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euv光刻机难在哪里

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#硬声创作季 EUV光刻机安装现场首次曝光

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芯片制造关键的EUV光刻机单价为何能超1亿欧元?

进入10nm工艺节点之后,EUV光刻机越来越重要,全球能产EUV光刻机的就是荷兰ASML公司了,他们总共卖出18台EUV光刻机,总价值超过20亿欧元,折合每套系统售价超过1亿欧元,可谓价值连城。
2017-01-19 18:22:593470

EUV光刻机被已经准备好了,各大企业的争夺战开始打响

EUV光刻机的唯一供应商ASML在2017年度Semicon West半导体设备展上也表示,250瓦的EUV光源也万事俱备。公司2017年财报中也强调,其EUV光刻机满足了125WPH(每小时生产
2018-01-23 14:51:008018

ASML公司Q2季度出货4台EUV光刻机,大陆市场营收比例达到19%

光刻机,是半导体芯片生产中最重要的设备之一,荷兰ASML公司已经成为全球光刻机市场的一哥,垄断了高端光科技生产,在EUV光刻机领域更是独一份。
2018-07-19 16:52:002940

中芯1.2亿美元下单最先进EUV光刻机

(极紫外线)光刻机,价值1.2亿美元。目前,业内已达成共识,必须使用EUV光刻机才能使半导体芯片进入7nm,甚至5nm时代。今天,中芯国际方面对观察者网表示,对此事不做评论。
2018-09-05 15:24:1914570

EUV光刻机对半导体制程的重要性

年代的投影式光刻机,1980年代的步进式光刻机,到步进式扫描光刻机,到浸入式光刻机和现在的EUV光刻机,设备性能不断提高,推动集成电路按照摩尔定律往前发展。  EUV作为下一代技术的代表,不需要多重曝光
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ASML正在着手开发新一代极紫外(EUV光刻机

ASML副总裁Anthony Yen表示,ASML已开始开发极紫外(EUV光刻机,其公司认为,一旦当今的系统达到它们的极限,就将需要使用极紫外光刻机来继续缩小硅芯片的特征尺寸。
2018-12-09 10:35:077142

台积电将包揽ASML这批EUV光刻机中的18台

由于三星去年就小规模投产了7nm EUV,同时ASML(荷兰阿斯麦)将EUV光刻机的年出货量从18台提升到今年的预计30台,显然促使台积电不得不加快脚步。
2019-04-30 17:30:037913

EUV光刻机之战 日荷争霸

最近十年,不断挑战物理学极限的半导体光刻机,大有挑战明珠之王的趋势。
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上亿的ASML光刻机金贵在哪?

最贵的EUV极紫外线光刻机,单价要1亿美元左右,相当于美帝四代战斗机F35的价格
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ASML发布2019年Q2季度财报 EUV光刻机最主要的问题还是产能不足

掌握全球唯一EUV光刻机研发、生产的荷兰ASML(阿斯麦)公司今天发布了2019年Q2季度财报,当季营收25.68亿欧元,其中净设备销售额18.51亿欧元,总计出货了41台光刻机,其中EUV光刻机7台。
2019-07-18 16:02:003147

动态 | 阿斯麦发布Q2财报:EUV光刻机产能大增

掌握全球唯一EUV光刻机研发、生产的荷兰ASML(阿斯麦)公司今天发布了2019年Q2季度财报,当季营收25.68亿欧元,其中净设备销售额18.51亿欧元,总计出货了41台光刻机,其中EUV光刻机7台。
2019-07-23 10:47:213102

关于EUV光刻机的分析介绍

格芯首席技术官Gary Patton表示,如果在5nm的时候没有使用EUV光刻机,那么光刻的步骤将会超过100步,这会让人疯狂。所以所EUV光刻机无疑是未来5nm和3nm芯片的最重要生产工具,未来围绕EUV光刻机的争夺战将会变得异常激烈。因为这是决定这些厂商未来在先进工艺市场竞争的关键。
2019-09-03 17:18:1812845

ASML研发第二代EUV光刻机的微缩分辨率、套准精度提升了70%

据韩媒报道称,ASML正积极投资研发下一代EUV光刻机,与现有光刻机相比,二代EUV光刻机最大的变化就是High NA透镜,通过提升透镜规格使得新一代光刻机的微缩分辨率、套准精度两大光刻机核心指标提升70%,达到业界对几何式芯片微缩的要求。
2019-08-07 11:24:395849

半导体巨头为什么追捧EUV光刻机

近些年来EUV光刻这个词大家应该听得越来越多,三星在去年发布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm EUV工艺打造的芯片,台积电的7nm+也是他们首次使用EUV光刻的工艺,苹果的A13
2020-02-29 10:58:473149

EUV光刻机到底是什么?为什么这么贵?

近些年来EUV光刻这个词大家应该听得越来越多,三星在去年发布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm EUV工艺打造的芯片,台积电的7nm+也是他们首次使用EUV光刻的工艺,苹果的A13
2020-02-29 11:42:4529308

中芯国际表示深圳工厂进口光刻机不是EUV光刻机

据中国证券报报道,3月6日下午从中芯国际获悉,日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机,但这是设备正常导入,用于产能扩充,并非外界所称的EUV光刻机
2020-03-07 10:55:144167

ASML研发新一代EUV光刻机 分辨率能提升70%左右

EUV光刻机方面,荷兰ASML(阿斯麦)公司垄断了目前的EUV光刻机,去年出货26台,创造了新纪录。据报道,ASML公司正在研发新一代EUV光刻机,预计在2022年开始出货。
2020-03-17 09:13:482863

曝ASML新一代EUV光刻机预计2022年开始出货 将进一步提升光刻机的精度

EUV光刻机方面,荷兰ASML(阿斯麦)公司垄断了目前的EUV光刻机,去年出货26台,创造了新纪录。据报道,ASML公司正在研发新一代EUV光刻机,预计在2022年开始出货。
2020-03-17 09:21:194670

开发顶级光刻机的困难 顶级光刻机有多难搞?

顶级光刻机有多难搞?ASML的光刻机,光一个零件他就调整了10年!拿荷兰最新极紫外光EUV光刻机举例,其内部精密零件多达10万个,比汽车零件精细数十倍!
2020-07-02 09:38:3911513

EUV光刻机全球出货量达57台

与此同时, 他指出,EUV继续为ASML的客户提高产量,迄今为止,他们的客户已经使用EUV光刻机曝光了超过1100万个EUV晶圆,并交付了57个3400x EUV系统(3400平台是EUV生产平台)。
2020-08-14 11:20:552048

王毅与荷兰谈光刻机出口问题

【重磅】王毅到访荷兰,期待放行ASML EUV光刻机 来源:中国半导体论坛 彭博引述知情人士消息称,荷兰政府极有可能不会给予ASML向中国出货EUV光刻机的许可证。一年前的许可证到期后,在美国
2020-09-10 14:19:112577

EUV光刻机的数量有望成为三星半导体成长的关键

据悉,ASML是全球唯一能够生产EUV光刻机的厂商,年产量为40余台,台积电方面希望获得全数供应。EUV光刻机的价格昂贵,每台要价约1.3亿美元,由于是EUV制程必需的关键设备,台积电与三星电子的竞争日益激烈。
2020-10-13 13:51:521913

1.2亿美元光刻机

荷兰阿斯麦(ASML)公司的光刻机作为世界上最贵最精密的仪器,相信大家都有耳闻,它是加工芯片的设备。其最先进的EUV(极紫外光)光刻机已经能够制造7nm以下制程的芯片,据说一套最先进的7纳米EUV
2020-10-15 09:20:054438

EUV光刻机还能卖给中国吗?

ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻机必不可缺。一台EUV光刻机的售价为1.48亿欧元,折合人民币高达11.74亿元
2020-10-19 12:02:499647

三星急需EUV光刻机赶产量_2022年或将再购买60部EUV设备

根据韩国媒体《BusinessKorea》的报道,日前三星电子副董事长李在镕前往荷兰拜访光刻机大厂ASML,其目的就是希望ASML的高层能答应提早交付三星已经同意购买的极紫外光光刻设备(EUV)。
2020-10-24 09:37:302866

EUV光刻机加持,SK海力士宣布明年量产EUV工艺内存

ASML公司的EUV光刻机全球独一份,现在主要是用在7nm及以下的逻辑工艺上,台积电、三星用它生产CPU、GPU等芯片。马上内存芯片也要跟进了,SK海力士宣布明年底量产EUV工艺内存。
2020-10-30 10:54:211646

目前全球只有荷兰ASML有能力生产EUV光刻机

11月5日,世界光刻机巨头荷兰阿斯麦ASML亮相第三届进博会。作为全球唯一能生产EUV(极紫外光)光刻机的企业,由于ASML目前仍不能向中国出口EUV光刻机,所以此次展示的是其DUV(深紫外光)光刻机。据悉,该产品可生产7nm及以上制程芯片。
2020-11-06 11:27:465517

ASML EUV光刻机被美国限制 中国企业出多少钱都买不回

ASML在光刻机领域几乎是巨无霸的存在,而他们对于与中国企业合作也是非常欢迎,无奈一些关键细节上被美国卡死。 中国需要光刻机,尤其是支持先进制程的高端光刻机,特别是 EUV (极紫外光源)光刻机
2020-11-10 10:08:043056

ASML向中国出售EUV光刻机,没那么容易

中国需要光刻机,尤其是支持先进制程的高端光刻机。具体来说,就是 EUV (极紫外光源)光刻机
2020-11-11 10:13:304278

台积电为保持业界领先地位大规模购买EUV光刻机

订购了至少13台ASML的Twinscan NXE EUV光刻机,将会在2021年全年交付,不过具体的交付和安装时间表尚不清楚。 同时,明年台积电实际需求的数量可能是高达16到17台EUV光刻机
2020-11-17 16:03:381827

SK海力士加速量产第四代内存齐上EUV光刻机

目前,EUV光刻机的部署安装主要在台积电、三星的晶圆代工厂。不过,内存厂商们也开始着手上马了。 此前,SK海力士规划的是为年底建成的M16工厂配备,但来自德国CB的消息称,M14老厂也会引进
2020-11-26 18:23:291761

SK海力士加速量产第四代内存,将配备EUV光刻机

目前,EUV光刻机的部署安装主要在台积电、三星的晶圆代工厂。不过,内存厂商们也开始着手上马了。
2020-11-27 10:37:041110

为何只有荷兰ASML才能制造顶尖EUV光刻机设备?

自从芯片工艺进入到7nm工艺时代以后,需要用到一台顶尖的EUV光刻机设备,才可以制造7nm EUV、5nm等先进制程工艺的芯片产品,但就在近日,又有外媒豪言:这种顶尖的EUV极紫外光刻机,目前全球
2020-12-03 13:46:226379

国产光刻机之路,任重而道远

荷兰阿斯麦公司作为掌握光刻机系统集成和整体架构的核心企业,自然成了欧美自家的小棉袄,顺利赶上了欧美EUV技术研究发展的风口,投资德国卡尔蔡司,收购美国Cymer光源。集成世界各国顶尖科技的EUV
2020-12-28 09:25:5518165

台积电为1nm制程狂购EUV光刻机

之前有消息称,台积电正在筹集更多的资金,为的是向ASML购买更多更先进制程的EUV光刻机,而这些都是为了新制程做准备。
2020-12-29 09:22:482192

台积电向ASML购买更多更先进制程的EUV光刻机

Luc Van den hove表示,IMEC的目标是将下一代高分辨率EUV光刻技术高NA EUV光刻技术商业化。由于此前得光刻机竞争对手早已经陆续退出市场,目前ASML把握着全球主要的先进光刻机产能,近年来,IMEC一直在与ASML研究新的EUV光刻机,目前目标是将工艺规模缩小到1nm及以下。
2020-12-30 09:23:481673

ASML一共出货了100台EUV光刻机左右

而2018年中芯与ASML签订了一项EUV光刻机购买协议,以1.2亿美元购买一台光刻机,但直到现在都没有交货,因为没有拿到出口许可证。
2021-01-08 11:37:512368

为何EUV光刻机会这么耗电呢

EUV(极紫外光)光刻机,是目前半导体产业已投入规模生产使用的最先进光刻机类型。近来,有不少消息都指出,EUV光刻机耗电量非常大,甚至它还成为困扰台积电的一大难题。 为何EUV光刻机会这么耗电
2021-02-14 14:05:003915

SK海力士已开始安装EUV光刻机,以量产10nm 1a DRAM

据etnews报道,SK海力士已开始在其位于韩国利川的M16工厂安装EUV光刻机,以量产10nm 1a DRAM。 此前SK海力士宣布将在今年年内在M16厂建设产线以生产下一代DRAM,不过并未透露
2021-01-20 18:19:202146

为什么都抢着买价格更昂贵的EUV光刻机?

目前,还有ASML有能力生产最先进的EUV光刻机,三星、台积电都是ASML的客户。但受《瓦森纳协定》的制约,中国大陆没有从ASML买来一台EUV光刻机
2021-01-21 08:56:184078

ASML预计今年将出货交付40台EUV光刻机 单价14亿元!

在四季度财报会议上,荷兰ASML(阿斯麦)表示,预计今年将出货交付40台EUV光刻机,比去年多9台。 CEO Peter Wennink估算今年EUV光刻机系统的销售收入在58亿欧元左右。四季度
2021-01-21 15:30:221874

ASML今年将出货交付40台EUV光刻机

在四季度财报会议上,荷兰ASML(阿斯麦)表示,预计今年将出货交付40台EUV光刻机,比去年多9台。
2021-01-21 15:16:431369

ASML垄断第五代光刻机EUV光刻机:一台利润近6亿

%,净利润达到36亿欧元。全球光刻机主要玩家有ASML、尼康和佳能三家,他们占到了全球市场90%。 ASML由于技术领先,一家垄断了第五代光刻机EUV光刻机,这类光刻机用于制造7nm以下先进制程的芯片。 2020年ASML对外销售了31台EUV光刻机,带来了45亿欧元(折合352.52亿
2021-01-22 10:38:164677

ASML下一代EUV光刻机延期:至少2025年

ASML公司前两天发布了财报,全年净销售额140亿欧元,EUV光刻机出货31台,带来了45亿欧元的营收,单价差不多11.4亿欧元了。 虽然业绩增长很亮眼,但是ASML也有隐忧,实际上EUV光刻机
2021-01-22 17:55:242639

SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购EUV光刻机

随着半导体工艺进入10nm节点以下,EUV光刻机成为制高点,之前台积电抢购了全球多数的EUV光刻机,率先量产7nm、5nm工艺,现在内存厂商也要入场了,SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购EUV光刻机
2021-02-25 09:28:551644

SK海力士与ASML签合同:SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购EUV光刻机

随着半导体工艺进入10nm节点以下,EUV光刻机成为制高点,之前台积电抢购了全球多数的EUV光刻机,率先量产7nm、5nm工艺,现在内存厂商也要入场了,SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购EUV光刻机
2021-02-25 09:30:232047

SK海力士砸4.8万亿韩元买EUV光刻机

随着半导体工艺进入10nm节点以下,EUV光刻机成为制高点,之前台积电抢购了全球多数的EUV光刻机,率先量产7nm、5nm工艺,现在内存厂商也要入场了,SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购EUV光刻机
2021-02-25 11:39:091844

中国有望独立生产EUV光刻机,打破ASML垄断

一提起ASML这家公司,就少不了对光刻机问题的讨论,因为截至目前,ASML仍然是全球最领先的光刻机厂商。普通的DUV光刻机就不多说了,ASML每年都能卖出去很多台,而在更先进的EUV光刻机方面,ASML更是占据了绝对垄断的地位。
2021-02-27 09:59:4214073

冰刻技术能否助力国产芯片摆脱光刻机?

光刻机是我国芯片制造业一大痛点,目前,在EUV光刻机赛道中,仅有ASML一个玩家。
2021-03-02 15:29:139297

三星积极向唯一EUV光刻机厂商ASML争取订单

三星一方面在积极向唯一的EUV光刻机厂商ASML争取订单,另外一方面也在增资为EUV产业链输血。
2021-03-04 09:52:411757

12亿美元,中芯国际订购光刻机

中芯国际的芯片工艺目前已发展至14nm,若想将芯片工艺进一步提升至7nm乃至3nm等先进制程,EUV光刻机设备就必不可少。那么,中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机,包含EUV光刻机吗?
2021-03-10 14:36:559465

中科院5nm光刻技术与ASML光刻机有何区别?

以下内容由对话音频整理 本期话题 ● EUV光刻机产能如何? ● 晶圆为什么是圆的? ● 不同制程的芯片之间有何区别? ● 什么是逻辑芯片,逻辑芯片又包括哪些? ● 专用芯片与通用芯片 ● 中科院
2021-03-14 09:46:3023476

ASML分享未来四代EUV光刻机的最新进展

日前,ASML产品营销总监Mike Lercel向媒体分享了EUV(极紫外)光刻机的最新进展。
2021-03-19 09:39:404630

ASML第二代EUV光刻机跳票三年,售价恐贵出天际

第二代EUV光刻机原本预计最快可以2023年问世,但最新传闻称NXE:5000系列跳票,而且一下子就跳票三年,要到2025-2026年才有可能问世了。 要知道,ASML是全球唯一一家量产EUV光刻机
2021-06-26 16:55:281203

美国出手阻挠!禁止荷兰将EUV光刻机卖给中国大陆

美国媒体7月19日报道,美国政府正在努力阻止荷兰ASML EUV光刻机(极紫外光刻机)进入中国大陆。 报道称,中国政府此前与荷兰政府协商,要求允许中国公司购买ASML生产的EUV光刻机设备(极紫外光刻机
2021-07-21 16:52:252126

美国出手阻挠,禁止荷兰将EUV光刻机卖给中国大陆

美国华尔街日报7月19日报道,美国政府正在努力阻止荷兰ASML EUV光刻机(极紫外光刻机)进入中国大陆。 华尔街日报报道称,中国政府此前与荷兰政府协商,要求允许中国公司购买ASML生产的EUV
2021-07-25 17:35:152919

EUV光刻机何以造出5nm芯片

电子发烧友网报道(文/周凯扬)作为近乎垄断的光刻机巨头,ASML的EUV光刻机已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星,EUV光刻机的购置已经是生产支出中很大的一笔,也成了
2021-12-07 14:01:1010742

光刻机的难度在哪里

中国是目前世界上消费芯片最多的国家,每年的芯片进口额已超过了石油的进口额。虽然中国芯片行业也已经取得了小有成就,但在世界上还是处于落后的水平,芯片的落后少不了因为光刻机的原因,那么光刻机的难度究竟在在哪里呢?
2022-01-03 17:16:004756

俄罗斯签署合同欲研发顶尖X射线光刻机

一份6.7亿卢布的合同来研发光刻机,并且宣称要研发比EUV光刻机光刻分辨率更高、不需要光掩膜版从而降低费用的无掩模X射线光刻机。 X射线光刻机不同于EUV光刻机,它使用了波长为0.01nm~10nm的X射线,所以X射线光刻机光刻分辨率要
2022-04-06 10:35:337960

关于EUV光刻机的缺货问题

台积电和三星从7nm工艺节点就开始应用EUV光刻层了,并且在随后的工艺迭代中,逐步增加半导体制造过程中的EUV光刻层数。
2022-05-13 14:43:202077

三星董事李在镕亲自拜访ASML,只为争取到EUV光刻机

媒体称三星的目的是为了抢到ASML的EUV光刻机。 目前芯片短缺的现状大家也都清楚,再加上7nm制程以下的高端芯片只有EUV光刻机才能打造,而本来EUV光刻机就稀少,因此先进芯片发展频频受限,并且前段时间三星才刚刚和Intel洽谈完芯片合作的事宜,因
2022-06-07 14:18:041176

台积电将于2024年引进ASML最新EUV光刻机,主要用于相关研究

日前,在台积电召开的会议上,有一名高管称台积电将于2024年引进ASML正在研发的最新的High-NA EUV光刻机。 会议中,该高管称:为了满足客户所需的相关基础设施的开发等,台积电将于2024
2022-06-17 16:33:276499

荷兰AMSL公司正在研发一种新版本的EUV光刻机

据CNBC报道称,世界闻名的先进光刻机智造商荷兰AMSL公司正在研发一种新版本的EUV光刻机
2022-06-18 08:13:031794

EUV光刻机售价超26亿,Intel成为首位买家,将于2025年首次交付

在芯片研发的过程中,光刻机是必不可少的部分,而随着芯片制程工艺的不断发展,普通的光刻机已经不能满足先进制程了,必须要用最先进的EUV光刻机才能完成7nm及其以下的先进制程,而目前台积电和三星都在攻克
2022-06-28 15:07:126676

euv光刻机三大核心技术 哪些公司有euv光刻机

中国芯的进步那是有目共睹,我国在光刻机,特别是在EUV光刻机方面,更是不断寻求填补空白的途径。
2022-07-05 10:38:3516742

三星斥资买新一代光刻机 中芯光刻机最新消息

三星电子和ASML就引进今年生产的EUV光刻机和明年推出高数值孔径极紫外光High-NA EUV光刻机达成采购协议。
2022-07-05 15:26:155634

euv光刻机可以干什么 光刻工艺原理

光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前世界上最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机
2022-07-06 11:03:077000

中国euv光刻机三大突破 光刻机的三个系统

如今世界最先进的EUV光刻机,只有asml一家公司可以制造出来。
2022-07-06 11:19:3850685

euv光刻机出现时间 ASML研发新一代EUV光刻机

EUV光刻机是在2018年开始出现,并在2019年开始大量交付,而台积电也是在2019年推出了7nm EUV工艺。
2022-07-07 09:48:444523

euv光刻机目前几纳米 中国5纳米光刻机突破了吗

大家都知道,芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在,全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机,那么euv光刻机目前几纳米呢? 到现在,世界上最先进的光刻机能够实现5nm的加工。也就是荷兰
2022-07-10 11:17:4242766

euv光刻机是哪个国家的

说到芯片,估计每个人都知道它是什么,但说到光刻,许多人可能不知道它是什么。光刻机是制造芯片的机器和设备。没有光刻机的话,就无法生产芯片,因此每个人都知道光刻机对芯片制造业的重要性。那么euv光刻机
2022-07-10 11:42:276977

euv光刻机是干什么的

可以生产出纳米尺寸更小、功能更强大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻机生产。 EUV光刻机有光源系统、光学镜头、双工作台系统三大核心技术。 目前,最先进的光刻机是荷兰ASML公司的EUV光刻机。预计在光路系统的帮助下,能
2022-07-10 14:35:066173

duv光刻机euv光刻机区别是什么

目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外光刻技术。EUV为先进工艺芯片光刻的发展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1078127

euv光刻机原理是什么

euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机,是大规模集成电路生产的核心设备,对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻机生产。那么euv光刻机原理是什么呢? EUV
2022-07-10 15:28:1015099

euv光刻机用途是什么

光刻机是当前半导体芯片产业的核心设备,其技术含量和价值含量都很高。那么euv光刻机用途是什么呢?下面我们就一起来看看吧。 光刻设备涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密材料传输、高精度微环境控制
2022-07-10 16:34:403116

传台积电计划关闭EUV光刻机来减少产能

一台EUV光刻机工作一天大概需要耗电3万度。如果关闭1台EUV光刻机,一天就能省下3万度电。台湾目前工业用电价格约为2.45新台币(约合人民币0.55元),也就是说一天能省个1.65万元人民币的电费。
2022-09-08 10:54:061356

除ASML之外的光刻机厂商们近况如何?

电子发烧友网报道(文/周凯扬)尽管ASML作为目前占据主导地位的光刻机厂商,凭借独有的EUV光刻机一骑绝尘,主导着半数以上的市场份额,但这并不代表着其他光刻机厂商也就“听天由命”了。以两大国外光刻机
2022-11-24 07:10:033222

密度提升近3倍,高NA EUV光刻机有何玄机

投入使用高NA EUV光刻机已经势在必行了。 据了解,一台高NA EUV光刻机成本就可能达到3.2亿美元,这样一个天价的光刻系统究竟能带来哪些优势,又存在哪些挑战呢? 规模和密度的平衡,我们为什么需要高NA光刻机? 从今年发布的不少新品来看,即便工艺没有太大的变化,芯片
2022-12-07 07:25:02952

ASML 首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 完成安装

3 月 13 日消息,光刻机制造商 ASML 宣布其首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 已完成安装,新机型将带来更高的生产效率。 ▲ ASML 在 X 平台上的相关动态
2024-03-14 08:42:349

光刻机的发展历程及工艺流程

光刻机经历了5代产品发展,每次改进和创新都显著提升了光刻机所能实现的最小工艺节点。按照使用光源依次从g-line、i-line发展到KrF、ArF和EUV;按照工作原理依次从接触接近式光刻机发展到浸没步进式投影光刻机和极紫外式光刻机
2024-03-21 11:31:4143

押注2nm!英特尔26亿抢单下一代 EUV光刻机,台积电三星决战2025!

了。   芯片制造离不开光刻机,特别是在先进制程上,EUV光刻机由来自荷兰的ASML所垄断。同时,尽管目前市面上,EUV光刻机客户仅有三家,但需求不断增加的情况底下,EUV光刻机依然供不应求。   针对后3nm时代的芯片制造工艺,High-NA(高数值孔径)EUV光刻机
2022-06-29 08:32:004635

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