合肥微纳MEMS红外温度传感器芯片性能指标精度达到0.1℃ 日产量将提升至日产10万颗以上

据合肥高新集团报道，合肥微纳传感技术有限公司通过科研攻关，自主研发MEMS红外温度传感器芯片。该芯片可以完成进口替代，是疫情防控利器额温枪的核心部件。

基于多年传感器芯片的研究基础，微纳传感研发的MEMS红外温度传感器芯片性能指标精度达到0.1℃，抗干扰能力优于目前市场主流产品，可以完成进口替代。芯片采用CMOS（互补金属氧化物半导体）工艺制作，具有高探测率、高稳定性、极小温漂系数，可广泛应用于耳温、额温、安防、微波炉等非接触测温场合。

目前，经产能扩大，微纳传感的相关传感器芯片制造、组封装日产量从1万颗将提升到日产10万颗以上，芯片将直接供应至防疫医疗产品生产单位，能够有效缓解市场紧张，助力疫情防控工作。

微纳传感自2015年创办以来一直致力于MEMS气体、空气流量、温度等传感器芯片的研发与生产，拥有多项涉及MEMS关键技术的研究成果和发明专利。公司建有1000㎡净化实验室、200㎡表征实验室，百级洁净间（ISO Class 5）500㎡，引进国内外先进加工、制造、表征装备，建成完备工艺生产线。2019年获评工信部工业强基工程传感器“一条龙”示范企业。
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