谢。
2022-10-21 07:20:28
沙中含有25%的硅，是地壳中第二多元素，在经过氧化之后就成为了二氧化硅，在沙，尤其是石英中二氧化硅的含量非常高，这就是制造半导体的基础。
2019-08-06 07:01:44
关于Cozir-CO2二氧化碳传感器传感器校准操作记录情况描述近期调试cozir-CO2二氧化碳传感器，刚接触是却不知道如何进行校准，在他人的指导下 ，逐渐明白校准过程，这里做个记录，方便日后查看
2022-01-20 07:01:02
工艺条件下制备出的二氧化硅介质膜，这其中的二氧化硅属于单质类化合物介质膜。“钝化”意味着一个物理化学过程，一个为了避免周围环境气氛和其他外界因素对半导体器件性能的影响而使管芯表面物化特性迟钝化的工艺
2011-05-13 19:09:35
跪求MG811二氧化碳传感器！！！小生不胜感激！！QQ962279960
2018-03-30 09:42:31
最近在做一个课设，题目内容如下利用51单片机及二氧化碳浓度传感器（NDIR红外二氧化碳传感器模块 MH-Z14A）设计一个CO2浓度测量系统。系统能够实时采集飞机客舱内的CO2浓度并显示，测量范围0-5000PPmLCD显示浓度信息。由于对该传感器不熟悉，及知识的匮乏，烦请各位大神给予技术支持！
2017-12-20 10:39:06
`（058）二氧化碳中毒、有害气体中毒和辐射伤害等引发的严重后果，大家已经很了解。而二氧化碳一旦中毒，死亡时间更快，伤亡更大，往往让人措手不及。如果二氧化碳中毒严重的话，即使救回来，也可能是一个痴呆
2020-02-27 14:40:12
光刻胶层上形成固化的与掩模板完全对应的几何图形；对光刻胶上图形显影，与掩模对应的光刻胶图形可以使芯层材料抵抗刻蚀过程；使用等离子交互技术，将二氧化硅刻蚀成与光刻胶图形对应的芯层形状；光刻胶层
2018-08-24 16:39:21
STACO2-2400-01是由慧感嘉联自主研发的全新一代有源二氧化碳监控标签，采用进口NDIR红外气体传感器和微控制技术，响应速度快，测量精度高，稳定性和重复性好。在该标签中，慧感嘉联采用了创新性
2022-03-24 16:55:46
，通过编写液晶显示界面，调用相关按键程序，选择传感器通道以及保存为U盘数据等功能。框图如图1所示。图1仪器设计框图3传感器选择选择了DYNAMENT公司的premier二氧化碳传感器，此传感器运用非色散
2015-09-29 14:35:23
上下移动晶圆舟的搅动。有时超声波或兆频超声波也用来去除气泡。淀积氧化物湿法刻蚀晶圆上的最终膜层之一是一层在铝膜上的二氧化硅钝化膜。这些膜是蒸汽氧化或硅氧化膜。膜的化学成分是硅氧化物，它要求不同的刻蚀
2018-12-21 13:49:20
~+70°C (特定产品可低至-60°C)。化学反应式阳极：Li → Li+ + e-阴极：2SO2 +e → S2O4整体：2Li + 2SO2 → Li2S2O4用途虽然锂二氧化硫电池是以军事应用为
2014-08-18 10:30:58
减少二氧化碳排放是当今汽车领域最热门的话题。欧盟委员会最近宣布到2012年获得更安全更环保汽车的路线图。汽车消费者购买方式中的明显变化也证实，消费者想要能满足自己个人与专业需求的有最高燃料效能汽车
2019-11-08 08:00:06
尽管大多数二氧化碳传感器采用红外(IR)技术，但电化学传感器因其灵敏度高、测量范围广且价格低廉等优势成为不可小觑的竞争对手之一。一般情况下，电化学传感器通过一个偏置电流极低(＜1pA)的缓冲放大器
2018-11-12 16:18:15
成分。 水泥工业样品 分析元素包括二氧化硅、氧化铝、氧化铁、氧化钙、氧化镁、K2O、Na2O、SO3、氯等。 铁合金工业应用 可以分析铁合金工业中的各种样品，如硅铁、硅锰、硅铝钡钙等。 玻璃
2020-11-10 15:19:16
`二氧化碳（carbon dioxide），化学式CO2。是空气中主要成分之一，是常见的温室气体，一种气态化合物，碳与氧反应生成其化学式为CO2，一个二氧化碳分子由两个氧原子与一个碳原子通过共价键
2018-08-15 16:21:21
在一个只有人类呼吸的、自给自足的封闭系统中，随着时间的推移，二氧化碳浓度会逐渐积累到一个对人体有害的水平。 因此，在人类存在的任何形式的航天器中，需要执行去除二氧化碳和再生氧气的有效机制。由于不受
2019-07-18 22:58:15
本方案是一个基于 Arduino Nano RP2040 Connect，通过 Telegram 机器人显示灰尘密度 (mg/m3) 和二氧化碳 (CO2) 密度 (ppm)的监测系统。由于我患有
2021-11-18 17:58:40
毕业设计的题目，要求无线传输数据，距离大于1千米，监测室外的二氧化碳浓度，求各位大神帮帮忙！
2017-04-12 13:11:37
第二个图是二氧化碳传感器的模块，为什么总的电路图显示的是四个引脚，但是详细模块里面只有3个引脚
2017-06-03 15:39:21
采用硅基二氧化硅阵列波导光栅设计并制作了宽带低串扰单纤三向器.为使三个波长间隔相差较大的输出谱获得相同的带宽,在输出波导与罗兰圆交界采用了不同结构的多模干涉器.二维有限差分束传播法的模拟结果表明
2010-04-26 16:14:06
具体功能：①二氧化碳传感器测得二氧化碳数据后经过单片机处理，由LCD1602实时显示，第一行显示测得的浓度值，第二行显示报警阈值；②可通过按键设置二氧化碳报警阈值；③测得的甲醛浓度在正常范围时，绿灯亮，超过报警阈值时，红灯亮，蜂鸣器响，开始声光报警。
2021-07-14 08:27:12
具体功能：①二氧化碳传感器测得二氧化碳数据后经过单片机处理，由LCD1602实时显示，第一行显示测得的浓度值，第二行显示报警阈值；②可通过按键设置二氧化碳报警阈值；③测得的甲醛浓度在正常范围时，绿灯
2021-07-20 07:24:36
在网上看了MG811二氧化碳的资料，里面规格表里说明输出信号是30~50mv，可是为什么灵敏度曲线输出信号可以超过200mv；另外根据能斯特方程推导二氧化碳的浓度与输出电势之间的关系与按照灵敏度曲线推导出来的关系不一样！请大神们解答，第一次使用MG811二氧化碳传感器，有些疑问。在此谢谢各位了……
2015-04-30 11:05:18
就能对层上的特定部分进行选择性地移除。在有的情况中，罩的材料为光阻性的，这和光刻中利用的原理类似。而在其他情况中，刻蚀罩需要耐受某些化学物质，氮化硅就可以用来制造这样的“罩”。“干法”（等离子）刻蚀用于
2017-10-09 19:41:52
一、传感器概述DS-CO2-20 是一款基于非分散红外吸收原理（NDIR）的数字式二氧化碳浓度传感器，可连续采集并计算单位体积内空气中的二氧化碳浓度，并以通用数字接口形式输出。本传感器可嵌入各种
2022-11-02 14:02:40
一层Si02二氧化硅。Si02二氧化硅为绝缘材料，但有杂质和特殊处理的Si02二氧化硅有一定的导电性。六、上光刻胶光刻胶和以前照相的胶片一个道理。Wafer上光刻胶，要求薄而平整。七、刻蚀线路，研磨
2019-09-17 09:05:06
有没有二氧化碳传感器的程序！
2012-12-10 22:23:14
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 10:07 编辑
要测一下室内的二氧化碳浓度想用TGS4160，但好像很贵，谁知道具体要多少钱？网上看的价钱参差不一如果还有其他什么好的二氧化
2012-10-18 12:55:45
使用化石燃料和其他工业过程导致大气中温室气体的积聚。自1896年以来，已知这些气体（二氧化碳，甲烷和一氧化二氮）助于阻止地球的红外辐射逃逸到太空，正是这个维持了地球相对温暖的温度。问题是可测量的水平
2017-07-07 09:41:07
沼气发电的原理是什么？甲烷传感器和二氧化碳传感器在食品加工厂中的应用是什么？
2021-06-25 15:42:04
大气中的二氧化碳是我们人类最为廉价和环保的一种可再生能源。日前来自中国合肥国家物理科学实验室的研究小组开发出了一种由钴制成的新型纳米材料，可以将二氧化碳气体转化为一种称为甲酸盐的清洁燃料。 研究
2016-01-21 10:48:39
`石灰石二氧化硅化验仪器设备系列 石灰石二氧化硅化验仪器设备系列 英特仪器测试石灰石硅含量仪器，检测石英砂二氧化硅的设备，化验石灰石二氧化硅的设备，石英砂硅铁检测仪，化验石灰石硅设备英特仪器
2021-03-11 11:24:18
原文来源：简述二氧化硫试验机的操作方法 小编：林频仪器 二氧化硫试验机是利用二氧化硫气体对材料或是产品进行加速腐蚀试验的设备，能够重现材料或产品在一定时间范围内遭受到的破坏程度。该设备可以用
2016-09-05 16:11:15
纳米二氧化钛在锂电池正极材料中的应用一， 纳米二氧化钛掺杂后电化学性能均明显优于未掺杂样品的性能。这归于在LiCoO2表面掺杂电化学性能相对稳定的纳米二氧化钛（VK-T30D）后, 一方面降低
2014-05-12 13:48:13
二氧化钛（同VK-T20Q）与铝粉混合颜料或纳米二氧化钛（同VK-T20Q）包覆的云母珠光颜料添加于涂料中，其涂层能产生神秘而富有变幻的随角异色效应，主要是因为当入射光射到纳米二氧化钛（同VK-T20Q
2011-11-12 09:57:35
最近需要用到干法刻蚀技术去刻蚀碳化硅，采用的是ICP系列设备，刻蚀气体使用的是SF6+O2，碳化硅上面没有做任何掩膜，就是为了去除SiC表面损伤层达到表面改性的效果。但是实际刻蚀过程中总是会在碳化硅
2022-08-31 16:29:50
面临劣势，这必然对汽车生产商的业绩造成较大的影响。我们可以通过成本效益分析确定成功降低二氧化碳排放量需要付出的努力。本文提出了一些二氧化碳减排建议，并特别关注了当今机动车中没有实现基于需求控制的辅助
2018-12-07 10:15:04
二氧化碳传感器模块用于密闭大棚种植CO2浓度检测
2020-12-01 07:05:22
红外吸收型CO2气体传感器的原理是什么基于STM32的便携式二氧化碳监测仪设计
2021-03-11 06:58:58
锂二氧化锰电池的反应机理不同于一般电池，在非水有机溶剂中，负极锂溶解下的锂离子通过电解质迁移进入到MnO2的晶格中，生成MnO2（Li+）。Mn由+4价还原为+3价，其晶体结构不发生变化。
2020-03-10 09:00:32
二氧化硅/特氟龙AF包层光纤 二氧化硅/特氟龙AF包层光纤兼具超高数值孔径，高强度及宽带光谱传输等特性。因其可见光光谱保真度高（源色不变黄），所以它是硼硅酸盐光纤的替代品(硼硅酸盐光纤要求
2021-10-20 15:12:35
无水二氧化硅 (ASI) 单模光纤 这些光纤可使用丙烯酸酯涂层和高性能聚酰亚胺，铝，金涂层等，使他们能够超过普通标准光纤的温度性能水平。说明：Fiberguide的ASI单模光纤用于
2021-10-21 10:19:43
Fiberguide全二氧化硅光纤 这些光纤可以被涂上各种聚合物或 金属涂层，获得最大温度性能。说明：Fiberguide的硅芯/硅包层/聚合物包层光纤主要用于需要在单根或成束
2021-10-21 16:33:21
大包层全二氧化硅光纤 这些光纤在100µm - 400µm的纤芯范围内具有固定的500µm包层直径，使激光对准和拼接更容易，同时有更低的焦比退化。较大的600µm和800µm的纤芯会使
2021-10-21 16:54:41
此款XKONG祥控二氧化碳检测仪是我司依照工业级设计标准研发生产的一款防爆型二氧化碳气体浓度检测仪表，可直接安装在危险区域的 1 区和 2 区使用；极大
2023-03-27 17:44:11
以界面势垒对碳纳米管(CNT)场发射的影响为研究目的，在硅衬底上引进很薄的二氧化硅层，以二氧化硅层作为绝缘势垒，然后在二氧化硅界面层上直接生长CNT，来研究二氧化硅绝缘势
2010-03-05 14:07:36
14 准备工作的最后一道工序是在二氧化硅层上覆盖一个感光层。这一层物质用于同一层中的其它控制应用。这层物质在干燥时具有很好的感光效果，而且在光刻蚀过程结束之后，能够通过化学方法将其溶解并除去。
2018-04-03 14:12:001787 二氧化碳（carbon dioxide），化学式CO2。是空气中主要成分之一，是常见的温室气体，一种气态化合物，碳与氧反应生成其化学式为CO2，一个二氧化碳分子由两个氧原子与一个碳原子通过共价键构成
2019-06-13 14:43:531752 反刻是在想要把某一层膜的总的厚度减小时采用的（如当平坦化硅片表面时需要减小形貌特征）。光刻胶是另一个剥离的例子。总的来说，有图形刻蚀和无图形刻蚀工艺条件能够采用干法刻蚀或湿法腐蚀技术来实现。为了复制硅片表面材料上的掩膜图形，刻蚀必须满足一些特殊的要求。
2018-12-14 16:05:2768523 摘要：在半导体制造工艺的湿法刻蚀中，用热磷酸刻蚀氮化硅和氮氧化硅是其中一个相对复杂又难以控制的工艺。在这个工艺中，热磷酸刻蚀后的去离子水（ＤＩＷ）清洗更是一个非常重要的步骤。主要分析了由于去离子水
2020-12-29 14:36:072510 
在集成电路的制造过程中，刻蚀就是利用化学或物理方法有选择性地从硅片表面去除不需要的材料的过程。从工艺上区分，刻蚀可以分为湿法刻蚀和干法刻蚀。前者的主要特点是各向同性刻蚀；后者是利用等离子体来进行
2020-12-29 14:42:588547 
四十五所作为国内最大的湿化学设备供应商之一，其设备涵盖了半导体制造几乎所有的湿化学制程，包括：金属刻蚀、深硅刻蚀、二氧化硅刻蚀、RCA清洗、酸洗、有机清洗、去胶、显影、去蜡、制绒、高温侧腐、电镀等。
2021-02-01 11:16:355172 
二氧化氯发生器是由釜式反应器通过耐酸导管和水射式真空机组组成的，一种操作简单、高转化率、高纯度、多用途、环保型化学法中、小型二氧化氯多级发生器。
2021-10-01 17:24:008792 俗称泡花碱，是一种水溶性硅酸盐，其水溶液俗称水玻璃，是一种矿黏合剂。其化学式为R2O·nSiO2，式中R2O为碱金属氧化物，n为二氧化硅与碱金属氧化物摩尔数的比值，称为水玻璃的摩数。建筑上常用
2021-10-18 16:13:431091 。 二氧化硫气体的（化学式为SO2）是最常见、最简单的硫氧化物。二氧化硫也是无色气体，有强烈刺激性气味，是大气主要污染物之一。 二氧化硫的形成原因是什么? 大多的二氧化硫都是因为对含硫矿石的冶炼、对化石燃料的燃烧、或
2021-12-10 14:39:33562 二氧化硅它是属于光纤的主要制作材料
2021-12-21 15:30:059547 电流的极端规模集成。在这个过程中，固相氮化硅(Si3N4)层在部分二氧化硅(SiO2)沉积中起到掩模的作用。通过这种沉积，形成了由数百个交替堆叠的Si3N4和二氧化硅原子层组成的垂直堆叠结构.Si3N4掩模必须在程序结束时去除，通常通过热化学蚀
2021-12-28 16:38:085460 
磷酸(H3PO4) -水(H2O)混合物在高温下已被使用多年来蚀刻对二氧化硅(二氧化硅)层有选择性的氮化硅(Si3N4)。生产需要完全去除Si3N4，同时保持二氧化硅损失最小。批量晶片清洗的挑战是如何保持Si3N4对二氧化硅的高蚀刻选择性，以获得更长的槽寿命。
2022-02-15 11:25:592557 
性，单片湿法刻蚀法是一种有用的技术。其进一步推进应得到理论计算的支持。 因此，在我们之前的研究中开发了使用单晶片湿法蚀刻机进行二氧化硅膜蚀刻的数值计算模型。首先，通过水流可视化获得旋转晶片上的整个水运动，并进行评估
2022-03-02 13:58:36751 
缓冲氧化物蚀刻(BOE)或仅仅氢氟酸用于蚀刻二氧化硅在硅上晶片。 缓冲氧化蚀刻是氢氟酸和氟化铵的混合物。含氟化铵的蚀刻使硅表面具有原子平滑的表面高频。 由于这一过程中所涉及的酸具有很高的健康风险，建议用户使用在执行工艺之前，请仔细阅读材料安全数据表。
2022-03-10 16:43:35798 
近十年来，湿化学法制备超薄二氧化硅/硅和超薄二氧化硅/硅结构的技术和研究取得了迅速发展。这种结构最重要是与大尺寸硅晶片上氧化物层的均匀生长有关。
2022-03-11 13:57:22828 
）、扫描电子显微镜（SEM）和光致发光（PL）光谱进行表征，以允许对它们的结构和光学性质进行检查。XRD结果表明，当薄膜在不同的氢氮浓度下刻蚀不同的时间时，ZnO的强度降低。上述观察归因于氧化锌的溶解
2022-04-24 14:58:20930 
我们测量了硅化物膜(CoSi2、NiSi2、TiSi2和WSi)的溅射刻蚀速率，并研究了离子能量的依赖性，发现它们与二氧化硅薄膜的相对溅射刻蚀速率几乎与溅射离子能量无关，从相对溅射蚀刻速率和计算
2022-05-07 15:41:461126 
介绍 硅或二氧化硅已被用作牺牲层来制造独立式结构，例如微机电系统(MEMS)中的梁、悬臂和隔膜。传统的含水HF已经广泛用于蚀刻二氧化硅牺牲层，因为它成本低廉。然而，当具有高纵横比的结构在含水
2022-05-23 17:01:43948 
当应用于硅(Si)、玻璃和其他材料时，二氧化硅(SiO2)涂层提供介电层或钝化层，用于半导体、MEMS、生物医学、储能设备和其他应用的晶片类型。
2022-07-26 14:56:261236 碱金属、碱土金属氧化物的不同含量，又分为： 1、石英玻璃 石英玻璃的二氧化硅含量大于99.5%，其热膨胀系数低、耐高温、化学稳定性好、透紫外光和红外光、熔制温度高、粘度大、成型较难。石英玻璃多用于半导体、电光源、光导通
2022-08-01 10:01:311670 
湿法刻蚀也称腐蚀。硅的湿法刻蚀是 MEMS 加工中常用的技术。其中，各向同性 （Isotropic）湿法刻蚀常用的腐蚀剂是由氢氟酸（HF）、硝酸（ HNO3）和乙酸（CH3COOH）组成的混合物
2022-10-08 09:16:323581 源漏选择性外延一般采用氮化硅或二氧化硅作为硬掩模遮蔽层，利用刻蚀气体抑制遮蔽层上的外延生长，仅在曝露出硅的源漏极区域实现外延生长。
2022-11-29 16:05:151708 湿法刻蚀利用化学溶液溶解晶圆表面的材料，达到制作器件和电路的要求。湿法刻蚀化学反应的生成物是气体、液体或可溶于刻蚀剂的固体。
2023-02-10 11:03:184085 刻蚀有三种:纯化学刻蚀、纯物理刻蚀，以及介于两者之间的反应式离子刻蚀（ReactiveIonEtch,RIE）。
2023-02-20 09:45:072586 有机物、金属等杂质及蒸发残留的水分。清洁完成后就可以将晶圆置于800至1200摄氏度的高温环境下，通过氧气或蒸气在晶圆表面的流动形成二氧化硅（即“氧化物”）层。氧气
2022-07-10 10:27:31965 
：使用特定的化学溶液进行化学反应来去除氧化膜的湿法刻蚀，以及使用气体或等离子体的干法刻蚀。1、湿法刻蚀使用化学溶液去除氧化膜的湿法刻蚀具有成本低、刻蚀速度快和生产率高
2022-07-12 15:49:251454 
刻蚀（Etching）的目的是在材料表面上刻出所需的图案和结构。刻蚀的原理是利用化学反应或物理过程，通过移除材料表面的原子或分子，使材料发生形貌变化。
2023-08-01 16:33:383915 硅（Si）、二氧化硅（SiO2）、锗（Ge）等。其中，硅是最为常见和广泛应用的半导体材料之一。 硅是地壳中非常丰富的元素之一，它具有较高的化学稳定性、热稳定性和机械性能，因此硅材料具有广泛的应用前景。硅晶体的晶体结构为钻
2024-02-04 09:46:07458 碳传感器的分类及其工作原理。 二氧化碳传感器可以根据其传感原理的不同分为以下几类： 1. 电化学传感器： 电化学传感器是利用电化学反应来检测环境中二氧化碳浓度的传感器。最常见的电化学传感器是基于氧化还原反应的传感器。
2024-03-06 14:58:46227 刻蚀机的刻蚀过程和传统的雕刻类似，先用光刻技术将图形形状和尺寸制成掩膜，再将掩膜与待加工物料模组装好，将样品置于刻蚀室内，通过化学腐蚀或物理磨蚀等方式将待加工物料表面的非掩膜区域刻蚀掉，以得到所需的凹槽和沟槽。
2024-03-11 15:38:24471 
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