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Inkron对纳米压印材料和元件开发设备进行了战略投资

MEMS 来源:MEMS 作者:MEMS 2020-10-13 14:43 次阅读

据麦姆斯咨询报道,长濑集团(Nagase)旗下的硅烷光学纳米压印光刻(NIL)材料提供商Inkron近期对外宣布,对纳米压印材料和元件开发设备进行了战略投资。投资详情为Inkron从EVG公司购入自动化紫外纳米压印系统EVG 7200。该系统能够实现微米和纳米级结构的批量生产。Inkron表示,采用Smart NIL(智能纳米压印)技术的EVG 7200系统非常适合批量生产下一代光学器件,包括波导和衍射光学元件(DOE),这是增强现实(AR)和虚拟现实(VR)应用的核心元件。

EVG 7200纳米压印系统


Inkron表示,这项投资将有助于加快Inkron为增强现实(AR)眼镜、3D传感器和其它DOE关键元件所需的高性能光学材料的开发速度。此外,该项投资还将为其客户提供元件原型设计和小批量制造服务。

EVG技术开发和知识产权总监Markus Wimplinger表示:“为推动纳米压印技术的发展,我们成立了NILPhotonics Competence Center。EVG与纳米压印产业链的企业合作,如Inkron等,利用我们在纳米压印方面的专业知识加速新器件和新应用的开发。与Inkron合作,我们很荣幸有机会为他们开发先进光刻胶,这对下一代光学器件制造至关重要。”

除纳米压印设备,Inkron还购入了光学结构制造设备和测试设备(包括器件性能和可靠性测试),相关的设备投入还将继续进行。Inkron对外表示已经成立了一支专业团队,以支持Inkron纳米压印生态系统。该团队由Inkron副总裁JanneKylmä博士领导,材料科学家、光刻工艺工程师和光学专家等组成。

Inkron运营副总裁Jukka Perento作为该公司纳米压印业务的主导者,对此发表评论:“我们为能加快性能更优的创新光学树脂技术开发而感到兴奋。新型EVG 7200纳米压印系统在这一战略举措中起到了至关重要的作用。EVG 7200提升的工艺能力将帮助我们为客户解决关键性能路线图,助力客户取得成功。”Perento补充说:“我们的纳米压印高折射率材料、与之匹配的间隙填充镀膜,结合EVG的纳米压印系统,将为光学制造商提供关键的晶圆级解决方案,以实现其最新研发成果的量产。”

Inkron提供各种纳米压印加工材料和光学镀膜,波段涵盖从可见光到近红外光范围,折射率范围为1.1~2.0。

责任编辑:lq

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原文标题:Inkron购入EVG新款纳米压印设备,AR/VR微光学元件量产提速

文章出处:【微信号:MEMSensor,微信公众号:MEMS】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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