0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

为什么只有ASML才能制造出顶级光刻机,其技术难度有多高

独爱72H 来源:网络整理 作者:佚名 2020-04-19 23:43 次阅读

(文章来源:网络整理)
大家都知道,目前我国光刻机技术至少落后荷兰ASML15年,目前荷兰ASML的顶级光刻机可以达到7nm工艺,目前他们正大研发5nm工艺光刻机;而中国目前能够量产的光刻机是90nm的工艺,差了10几倍,光刻机制造真的有这么难吗?

光刻设备是一种投影曝光系统,由紫外光源、光学镜片、对准系统等部件组装而成。在芯片制造过程中,通过投射光束,穿过印着图案的掩模及光学镜片,将线路图曝光在带有光感涂层的硅晶圆上;然后通过蚀刻曝光等等步骤,形成芯片;这里有几个重要的因素:光源,镜头,对准系统等等。制造这么高精端的光刻机,它有着:德国蔡司供应的镜头;在光源设备上美国公司的供货;而且大量来自于海力士也不断向ASML提供技术支持;这么多技术厂商的支持,加上ASML本身的组装技术,所以ASML能够一直位于世界第一,生产的光刻机也是最顶级的。

光刻机技术是世界上最尖端的技术之一,只有很少的国家掌握,所以光刻机是非常昂贵的,一台高端的光刻机可以卖到1.2亿美元左右,目前全球最贵的光刻机是:EUV光刻机,单台售价超过1.2亿美元,虽然卖这么贵,但还是供不应求,很多EUV光刻机订单都是排队生产,甚至有部分国家就算给再多的钱也买不到。

目前ASML是全球唯一能够达到7纳米精度光刻机的提供商,所以说ASML是全球芯片业真正的超级霸主一点都不过分。

目前在全球45纳米以下高端光刻机市场当,荷兰ASML也占了80%以上,而且这个占比每的还在持续增长,目前全球知名芯片厂商包括英特尔三星、台积电、SK海力士、联电、格芯、中芯国际、华虹宏力、华力微等等全球一线公司都是ASML的客户。虽然ASML是一家荷兰公司,但他背后却有着欧盟以及美国的力量,多关键技术都由美国以及欧盟国家提供。比如德国先进的机械工艺以及世界级的蔡司镜头,再加上美国提供的光源,这就使得ASML公司在光科技术方面飞速发展,几乎到达了无人能敌的境地。

因为背后有美国的力量,所以ASML一直以来都禁止向中国出口高端光刻机,直到2018年这一情况才有所转机,2018年ASML同意向中国出口两台7纳米的高端光刻机,预计2019年交货。

那ASML为什么反常的同意向中国出口高端光刻机呢?,一因为中国在光刻机的一些关键技术上已经取得了突破,目前中国已经成功研制出22nm超分辨的光刻机,可以生产14nm工艺的芯片,虽然和ASML的7nm工艺还有不小的差距,但我们一直在努力 ,相信不久将来,我们会在光刻机技术上达到世界顶级水平。
(责任编辑:fqj)

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 光刻机
    +关注

    关注

    31

    文章

    1144

    浏览量

    47232
  • ASML
    +关注

    关注

    7

    文章

    718

    浏览量

    41170
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    光刻机巨头ASML业绩暴雷,芯片迎来新一轮“寒流”?

    电子发烧友网报道(文/黄山明)作为芯片制造过程中的核心设备,光刻机决定着芯片工艺的制程。尤其是EUV光刻机已经成为高端芯片(7nm及以下)芯片量产的关键,但目前EUV光刻机基本由荷兰阿
    的头像 发表于 10-17 00:13 2659次阅读

    光刻巨人去世 阿斯麦(ASML)光刻机巨头联合创始人去世

    圈内突发噩耗,光刻巨人去世; 阿斯麦(ASML)光刻机巨头联合创始人维姆・特罗斯特去世。 据外媒报道,在当地时间11日晚,荷兰光刻机巨头阿斯麦(AS
    的头像 发表于 06-13 15:13 6924次阅读

    俄罗斯首台光刻机问世

    据外媒报道,目前,俄罗斯首台光刻机已经制造完成并正在进行测试。 俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里-什帕克(Vasily Shpak)表示,已组装并制造了第一台国产光刻机,作为泽廖诺格
    的头像 发表于 05-28 15:47 712次阅读

    后门!ASML可远程锁光刻机

    ASML进行光刻机问题沟通时,负责人做出了保证,他们能力远程锁控芯片制造设备。 这就意味着ASML传承了欧美企业留有“后门”的习惯,而伴
    的头像 发表于 05-24 09:35 506次阅读

    荷兰阿斯麦称可远程瘫痪台积电光刻机

    阿斯麦称可远程瘫痪台积电光刻机 据彭博社爆料称,美国官员就大陆攻台的后果私下向荷兰和中国台湾官员表达担忧。对此,光刻机制造商阿斯麦(ASML)向荷兰官员保证,可以远程瘫痪(remot
    的头像 发表于 05-22 11:29 5724次阅读

    ASML发货第二台High NA EUV光刻机,已成功印刷10nm线宽图案

    ASML公司近日宣布发货了第二台High NA EUV光刻机,并且已成功印刷出10纳米线宽图案,这一重大突破标志着半导体制造领域的技术革新向前迈进了一大步。
    的头像 发表于 04-29 10:44 766次阅读

    光刻机巨头阿斯麦业绩爆雷 ASML公司一季度订单下滑

    光刻机巨头阿斯麦业绩爆雷 ASML公司一季度订单下滑 光刻机巨头阿斯麦业绩爆雷了,阿斯麦(ASML)在4月17日披露的一季度订单远低于市场预期,这使得阿斯麦(
    的头像 发表于 04-18 16:43 1177次阅读

    光刻机的发展历程及工艺流程

    光刻机经历了5代产品发展,每次改进和创新都显著提升了光刻机所能实现的最小工艺节点。按照使用光源依次从g-line、i-line发展到KrF、ArF和EUV;按照工作原理依次从接触接近式光刻机发展到浸没步进式投影
    发表于 03-21 11:31 5794次阅读
    <b class='flag-5'>光刻机</b>的发展历程及工艺流程

    ASML 首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 完成安装

    3 月 13 日消息,光刻机制造ASML 宣布首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 已完成安装,新机型将带来更高的生产效率。 ▲
    的头像 发表于 03-14 08:42 506次阅读
    <b class='flag-5'>ASML</b> 首台新款 EUV <b class='flag-5'>光刻机</b> Twinscan NXE:3800E 完成安装

    光刻机巨头ASML要搬离荷兰?

    据荷兰《电讯报》3月6日报道,因荷兰政府的反移民政策倾向,光刻机巨头阿斯麦(ASML)正计划搬离荷兰。
    的头像 发表于 03-08 14:02 1122次阅读

    ASML光刻机技术的领航者,挑战与机遇并存

    ASML在半导体产业中扮演着举足轻重的角色,光刻机技术和市场地位对于全球半导体制造厂商来说都具有重要意义。
    发表于 03-05 11:26 1111次阅读

    佳能预计到2024年出货纳米压印光刻机

    Takeishi向英国《金融时报》表示,公司计划于2024年开始出货纳米压印光刻机FPA-1200NZ2C,并补充说芯片可以轻松以低成本制造。2023年11月,该公司表示该设备的价格将比A
    的头像 发表于 02-01 15:42 852次阅读
    佳能预计到2024年出货纳米压印<b class='flag-5'>光刻机</b>

    光刻机结构及IC制造工艺工作原理

    光刻机是微电子制造的关键设备,广泛应用于集成电路、平面显示器、LED、MEMS等领域。在集成电路制造中,光刻机被用于制造芯片上的电路图案。
    发表于 01-29 09:37 2594次阅读
    <b class='flag-5'>光刻机</b>结构及IC<b class='flag-5'>制造</b>工艺工作原理

    荷兰政府撤销ASML光刻机出口许可 中方回应美停止对华供光刻机

    在10-11月份中国进口ASML光刻机激增10多倍后,美国官员联系了荷兰政府。荷兰外交发言人表示,出口许可证是根据荷兰国家安全逐案评估的。
    的头像 发表于 01-03 15:22 1077次阅读

    英特尔抢下6种ASML HIGH NA光刻机

    如果我们假设光刻机成本为 3.5 亿至 4 亿美元,并且 2024 年 10 个光刻机的HIGH NA 销售额将在 35亿至40亿美元之间。
    的头像 发表于 12-28 11:31 828次阅读