0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

奥林巴斯半导体显微镜:从观察到报告生成的整体过程都变得简单而流畅

CPCA印制电路信息 来源:CPCA印制电路信息 作者:CPCA印制电路信息 2020-10-10 11:12 次阅读

半导体器件中的基础性原材料是晶圆。极高纯度的半导体经过拉晶、切片等工序制备成为晶圆,晶圆经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构,再经过切割、封装、测试成为芯片,广泛应用到各类电子设备当中。

晶圆表面的电路结构非常复杂,当需要对晶圆样品的电路图案和颜色进行微观观察时,传统方法要求前者采用暗场照明,后者采用明场照明,并在这两种技术之间反复切换。这种观察方法非常耗时,因为创建报告时每种技术都需要图像采集。

奥林巴斯解决方案

MX63/MX63L用于半导体/FPD检查的工业显微镜提供了传统观察方法的有效替代方法:MIX照明功能。在混合光照下,可以同时观察电路图案和晶圆的颜色信息。混合图像的清晰度有助于提高工作效率和报告的创建。

薄膜(左:明场 / 右:偏光)

偏光可用于显示材料的纹理和晶体样貌。其非常适合检测晶片和LCD结构。

硬盘(左:明场 / 右:DIC)

微分干涉差(DIC)用于帮助观察具有细微高度差异的样品。该技术非常适合用于检测诸如磁头、硬盘介质、以及抛光晶片等具有很小高度差的样品。

半导体晶圆上的集成电路图形(左:暗场 / 右:MIX(明场 + 暗场)

暗场是检测标本上细微划痕或缺陷以及晶片等镜面样品的理想工具。MIX照明可让使用者即可观察图形也可观察色彩。

半导体晶片上的光致抗蚀剂残留物 左:荧光 / 右: MIX(荧光 + 暗场)

荧光观察适用于使用专用滤色片立方照明时能够发光的样品。其可用于检测污染物和光致抗蚀剂残留物。MIX照明可实现光致抗蚀剂残留和集成电路图形的观察。

LCD滤光片 左:透射光 / 右:MIX (透射光 + 明场)

这种观察技术非常适合诸如LCD、塑料以及玻璃材料等透明样品。MIX照明可实现滤色片颜色和电路图形的观察。

先进的分析工具

MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像,让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结果提供更多选择。

从不可见到可见:MIX观察与图像采集

通过将暗场与诸如明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用,MIX观察技术能够获得独有的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在指定时间仅使用四分之一象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕,对于样品表面纹理的可视化非常有用。

表面收到反射(上左)

来自不同角度定向暗场的多幅图像(上中)

将没有光晕的清晰图像拼接在一起,创建样品的单幅清晰图像(上右)

轻松生成全景图像: 即时图像拼接

利用多图像拼接(MIA)功能, 用户移动手动载物台上的XY旋钮即可轻松快速完成图像拼接—电动载物台无需进行该操作。奥林巴斯Stream软件利用模式识别生成全景图像,让用户获得更宽的视场。

硬币的即时MIA图像

生成全聚焦图像: EFI

奥林巴斯Stream软件的景深扩展成像(EFI)功能可采集高度超出物镜焦点深度的样品图像,并可将其合成一幅全聚焦图像。EFI配合手动或电动Z轴调焦使用,可轻松实现结构可视化的高度图像。其也可在Stream桌面版(Desktop)离线情况下生成EFI图像。

集成电路芯片上的凸块

利用HDR同时捕捉明亮区域和暗光区域

采用先进图像处理技术的高动态范围(HDR)可在图像内调整亮度差异,从而减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉品质,从而有助于生成具有专业级外观的报告。

(左)某些部位存在炫光。(右)暗光区域和明亮区域利用HD获得清晰呈现。

从基本测量到高级分析

测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法,即便是入门级奥林巴斯Stream软件包也融入了交互测量功能的全部菜单,并且所有测量结果与图像文件一起保存以便存档。此外,奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供面向工作流的直观界面。点击按钮一下,图像分析任务即可快速精准完成。在大幅度缩减重复性任务的处理时间情况下,操作人员可以将精力集中在手边的检测工作上。

基本测量(印刷电路板上的图形)

分散能力解决方案(PCB通孔的横截面)

自动测量解决方案(晶圆结构)

选配晶圆搬送机 — AL120系统

选配的晶圆搬送机可安装在MX63系列上,实现无需使用镊子或工具即可安全地将硅片及化合物半导体晶圆从片盒转移到显微镜载物台上。卓越的性能和可靠性可实现安全高效的前后宏观检测,同时搬送机还可帮助提高实验室工作效率。

MX63系统与AL120晶圆搬送机结合使用(200毫米型号)

快速、清洁的检测

MX63系列可实现无污染的晶圆检测。所有电动组件均安装在防护结构壳内,显微镜镜架、镜筒、呼吸防护罩、及其他部件均采用防静电处理。电动物镜转换器的转速比手动物镜转换器更快更安全,缩短检测间隔时间的同时,让操作人员的手始终保持在晶圆下方,避免了潜在的污染。

防静电呼吸防护罩

电动物镜转换器 接受所有晶圆尺寸该系统可配合各类150–200毫米和200– 300毫米晶圆支架和玻璃板使用。如果生产线上的晶圆尺寸发生变化,以很少的成本即可更改显微镜镜架。有了MX63系列,各种载物台均可用于检测75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圆。

晶圆支架和玻璃板

让您的大尺寸样品检测流程更加顺畅

MX 63 和 MX63L 显微镜系统具有多种功能,采用符合人体工学的易用设计,能够提供最大 300mm晶圆、平板显示器、印刷电路板、以及其他大型样本的高品质观察。该产品采用灵活的模块设计,能够提供适用于多种检查用途的最佳观察系统。通过与奥林巴斯 Stream 图像分析软件结合,从观察到报告生成在内的整体检查过程都变得简单而流畅。

责任编辑:xj

原文标题:【企业动态】奥林巴斯半导体显微镜 独有的MIX照明功能让图像更清晰

文章出处:【微信公众号:CPCA印制电路信息】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 半导体
    +关注

    关注

    334

    文章

    27305

    浏览量

    218165
  • 奥林巴斯
    +关注

    关注

    0

    文章

    32

    浏览量

    12253
  • 显微镜
    +关注

    关注

    0

    文章

    558

    浏览量

    23023

原文标题:【企业动态】奥林巴斯半导体显微镜 独有的MIX照明功能让图像更清晰

文章出处:【微信号:pci-shanghai,微信公众号:CPCA印制电路信息】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    共聚焦激光显微镜对比超分辨显微镜

    显微镜(CLSM) 1.1 工作原理 共聚焦激光显微镜通过使用激光作为光源,结合共聚焦技术来获取样品的高分辨率图像。在CLSM中,一个点光源(通常是激光)被聚焦样品上,然后通过一个共聚焦孔径系统,只有焦平面上的光被收集并成像。
    的头像 发表于 10-30 09:42 424次阅读

    共聚焦激光显微镜工作原理

    在生物医学研究中,对细胞和组织的精确观察至关重要。传统的光学显微镜虽然能够提供一定的分辨率,但在深度和对比度上存在局限。共聚焦激光显微镜的出现,极大地提高了显微成像的质量,使得科学家能
    的头像 发表于 10-30 09:27 396次阅读

    扫描电子显微镜用在半导体封装领域

    与分析的利器,正发挥着不可替代的作用。本文将深入探讨蔡司扫描电子显微镜半导体封装领域的应用,工艺开发、质量控制失效分析,全方位展现其技术优势与实际应用案例。一、
    的头像 发表于 09-10 18:14 673次阅读
    扫描电子<b class='flag-5'>显微镜</b>用在<b class='flag-5'>半导体</b>封装领域

    ZEX-201B 自动对焦显微镜

    ZEX-200 自动对焦显微镜系列是一款自动对焦高清视频显微镜,该产品具备实时自动对焦功能,传统光学显微镜,需要放大过程中对其焦距进行手动调节;ZEX-200 系列,在实时自动对焦的功
    发表于 09-05 16:08 0次下载

    显微镜下芯片PAD面发蓝

    显微镜下,观察到芯片的PAD面发蓝,一般是什么原因导致的呢? 做了切片和EDX,并无异常。
    发表于 08-23 14:04

    照明显微镜激光引擎

    ,就有损坏观察对象的风险。该领域要求的精度只有特定于应用的解决方案才能提供。 今天,我们推出了成套式显微镜激光引擎 Coherent CellX,从而增强了我们在生命科学激光系统领域的领导地位。 我们的经过扩展的 CellX 平台最初是为流式细胞术设计的,现在
    的头像 发表于 06-24 06:30 301次阅读
    照明<b class='flag-5'>显微镜</b>激光引擎

    蔡司EVO扫描电子显微镜用在五金机械领域

    今天蔡司代理三本精密仪器小编给大家介绍EVO扫描电镜电子显微镜在金属加工领域的应用。钨灯丝电子显微镜EVO系列所提供的图片质量出色,不仅能帮助客户清晰地观察到亚微米甚至纳米级别的细微差异,还为客户
    的头像 发表于 05-31 14:09 348次阅读
    蔡司EVO扫描电子<b class='flag-5'>显微镜</b>用在五金机械领域

    共聚焦、光学显微镜与测量显微镜的区分

    显微镜介绍共聚焦显微镜的工作原理基于“共聚焦”概念,即只有处于物镜焦平面上的点才能清晰成像,焦平面以外点的成像则被排除掉。这是通过使用特殊的光学系统,如共聚焦孔径(
    发表于 05-14 10:43 3次下载

    显微成像与精密测量:共聚焦、光学显微镜与测量显微镜的区分

    共聚焦显微镜是一种光学显微镜,也可以被称为测量显微镜。能够进行二维和三维成像,是光学显微镜技术中较为先进的一种;因其高精度的三维成像能力,也常被用作一种高级的测量
    的头像 发表于 05-11 11:38 867次阅读
    <b class='flag-5'>显微</b>成像与精密测量:共聚焦、光学<b class='flag-5'>显微镜</b>与测量<b class='flag-5'>显微镜</b>的区分

    用于材料领域的共聚焦显微镜可以看到什么?

    内部的微观结构。2.半导体材料的特性:共聚焦显微镜可以用于研究半导体材料的表面形貌、缺陷分布、掺杂分布等,这对于理解和优化半导体器件的性能至关重要。3.复合材料的
    的头像 发表于 04-25 09:17 577次阅读
    用于材料领域的共聚焦<b class='flag-5'>显微镜</b>可以看到什么?

    共聚焦显微镜和激光共聚焦显微镜的区别详解

    两者在细节和特性上存在差异。1、原理上的差别:共聚焦显微镜基于共焦原理的显微镜技术,是一种使用了透镜系统将样品的不同焦深处的光聚焦同一焦点上。这种聚焦方式能够减少背景噪音,提高图像的清晰度和对比度
    发表于 04-16 10:40 0次下载

    教你该如何操作体视显微镜

    阳一科技体视显微镜也称解刨显微镜,是微量物证检验常用的仪器。主要用于痕迹检验、文件检验中的细小物证,如指纹、工具、文字的显微观察和分析检验。体视显微镜主要操作有:调焦,视度调节,瞳距调
    的头像 发表于 01-26 08:35 2159次阅读
    教你该如何操作体视<b class='flag-5'>显微镜</b>

    显微镜的结构和使用方法 显微镜分为哪三个部分

    显微镜是一种用于放大观察微小物体的光学仪器。它通过对物体的光线进行放大和调节,使我们能够看到肉眼无法观察到的微小细节。显微镜广泛应用于生物学、医学、工程和材料科学等领域。为了更好地理解
    的头像 发表于 01-25 14:19 2655次阅读

    【应用案例】扫描近场光学显微镜SNOM

    扫描近场光学显微镜SNOM 扫描近场光学显微镜(scanning near-field optical microscopy, SNOM),能在纳米尺度上探测样品的光学信息,打破了长久以来经典(或远
    的头像 发表于 01-09 14:19 847次阅读

    中图共聚焦显微镜大倾角超清纳米测量应用场景举例

    共聚焦显微镜可以在非常小的区域内进行高分辨率成像,用途广泛。特别在材料科学研究中,适合用于观察材料的表面形貌结构。中图共聚焦显微镜以针孔共聚焦技术为原理,广泛用于半导体制造及封装工艺检
    的头像 发表于 12-26 11:48 530次阅读
    中图共聚焦<b class='flag-5'>显微镜</b>大倾角超清纳米测量应用场景举例