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开发顶级光刻机的困难 顶级光刻机有多难搞?

如意 来源:百家号 作者:Tech道观 2020-07-02 09:38 次阅读

光刻机可以说人类工业机械光学的技术集大成的科技创新之作,荷兰最新极紫外光EUV光刻机举例,其内部精密零件多达10万个,可以说光刻机比汽车零件精细数十倍!

顶级光刻机有多难搞?美国曾有一位工程师感叹道:ASML的光刻机,光一个零件他就调整了10年!甚至ASML说:“就算开放图纸,我们中国也造不出光刻机来!”

而且光刻机造出来了,卖给客户了,光调试就要调试一年,才可以正式开工。

ASML光刻机的供应商多达5000家,在ASML光刻机的供应链里,荷兰用到了大量他国核心技术和设备,比如蔡司镜头技术出自德国、复合材料由日本提供、工业精密机床技术靠瑞典支持,而软件技术和电源则来自美国等等。可以这么说,ASML的光刻机技术,是集采了世界各国之长,汇聚了全球顶尖技术于一身而诞生的—— 它的背后,是多个国家的先进技术的集合体!甚至可以说是全世界最先进技术的集大成者。

我国纯靠自己一国之力搞光刻机研发大家可以想象有多难!镜头、材料、机床、软件、电源、光源……每一项都需要我们自己造。但是我们中国人要对国家有信心!

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