0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

白光干涉仪的故障与检修_白光干涉仪的维护

h1654155282.3538 来源:沈苗 2019-08-08 10:46 次阅读

白光干涉仪的故障与检修

1、干涉环不圆正

原因:

(1)分光板膜层面反向。(2)两组出射光瞳错位。(3)分光板、补偿板、移动镜及参考镜有压应力。

检修方法:

分光板膜层应是入射光的第二面,如装在第一面,则调出的等倾干圆涉环是直的椭圆形干涉环,可旋松分光板的三只宽头螺钉,取出分光 板,反过180°重新装入金属框内,把三只宽头螺钉旋到原来的压紧力。分光板调整请参考故障检修方法。分光板,补偿板的宽头螺钉,移动镜及参考镜的调节滚花螺钉压紧 力过大,使各镜片逐步变形产生等倾干涉圆环不规则,适当放松过紧的 螺钉即可消除。

2、读数空位大于 0.03mm

原因:

(1)传动螺母和丝杆的配合间隙大。(2)拖板体下面的顶块间隙偏大。(3)档板与导轨配合过松。

检修方法:

可先调整顶块间隙,拖板体在工作状态下旋松顶块螺钉,左手大拇 指将拖板体向读数头方向轻推,中指压紧顶块,然后固紧顶块螺钉。如果仍未达到要求,调整档板与导轨的间隙达 0.02mm,再调节传动螺母上 的两只螺钉(老产品有四只)。

3、 转动粗动手轮时拖板不走。

原 因:

(1)仪器受强烈冲击后,丝杆向尾架方向脱出,造成读数头啮合齿轮错位。(2) 传动小齿轮固紧螺母松动, 造成传动小齿轮与丝杆打滑。(3)大齿轮及粗动手轮的压紧螺母松动。

检修方法:

首先检查粗动手轮压紧螺母,然后检查精密丝杆是否向尾架方向脱出,如已脱出,可松动尾架三只螺钉,一面将丝杆推向读数头,一面慢慢转动粗动手轮,最后旋紧尾架三只螺钉,如果是小齿轮固紧螺母和大齿轮固紧螺母松动,先拆去传动盒盖,再拆下门字架,固紧螺母,重新依次装配即可。

4、转动微动手轮时拖板不走。

原 因:(1)传动小齿轮压紧螺母松,使盆形弹簧片无压紧力,造成 蜗轮空转。(2)粗微动有脱开机构的干涉仪,蜗杆压紧弹簧片失灵。(3)微动手轮压紧螺母松。

检修方法:

先检查微动手轮的压紧螺母。然后打开传动盒盖,取下门字架,旋紧传动小齿轮压紧螺母,使盆形弹簧片压紧蜗轮,此时转动蜗轮应带动精密丝杆,依次装好拆下的另件。 如果是脱开机构,应检查蜗杆拖板是否已被压死。如被压死,可拆 下左右压块,清洗、上油(7101 油脂)重新装配即可,如蜗杆拖板较松,说明蜗杆拖板的弹簧压力减小,(1)可拆下弹簧改小 R 增加弹性。(2)调换弹簧片。

5、转动粗动手轮时,等倾干涉环从中心向外漂移。

原 因:

入射的光源不垂直于移动镜。

检修方法:

此种现象,并非仪器故障,主要是入射的光源不垂直于移动镜,因多数易误解为导轨直线性不好所致,故亦在此说明。首先调整干涉仪三只底脚调平螺钉,使仪器基本按放水平,然后调整光源,使扩束激光充满固定镜,将移动镜调至零光程附近,转动粗动手轮调等倾直条纹,说明扩束激光基本垂直于移动镜,此时转动粗动手轮出现的干涉圆环就不 会漂移。

6、白光干涉条纹不对称。

原 因:

受运输冲击或使用过程中碰过分光板和补偿板两板平行 度已被破坏。

检修方法:

调整分光板与补偿板的平行性,在没有自准直仪时,可通过两板同时观察室内目标物。如日光灯,调节两板上的宽头螺钉,使双象基本重合,这时调出的白光彩色条纹可达到基本对称,如仍有不对称现象,可调节补偿板的三只宽头螺钉达到完全对称。

7、 波长测定值偏长。

原 因:

(1)拖板体测面弹簧片压力太紧。(2)档板与导轨配合过紧。(3)导轨面润滑油脂太厚。(4)蜗轮稍有打滑。(5)丝杆尾架压紧力偏小。

检修方法:

先检查拖板体测面的弹簧片是否太紧,如太紧可将弹簧变形减少压力的办法解决。第二取下拖板体,检查开合螺母上的档板与导轨面的配合是否过紧,如过紧可调整档板,旋松两只螺钉,提高档板与导轨接触 处垫入 0.02mm 厚的锡片,放下档板,固紧螺钉,拿掉锡片。第三导轨如加上厚的油脂,会使拖板增加阻尼或厚的油脂上带有杂质,会使拖板不 按导轨直线移动。应清洗后重新上油。第四检查尾架内的弹簧,如压紧 力偏小,可把滚花螺套旋出,将弹簧拉长即可。如遇蜗轮稍有打滑,检修时必须小心拆装,先拆下传动盒盖,拆下门字架,取下小钢球,旋下小齿轮压紧螺母,用专用夹具取下读数盘, 平面轴承,盆形弹簧片、蜗轮等。在汽油中清洗、烘干,重新涂硬性润滑油脂(杭光 3#或 7107 油脂),重新装配时可在平面轴承与读数盘之间 加 0.2mm 的金属垫片,手感磨擦力有所增加后,依次重新装配,再进行测量检查。

白光干涉仪的维护

1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内,防止振动,仪器搬动 时,应托住底座,以防导轨变形。

2、光学零件不用时,应存放在清洁的干燥盆内,以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭,必要擦拭时,须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。

3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分,应用T5精密仪表油润滑。

4、使用时,各调整部位用力要适当,不要强旋、硬扳。

5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀,用毕后,仍保持不失油状态。

6、 经过精密调整的仪器部件上的螺丝,都涂有红漆,不要擅自转动。

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 干涉仪
    +关注

    关注

    0

    文章

    86

    浏览量

    10125
  • 白光干涉仪
    +关注

    关注

    0

    文章

    87

    浏览量

    2032
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    白光干涉仪能测透明材料吗?

    SuperViewW1白光干涉仪能否用于测量透明材料呢?答案是肯定的。白光干涉仪可以利用透明材料的反射、透射等光学特性来实现测量。它通过测量干涉
    的头像 发表于 08-22 09:11 805次阅读
    <b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>能测透明材料吗?

    白光干涉仪你问我答,为你解惑!

    中图仪器SuperView W1白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非
    发表于 12-13 09:27

    白光干涉仪可以测曲面粗糙度吗?

    白光干涉仪又叫做非接触式光学3D表面轮廓,是以白光干涉扫描技术为基础研制而成用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。它以
    发表于 05-23 13:58

    白光干涉仪只能测同质材料吗?

    白光干涉仪白光干涉为原理,广泛应用于材料科学等领域,对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、磨损情况、腐蚀情况、加工
    发表于 08-21 13:46

    白光干涉仪在半导体封装中对弹坑的测量

    白光干涉仪广泛应用于科学研究和工程实践各个领域中。它作为一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器,在测量坑的形貌方面扮演着举足轻重的角色。 白光干涉仪怎么测量坑的形
    发表于 11-06 14:27

    白光干涉仪测量原理、优势及应用分析

    白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一,在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜,在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域,除了白光干涉仪
    的头像 发表于 08-15 08:04 1.4w次阅读

    白光干涉仪原理

    本文首先介绍了白光干涉仪是什么,然后介绍了白光干涉仪的特点,最后分析了白光干涉仪的工作原理。
    的头像 发表于 08-08 10:33 9681次阅读

    白光干涉仪的原理及应用的介绍

    白光干涉仪,光谱共焦位移传感器,线激光位移传感器,膜厚都是高精度检测仪器,本篇立科技小编就带领大家一起来了解了解白光
    发表于 05-19 16:04 4781次阅读
    <b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>的原理及应用的介绍

    白光干涉仪有哪些功能?能做什么?

    通过之前的文章, 相信大家已初步了解白光干涉仪原理和优势。 _______________________________ 那白光干涉仪能做什么? 今天小优博士带大家了解
    的头像 发表于 05-11 18:49 927次阅读
    <b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>有哪些功能?能做什么?

    白光干涉仪的原理和系统构成

    白光干涉仪是目前三维形貌测量领域高精度检测仪器之一。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域,除了白光干涉仪,其
    的头像 发表于 03-07 17:55 2927次阅读
    <b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>的原理和系统构成

    白光干涉仪是什么?

    SuperView W1白光干涉仪采用增加相位扫描干涉技术,是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统。
    的头像 发表于 11-01 10:27 1393次阅读
    <b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>是什么?

    白光干涉仪的测量步骤

    SuperViewW1白光干涉仪测量分析步骤介绍。
    的头像 发表于 10-19 14:33 1285次阅读
    <b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>的测量步骤

    白光干涉仪能做什么丨科普篇

    通过前两期文章,相信大家已初步了解白光干涉仪原理和优势。_______________________________那白光干涉仪能做什么?今天小优博士带大家了解
    的头像 发表于 04-07 09:13 1132次阅读
    <b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>能做什么丨科普篇

    白光干涉仪的原理和测量方法

    白光干涉仪是以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器,用于表面形貌纹理,微观结构分析,用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗
    的头像 发表于 05-15 14:34 3953次阅读
    <b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>的原理和测量方法

    激光共聚焦和白光干涉仪哪个好?

    激光共聚焦和白光干涉仪哪个好?在精密测量领域,激光共聚焦显微镜和白光干涉仪是两种不同的高精度光学测量仪器。它们各自有着独特的应用优势和应用场景。选择哪种仪器更好,取决于具体的测量需求和
    发表于 05-06 09:41 0次下载