7月26日消息,为应对日本出口限制,韩国大企业开始展开脱日行动,SK集团计划通过子公司生产高纯度氟化氢,并在明年上半年投入量产。
据韩国《etnews》、《朝鲜日报》等多家媒体报道,SK集团子公司SK Mertials计划今年完成试制品,筹备生产高纯度氟化氢。SK Mertials相关人士表示,正在开发相关生产设备,目标是在年底提供样品。
在日本对韩出口限制名单中,氟化氢便是其中一个品项,韩国氟化氢有41.9%从日本进口,其中高纯度氟化氢(99.999%以上)有9成以上依赖日本。
氟化氢是半导体材料蚀刻气体的原料之一,在芯片制造工程中,用于刻画电路、清洁硅片异物,其中气态与液态的氟化氢能够混合使用,液态产品被称为蚀刻液,气态则是蚀刻气体。
SK Mertials计划制造气态的氟化氢,即蚀刻气体,并供应给半导体业界。《etnews》指出,由于SK年底才会推出样品,明年上半年有望投入正式量产。
SK Mertials自1982年起生产半导体材料,是韩国首度国产化三氟化氮(NF3)的企业,三氟化氮为半导体、显示器、太阳能电池原料之一,此外也生产工业燃气六氟化钨(WF6),供货给石油产业、钢铁产业。
虽然SK Mertials拥有丰富制造经验,但首次生产氟化氢引起外界关注。SK Mertials对此表示,过去曾处理过原料氟,并累积许多相关制造经验,拥有制造高纯度氟化氢的实力。
SK Matials尚未公布投资规模、生产能力(CAPA)等细节,加上产品也需经过质量鉴定,能否应用到半导体制程仍是未知数。
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原文标题:SK集团明年自主生产氟化氢!
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