有一种“笃定”叫我有操作手册。遇见对的,就让自己的一颗心,从此安定下来!
MPI TS200操作手册
第一步:
准备本次测试的 DUT 和相应的探针与电缆,将相应的探针摆放完毕,佩戴相应的手套、防静电手环等
第二步:
打开 CCD 开关、光源开关并调节光强度
第三步:
打开真空气泵的开关
第四步:
将拉杆抬起防止误操作而损伤探针或待测件
第五步:
拉出载物台后并放置待测器件,按照 DUT 大小打开相应尺寸的真空吸附开关。
第六步:
将机台舱门关闭,移动 chuck,将待测物移动至显微镜光斑正下方,方便观测。
第七步:
通过chuck上X、Y、Z、Theta四个方向的千分尺可再次精准调节DUT的位置。
第八步:
由于每一片芯片的反光度不同,调节光源的亮度至合适为止。
第九步:
通过旋转调节显微镜至小倍率确定待测芯片位置,然后切换至大倍率进行扎针测试。
第十步:
探针台拉杆缓慢放下的同时观察探针是否与待测件接触,如果即将接触请停止,升高探针座Z轴旋钮,直到拉杆全部放下为止前探针头部都不要和DUT接触。
第十一步:
旋转各个探针座的 X、Y、Z 来扎 PAD 实现测试。
第十二步:
测试结束后,将探针台拉杆抬起、探针回到初始化位置,防止错误操作。
第十三步:
更换卡尔文探针流程如下,将背面螺丝松开后更换,更换完毕后锁紧螺丝。
关于探针台测试系统更多产品信息和解决方案,请联系深圳市易捷测试技术限公司
业务联系电话:0755-83698930
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