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区块链+智慧城市会有怎样的化学反应

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硅晶圆蚀刻过程中的流程和化学反应

中,使共有旋转轴的多片晶片在蚀刻溶液中旋转,通过化学反应进行蚀刻的表面处理。在化学处理之后,晶片的平坦度,因此为了控制作为旋转圆板的晶圆周边的蚀刻溶液的流动,实际上进行了各种改进。例如图1所示的同轴旋转的多个圆板
2022-04-08 17:02:101684

硅晶圆蚀刻过程中的化学反应研究

旋转轴的多片晶片在蚀刻溶液中旋转,通过化学反应进行蚀刻的表面处理。在化学处理之后,晶片的平坦度,因此为了控制作为旋转圆板的晶圆周边的蚀刻溶液的流动,实际上进行了各种改进。例如图1所示的同轴旋转的多个圆板的配置为基础,旋转圆板和静止圆板交替配置等。
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