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PECVD原理

2010年07月18日 11:29 www.elecfans.com 作者:本站 用户评论(0

PECVD原理

PECVD作用:在硅片表面镀上一层深蓝色的氮化硅膜,可以充分吸收太阳光,降低反射,并且氮化硅膜有钝化的作用,保护电池片不受污染。
PECVD原理:利用硅烷(SiH4)与氨气(NH3)在等离子体中反应,生成Si3N4沉积到硅片表面。
干法刻蚀化学方程式:

PECVD效果:

非常好我支持^.^

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