知芯传感：填补芯片生态位 让“MEMS微镜”迸发市场活力

在MEMS（微机电系统）领域，芯片的流片环节是“最煎熬的存在”，它是科研成果走向市场的必经之旅，看上去一步之遥，实则蜀道艰难。流片成本高，过程复杂，财力精力付出巨大，稍有不慎就功亏一篑，重头再来。很多科研成果就这样夭折在“黎明前的黑暗”里。在苏州工业园区，有一支MEMS领域的博士创业团队，仅成立一年多，其自主研发的“中国芯”就在产业化的道路上迎来了流片成功的胜利曙光。

让我们一起走进2020年科技领军人才企业——苏州知芯传感技术有限公司（简称：知芯传感），听创始人陈巧博士讲述公司的创业之路。

抢抓机遇

吹响创业集结号

微镜是目前最热门的MEMS核心器件之一，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，可以广泛应用在光通信、VR/AR、人脸识别、激光投影、智能车灯、汽车抬头显示HUD、激光雷达（LiDAR）自动驾驶、机器人、AGV及智能安防等，前景非常广阔。陈巧博士，就是躬耕这一领域13年的资深研发人。在组建知芯之前，他就已战功显赫，成功开发多款MEMS微镜。作为核心骨干，曾参与了科技部国家重大科学仪器设备开发专项中MEMS微镜的研发工作，并在微型傅里叶近红外光谱仪中得到应用。长期带领团队专攻MEMS微镜芯片设计、工艺开发、封装测试，并成功量产。

天时地利人和，当时机成熟，创业就成了水到渠成的事。“材料方面，一家日本厂商的PZT技术已经开发了十多年，目前处于成熟阶段，我们考察之后觉得非常符合我们的需求。技术方面，我们除了埋头研究自己的MEMS之外，也格外关注MEMS行业的前沿研究。不管是芯片结构的先进性，还是芯片工艺的可控度，我们对自己的芯片都有足够的底气。所以当我们看到这个材料的生产技术成熟了，我们的技术也成熟了，就萌生了创业的想法。资金方面，合适的投资方都有一双火眼金睛，他们比我们更能看到市场的需求和未来的方向，我们跟资方算是一拍即合。”谈起当初的创业冲动，陈巧的眼睛闪过一道光。

MEMS的独特特性使之在很多领域具有应用潜力，尽管已经有不少应用，但整体来说MEMS市场仍处于起步阶段。为了抢抓机遇，知芯传感很快集结了一支稳定、高素质、高水平的团队，涵盖了MEMS、设计、工艺、控制等领域。

“公司核心技术MEMS及控制方面均由具有国外领先技术的海外归国博士担任团队负责人，管理团队负责人来自南京大学MBA，拥有多年企业运营和市场经验。主要人员均为硕士以上学历，在相关行业都有10年以上专业经验，熟悉MEMS产业方向，MEMS供应链，对于行业的发展以及市场的需求都较为了解，所以我们很有信心。”陈巧骄傲地说。

落地园区

填补芯片生态位

MEMS制造环节门槛高、技术含量高，是制约中国MEMS产业发展的瓶颈，也是从实验室到可销售产品最核心的支撑环节。

“园区有我们项目上下游配套产业链和产业集聚氛围，这是我们选择园区的首要条件。”陈巧告诉记者，之前的工作经历中，就多次接触纳米城的MEMS中试量产平台，对于他们的工艺还是较为认可的。“最近我们依靠纳米城的MEMS中试量产平台已进行了两轮流片，效果不错。”

而且，根据园区的相关政策，可以申请较为可观的纳米MEMS产品流片补贴，这着实为创业期的企业减轻了负担。陈巧表示：“当时考虑落地的时候，已经考察过很多地方。园区的营商环境和产业链非常适合我们这样的初创企业。在这里，我们可以跟同伴一起更好地成长。”

据介绍，知芯传感将利用苏州纳米科技发展有限公司与日本爱发科共建的PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室平台，完成PZT压电薄膜驱动MEMS微镜芯片的产业化。知芯传感通过与竞争对手产品异质化的优势，占住了属于自己的生态位。

厚积薄发

推动研发市场化

“目前市面上的芯片一般采用谐振驱动，而我们的芯片可采用准静态线性驱动，精度更高，应用范围更广。”陈巧介绍说，PZT压电薄膜驱动MEMS微镜芯片二次流片后的测试的结果十分喜人。

据了解，为更好地发挥PZT压电薄膜驱动的优势，知芯传感研发了一种新的结构，相较于目前市面上的芯片，运用了新结构的芯片良品率更高，扫描角度更大，稳定性更强。经测试芯片在运转10亿次以后，性能衰减较小，还可实现之前95%以上的性能。

“虽然我们公司成立不久，但是我们整个项目的筹备阶段其实是经历了较长时间的论证的，凭借多年的行业经验，我们研发的时候会考虑到芯片的可靠性、可加工性、可量产性等多方面，这不是一个短期的爆发，而是我们长时间经验的积累。”陈巧解释道。

目前，知芯传感掌握MEMS芯片设计、工艺制造、集成封装的自主核心技术，具有MEMS产品化的深厚技术储备，且已申请多项发明专利，具有多种MEMS器件的量产经验，部分高端产品短期内将实现量产，而相关产品国内基本无量产厂商。

行稳致远

破局进口依赖性

“现在国内很多芯片还是依赖国外进口，所以我希望我们的产品是符合市场需要的，能够做到替代国外进口的芯片，打破这种僵局。”陈巧对产品有明确的定位：“就目前我们研发的这款芯片，我们要做到中国的前三，因为在芯片这个行业，你如果不能拥有领先优势，那么就很难存活。”

慎始敬终，弘毅笃行，对于公司未来发展，知芯有着清晰的时间节点规划。未来三年，知芯传感将加大投入优化产品设计、提升产品各项功能，突破关键技术，实现由自动化向智能化转变；未来五年，将扩大生产车间提升公司产能，争取成为行业该领域的排头兵。未来10年，知芯传感计划成为全球激光雷达用MEMS微镜芯片的领导者，为我国MEMS产业的发展、激光雷达产业的跨越式发展以及下游应用产业的规模发展做出贡献。

责任编辑：xj

原文标题：知芯传感，让“MEMS微镜”迸发市场活力

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