本节要求：
了解传感器智能化、微型化的发展趋势。
一、传感器智能化
⑴国内智能传感器的研究
与国外相比，我国智能传感器的研究主要集中在以下几个方面：
①采用先进的微电子技术、计算机技术，研究开发将传感器和微处理器结合、具有各种功能的单片集成化智能传感器，这是智能传感器的主要发展方向之一。
②利用生物工艺和纳米技术研制传感器功能材料，开发分子和原子生物传感器。为智能传感器的发展奠定基础。
③采用部分进口芯片、国产芯片和敏感元件，利用现有条件研究实现混合型集成智能传感器（系统）。
⑵智能传感器的发展
从工程应用看，智能传感器不断向网络化、柔性化发展。
二、传感器微型化
微机电系统（Micro Electro Mechanical System, MEMS）技术的发展是传感器微型化的基础，微传感器是目前最为成功、最具实用性的微机械电子系统装置。
微机电系统的目前研究主要包括以下几个方面：
⑴基础理论研究
⑵技术基础研究
①设计方法研究
②材料技术
③微加工技术
④微检测技术
⑤集成与控制技术
⑶应用研究
①在汽车工业中的应用
②在机器人中的应用
③在生物医学中的应用