据中国台湾经济日报报道,三星(Samsung)明年可能导入极紫外光(EUV)技术生产内存,美光(Micron)企业副总裁、中国台湾美光董事长徐国晋表示,美光不打算跟进,目前并无采用 EUV 计划。
市调机构集邦科技预计,明年动态随机存取存储器(DRAM)可能跨入 EUV 世代,将由三星抢先导入 EUV 技术,以提升成本结构与生产效率。
据台媒指出,徐国晋 7 日接受采访时表示,美光目前采用浸润式设备,配合其他制程可以达到一样的效果,并无采用 EUV 计划。
原文标题:三星拟采用 EUV 技术生产内存,美光:不打算跟进
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