ADE推出两种新的计量应用

马萨诸塞州韦斯特伍德 - ADE公司推出了两种软件计量应用：晶圆可视化工具和缺陷分析软件包。

设备工具箱是一种新的“离线”软件应用程序，旨在帮助工艺工程师可视化和量化晶圆形状，厚度和平整度的变化。 WaferAnalyzer 2.0旨在帮助工程师解决硅晶圆制造中的缺陷问题。这个新版本具有从晶圆检测系统和几何测量系统读取多种文件格式的能力。

使用测量和差分（之前/之后）数据，使用Device Toolbox的工程师可以开发，诊断和ADE表示，保持热，光刻，背面研磨和背面蚀刻工艺。设备工具箱独立于ADE工具运行。由任何ADE ASC或ASC-2000测量系统创建的厚度和形状数据由Device Toolbox转换为一个晶圆或整个批次的“测量”或差分信息的一维，二维或三维图。/p>

Westwood公司表示，Device Toolbox具有成本效益，因为它允许用户只购买他们需要的东西。未来的增强功能包括用于胶片应力图或场地平整度的可选应力集和场地集模块。这些将分别在第一和第二季度提供。

借助新的模式识别算法，WaferAnalyzer 2.0通过加速数据收集过程，自动化报告和图表功能以及为复杂数据提供可视化界面来增强流程工程。该公司表示，它基于Microsoft Windows 95和Windows NT，可以在工程师的桌面和洁净室中运行，使工艺工程师能够更高效地工作，专注于流程优化而不是数据收集。