MEMS是什么，MEMS的技术简介

MEMS全称Micro Electromechanical System（微机电系统），是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。

生活中有哪些MEMS器件？

第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室研制了第一个横向梳齿驱动器，微机械结构可以在垂直于表面的方向移动。

图．1 加州大学伯克利分校研制的第一个可转动的MEMS马达

图．2 美国桑迪亚国家实验室研制的第一个横向梳齿驱动器

经过30年的发展，MEMS器件已经渗透于我们的生活之中。转屏是智能手机中的一项基本功能，如图．3所示，这项功能是通过MEMS陀螺仪来实现的。图．4展示了传统机械陀螺仪与MEMS陀螺仪的对比，后者比前者小得多，因而得以在智能手机和平板电脑中广泛应用。如图．5所示，出于安全考虑，气囊是汽车中的必备装备，它们会在发生撞车时自动充气膨胀，保护乘客的安全。安全气囊对撞车事件的迅速检测得益于其中的MEMS器件，图．6展示了MEMS加速度计的芯片结构。用于传感检测的MEMS芯片和用于控制的IC芯片通常混合集成在一个壳体里面。此外，MEMS技术在生活中的其他应用包括MEMS麦克风、MEMS投影仪、MEMS压力传感器，等等。

图．3 MEMS陀螺仪在智能手机中的应用—转屏功能

图．4 传统的机械陀螺仪（左）与MEMS陀螺仪（右）

图．5 汽车中的安全气囊（内有MEMS器件）

审核编辑：符乾江