集成电路国产设备逐渐打破欧美日垄断

中芯国际北京公司拥有国内唯一一条实现持续盈利的12英寸集成电路生产线。该生产线上所使用的几十台国产设备，与众多进口设备一起，新近完成了12英寸晶圆千万片次的量产。这是记者从今天举行的专题座谈会上了解到的。

集成电路俗称芯片，是高端制造业的核心。近年来，我国每年集成电路产品进口金额超过石油。在普及率极高的智能手机行业，包括CPU、存储器、各类感应元器件等，基本依赖进口。

中芯国际北京公司拥有国内唯一一条实现持续盈利的12英寸集成电路生产线。该生产线上所使用的几十台国产设备，与众多进口设备一起，新近完成了12英寸晶圆千万片次的量产。中芯国际供图

2008年以来，国家通过极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项——“02专项”的实施，推动集成电路国产装备的开发和产业化，把目标直接定位在世界上最先进的65纳米、40纳米、28纳米技术节点上，并由行业的龙头企业来牵头。

中芯国际是内地规模最大、技术最先进的集成电路制造企业。其位于亦庄的北京公司，与国内集成电路设备制造商成立了“产学研”联合开发实验室，共同面对设备要求高、系统复杂、每两年更新一代、市场基本被美欧日几家厂商垄断的局面。

在装备设计上，以往，厂商自己在实验室里闭门造车，造出一个“铁箱子”，然后搬到工厂里去，不行再搬回来改；现在要预先知道生产的具体要求是什么，随时改进，共同开发。

对芯片生产企业来说，原来是购买进口设备，维修和调试都由外国公司承包，进度和质量有合同保证，心理负担小；现在要使用国产设备，攻关小组边干边学，责任全在自己身上，不但要保证进度，更要保证交到终端客户手里的产品质量不出任何问题。

在国家重大科技专项的支持下，国内集成电路代工厂与设备制造企业实现对接，为国产设备在中国集成电路产业链中的大面积应用打开了局面，为国产设备企业走向世界奠定了基础。国产设备终于能够与国外同类产品进行技术比较和价格比拼，这提升了国产设备在产业链中的重要性，为中国企业破除设备采购壁垒，降低采购成本，做出了巨大贡献。

在中芯国际北京公司，众多专业制造芯片的设备供应商云集。国内企业就有北方微电子、中科信、中微半导体、沈阳拓荆、七星华创、华海清科、京仪自动化、沈阳科仪等。他们在其擅长的工艺领域突破了国外同类产品垄断的局面，逐渐形成自主知识产权的核心技术。

尤其是北方微电子公司，成功开发了以刻蚀设备（ETCH）、化学气相沉积设备（CVD）、物理气相沉积设备（PVD）三大类半导体装备产品为基础的20余类产品。他们从实际生产需求出发，由用户方发起需求，进行定制化研发和制造，开发出适合实际需要的国产化设备，最后达到批量采购的结果。其部分产品在关键工艺技术上达到了国际水平，已正式进入海外主流芯片企业生产线。

出席今天座谈会的北京经济技术开发区投资促进局局长王延卫介绍，亦庄已形成集制造、封测、装备、零部件及材料、设计企业在内的完备的集成电路产业链。亦庄集成电路产业规模占全北京市的一半，率先在国内建成首条12英寸集成电路生产线，确立了北京在全国产业布局中的领先地位。

王延卫表示，开发区将重点选择一批产业基础较好、支撑国家信息安全需要的关键产品进行重点突破，包括移动通信芯片、存储器芯片、驱动芯片、传感器芯片四大类主要产品。到2025年，将开发区打造成为全球领先的，先进新型存储器、基带芯片和射频电路、电力电子及功率器件、集成电路代工及装备四大高精尖领域的研发制造中心，成为中国集成电路产业的核心区与承载地。