华为携手中科院研发EUV光刻机，ASML工程师回应天方夜谭

9月16日，中国科学院院长白春礼在国新办发布会上介绍称，“率先行动”计划第二阶段要把美国“卡脖子”的清单变成科研任务清单进行布局，集中全院力量聚焦国家最关注的重大领域攻关。

白春礼称，从2021年到2030年未来的十年是“率先行动”计划第二阶段。对此，首先要进行体制机制改革。他称，目前已经设立了创新研究院、卓越创新中心、大科学中心和特色所四类机构，目的是根据科研性质不同进行分类定位、分类管理、分类评价、分类资源配置。

“这个工作还没有完，只是进行了一部分，所以第二阶段我们争取在2025年要把四类机构全部做完，全院100多研究所重新定位为90个左右的四类机构，这样就完成了全部的体制机制改革。”白春礼补充。

此外，白春礼还表示，面临美国对中国高科技产业的打压，未来十年将针对一些卡脖子的关键问题做一些新的部署。他强调，后续科学院将在“率先行动”的第二个阶段目标中， “将‘卡脖子’的问题和国外出口管制的清单转化为我们的任务清单。”

在中科院表态支持针对“卡脖子”问题进行攻关之后，9月17日下午，华为技术有限公司CEO任正非一行来访中国科学院，与中科院的专家学者们举行了座谈交流会，就基础研究及关键技术发展进行了探讨交流。

在工作会谈中，任正非简要介绍了华为公司近年来取得的进展及未来的发展战略。他表示，中科院作为国家在科学技术方面的最高学术机构，学科整体水平已进入世界先进行列，基础研究和综合交叉优势明显，为国家发展做出了重要贡献；建议科学家们继续保持对科研的好奇心，国家进一步加大对数理化和化学材料等基础研究的投入，推动产出更多重大科研成果；华为非常重视与中科院的合作，希望双方在现有合作基础上，针对新时期国内国际双循环相互促进发展的新格局，以更加开放的态度加强各个层面的科技交流，向基础性科学技术前沿领域拓展，共同把握创新机遇，推动科学家思想智慧和研究成果转化为经济社会发展的强大动力，共同为创造人类美好未来做出更大贡献。

白春礼表示，中科院与华为公司有着广泛深厚的合作基础，已经开展了多层次、宽领域的务实合作，并产出了有显示度的成果。他表示，作为国家战略科技力量，中科院正在认真贯彻落实***总书记提出的“三个面向”“四个率先”要求，深入实施“率先行动”计划；目前已完成“率先行动”计划第一阶段的总结评估，正在紧锣密鼓地谋划第二阶段的工作，坚持问题导向、目标导向、成果导向，聚焦国家重大战略需求，为促进经济社会发展提供有力科技支撑。他表示，华为是中国的品牌，更是民族的骄傲，取得了非凡的成就。他希望双方继续紧密合作，充分集聚中科院科技创新资源和华为企业优质资源，围绕未来技术发展趋势，探索科技前沿，共同促进经济社会高质量发展。

对于中国科学院院长白春礼要把美国“卡脖子”的清单变成科研任务清单进行公关的表态，以及华为创始人兼总裁任正非突然对于中科院的拜访，外界有网友猜测，华为将会与中科院携手，攻关EUV***技术。

虽然，国内的上海微电子（SMEE）已经有90nm***，并且传闻28nm***明年就能推出。但是，其与ASML的EUV***仍差距巨大。

而在此之前，业内就已有传闻称华为正在研发更为先进的EUV***，而中科院在***的关键技术和器件领域早已有相关布局。比如中科院长春光机所在***所需的透镜及曝光系统上早已有突破，而最新的消息也显示，长春光机所在实验室已经搭建出了一套EUV光源设备。

那么，华为携手中科院，能够在EUV***上实现突破吗？
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