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无偏二极管的制作方法

2010年02月27日 16:08 www.elecfans.com 作者:佚名 用户评论(0

无偏二极管的制作方法

材料

材料有硅粉、铬粉、锗粉、磷、钨丝电极、载玻片、可伐合金、镍铬丝、金属锑、氩气和氮气等。

仪器

仪器有超净室、DMX-220A型真空镀膜机、显微镜。

制作方法

图1为二极管外观图,其中31是方形载玻片,作二极管的衬板;3是铬层;2是硅层;1是锑层。制作方法见图2,图中的34是镀膜机转轴;26是模板;32是载料圆盘;31是方形载玻片;33是弹性压片;23是蒸镀膜用电极。

image: bk064931d-1.jpg

图1 玻璃衬板无偏二极管外观结构图

铬层3制作过程为:将镍铬丝电极装在图2中的23处,将模板26和方形载玻片31放在载料圆盘上。抽真空至5×10-3Pa,将镍铬丝通电至发红,由于铬的升华特性,载玻片上便可得到一层好的铬膜层。?

硅层2制作过程为:将螺旋型电极装在图2中的23处,电极上涂硅粉,将模板26和镀好铬的载玻片31放在载料圆盘上。抽真空至5×10-3 Pa,再加1.5 Pa氮气,通电将电极加热使硅熔化,在铬层上便形成了一层硅膜。?

锑层1制作过程为:将螺旋电极装在图2中的23处,将锑块夹到螺旋电极的螺旋中,将模板26和镀好铬和硅的载玻片31放在载料圆盘上。抽真空至5×10-3Pa,将电极通电,便可得到镀锑层。二极管制作结束。

图2 无偏二极管制作方法图


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