自主MEMS传感器芯片核心技术与产业化

全国人大代表、中国四联仪器仪表集团有限公司董事长向晓波在2020年全国两会期间建议，大力发展我国自主MEMS传感器芯片核心技术与产业化。

向晓波说，MEMS传感器芯片已成为“卡脖子”器件，严重制约着我国工业装备安全自主可控发展。

根据国家创新驱动发展战略整体部署，结合其多年对MEMS传感器生产研发的实践探索，向晓波对发展我国MEMS产业提出如下建议：

第一，做好产业发展的顶层设计。MEMS传感器产业发展非常需要国家的宏观规划和指导，建议加强顶层设计，将MEMS传感器产业作为一个单独的产业加以研究，出台有战略规划、有实现路径、有推进实施机构、有联动机制的行动方案和发展路线图，规划优先发展的重点方向，部署前瞻性研究，形成政府导向、市场驱动的长效工作机制。

第二，设立跨国及国家级研发项目。组织遴选一批符合实现路径的重点项目，设立重大专项，从国家、行业、地方层面给予持续的资金和政策支持，对MEMS传感器的自主设计、工艺、制造等方面加大扶持投入。通过产学研合作以及国际合作，提高我国MEMS技术研发与自主创新能力。

第三，为产业发展提供资金扶持，将MEMS列入“政策性”补助产业，出台相关财税补助优惠政策，使从事MEMS研发制造的企业可向相关机构申请MEMS产业发展补助。同时，出台相关支持政策，支持国内企业开展MEMS传感器领域的国际合作，包括技术引进、公司购并、智力引进等。在国家重点建设项目中，以政府采购、首台套应用、产业链合作创新等政策，大力鼓励、支持集成应用厂商购买使用国产MEMS传感器及系统产品。借鉴集成电路产业投资基金的相关经验，引导各界社会资本，设立MEMS传感器产业投资基金，鼓励参与MEMS传感器产业创新。

考虑到MEMS对产业链上下游的协同制造能力要求较高，向晓波还建议，推动产业链协同创新，建立研发与终端消费产品一体化的协同发展体系，形成以技术开拓市场、市场促进技术能力提升的循环发展模式，建立公共服务信息平台，建立产学研用联合培养模式。