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电子发烧友网>制造/封装>单晶片背面和斜面清洁(上)

单晶片背面和斜面清洁(上)

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2022-04-15 14:50:00510

晶片的化学蚀刻工艺研究

抛光的硅片是通过各种机械和化学工艺制备的。首先,通过切片将单晶硅锭切成圆盘(晶片),然后进行称为研磨的平整过程,该过程包括使用研磨浆擦洗晶片。 在先前的成形过程中引起的机械损伤通过蚀刻是本文的重点。在准备用于器件制造之前,蚀刻之后是各种单元操作,例如抛光和清洁
2022-04-28 16:32:37670

使用单晶片自旋处理器的背面清洁研究

在这项研究中,我们华林科纳使用经济特区单晶片自旋处理器开发了一种单一背面清洁解决方案,能够通过蚀刻晶片背面的几埃来去除任何金属或外来污染物,无论其涂层如何(无涂层、Si3N4或SiO2)。选择H2O
2022-05-06 14:06:45339

用于光刻胶去除的单晶片清洗技术

本文的目标是讨论一种新技术,它可以在保持竞争力的首席运营官的同时改善权衡。 将开发湿化学抗蚀剂去除溶液的能力与对工艺和工具要求的理解相结合,导致了用于光刻胶去除的单晶片清洗技术的发展。 该技术针对
2022-05-07 15:11:11621

SAPS兆频超声波技术应用于TSV晶片的刻蚀后清洗工艺

,FIB-SEM用于评估镀铜性能,TSV泄漏电流图和电压斜坡介电击穿(VRDB)作为主要电气可靠性指标,也用于评估清洁效果,测试结果表明,兆声能量可以传播到TSV的底部,与传统的单晶片喷淋清洗相比,经过SAPS清洗的晶片表现出明显的电学性能提高。
2022-05-26 15:07:03701

单晶片背面斜面清洁(下篇)

高级应用 在正面具有对损坏敏感的关键结构的应用中,例如对于32nm栅极多晶硅(AR5:1)图案化的晶片,该 系统可以被设置为无损坏地清洁。这是通过修改背面化学喷嘴和配方配置,并保持正面干燥来实现
2022-06-27 17:04:27746

不同的湿法晶片清洗技术方法

虽然听起来可能没有极紫外(EUV)光刻那么性感,但对于确保成功的前沿节点、先进半导体器件制造,湿法晶片清洗技术可能比EUV更重要,这是因为器件的可靠性和最终产品的产量都与晶片清洁度直接相关,因为晶片要经过数百个图案化、蚀刻、沉积和互连工艺步骤。
2022-07-07 16:24:231578

晶片的清洗技术

摘要 随着越来越高的VLSIs集成度成为商业实践,对高质量晶片的需求越来越大。对于表面上几乎没有金属杂质、颗粒和有机物的高度洁净的晶片来说,尤其如此。为了生产高清洁度的晶片,有必要通过对表面杂质行为
2022-07-11 15:55:451026

晶片的酸基蚀刻:传质和动力学效应

抛光硅晶片是通过各种机械和化学工艺制备的。首先,硅单晶锭被切成圆盘(晶片),然后是一个称为拍打的扁平过程,包括使用磨料清洗晶片。通过蚀刻消除了以往成形过程中引起的机械损伤,蚀刻之后是各种单元操作,如抛光和清洗之前,它已经准备好为设备制造。
2023-05-16 10:03:00584

全球首个100毫米的单晶金刚石晶圆研发成功

运用异质外延工艺,Diamond Foundry以可扩展的基底制造单晶金刚石,这是一项前所未有的技术突破。过去已有技术用于生产金刚石晶片,但这些晶片基于压缩金刚石粉末制备,缺乏单晶金刚石的特性。
2023-11-10 16:04:03857

什么是单晶硅光伏板?单晶硅光伏板优缺点

单晶硅光伏板是一种基于单晶硅材料制造的太阳能光电设备,常用于太阳能光伏发电系统中。单晶硅光伏板由多个单晶硅太阳能电池片组成,每个电池片都被覆盖在透明的防反射玻璃上,并使用铝框架进行支撑和保护。
2023-11-29 09:46:061006

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