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索尼宣布将发布两款用于工业设备的新型短波红外图像传感器

MEMS 来源:MEMS 2020-06-01 17:02 次阅读

据麦姆斯咨询报道,近日,索尼(Sony)宣布将发布两款用于工业设备的新型短波红外(SWIR)图像传感器:IMX990和IMX991。该新型传感器能捕获在可见光和不可见光光谱中的图像,采用业界最小的5μm像素,尺寸紧凑。

新产品采用了索尼独创的SenSWIR技术,在铟镓砷(InGaAs)化合层上形成光电二极管,并通过铜-铜(Cu-Cu)连接硅(Si)层的读出电路。

SWIR图像传感器能够感应到人眼看不见的波长,支持不同应用领域的相机和测试设备开发,有助于工业设备的多样化发展。

SWIR图像传感器:IMX990
左图左侧:陶瓷LGA封装;左图右侧:内置热电装置的陶瓷PGA封装。右图:索尼SenSWIR技术Logo

使用传统的凸块(bump)连接,将接收光源的光电二极管InGaAs层与输出电路的Si层进行键合时,必须确保一定的凸块间距,要实现比现有CMOS图像传感器更小的像素尺寸几乎不可能,因此实现传感器微型化困难重重。然而,采用Cu-Cu连接,使得索尼新产品拥有更小的像素间距,即业界最小的5μm像素。从而在保持SXGA(IMX990)、VGA(IMX991)分辨率的同时减小相机尺寸变成可能,且有助于提高测试精度。

左图:凸块连接;右图:Cu-Cu连接


索尼独创的SWIR图像传感器技术让顶层磷化铟(InP)层能吸收四倍的可见光,厚度更薄,因此可以将光传输到InGaAs层之下,即使在可见光范围内量子效率也非常高。这种设计可以在0.4μm~1.7μm较宽的波长范围内成像,从而实现单个摄像头代替传统的多摄像头,同时完成可见光和短波红外光的捕获。

SWIR图像传感器技术的波长(X轴)和量子效率(Y轴)关系示意图

成像样品1

切换光源可以同时获取苹果的表面信息和果肉信息
(左图:可见光图像;右图:SWIR图像)


成像样品2

利用短波长红外光吸收率的差异进行材料分类
(左图:可见光图像;右图:SWIR图像)


传统SWIR图像传感器通常具有模拟信号输出功能,但新产品支持数字输出,可提供与当前工业CMOS图像传感器相同的性能。虽然模拟输出传感器需要相机的数字转换电路或其他功能,但是新产品自带此功能,从而减少了相机开发的步骤,并使多功能相机的开发更加容易。

关键规格

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原文标题:索尼发布面向工业应用的可量产SWIR图像传感器

文章出处:【微信号:MEMSensor,微信公众号:MEMS】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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