偏压电源的主要特点及作用分析

偏压电源是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件，在镀膜工艺流程中为工件提供负（或正）偏压。在真空离子镀膜中，尤其对于多弧离子镀膜，无论是装饰镀还是工具镀，轰偏电源的好坏对于成膜质量都起着非常关键的作用。装饰镀和工具镀对膜层质量的要求有相同之处又各有侧重。

偏压电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现，调压电路具有1%的稳率。高频变换电路产生10-90%脉冲电压。由于电源的输出电压与脉冲宽度独立调整，在满足工艺所需电压同时，通过改变脉冲宽度来控工件温升。电源适用于各类工具镀膜及装饰镀膜 。

作用：

1）提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力。

2）提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高膜层与工件基体结合力。

3）靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则，调整膜层颜色。

4）克服偏压电源工作于真空等离子体环境中，由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件

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