在芯片制造过程中,任何一点小瑕疵都可能造成整批芯片的报废。因此,这一过程中晶圆监测必不可少,可以保证芯片的良品率和控制成本。
这种芯片制造全程的检测工艺,便是“前道测量”。在半导体前道测量领域,垄断态势也十分明显。
其中,KLA独自便占据了高达53%的市场,其次美国应用材料、日本日立、美国耐诺等。在这一领域中,有一个独特的存在,那便是日本测试设备制造商——Lasertec。
Lasertec是全球唯一EUV光刻制造测试设备制造商。它虽然名气不算大,公司规模也有限,却掌握着全球顶尖技术,为芯片制造做出了突出贡献。
随着先进工艺节点的逐渐推进,EUV光刻机的需求量快速增长,这自然带动了EUV检测设备市场。如今,台积电、三星均可以量产5nm制程,在大举推进先进制程的同时,还在积极扩产。
这令二者所需的EUV光刻机数量明显提升,Lasertec检测设备的需求量自然也随之增长。如今,台积电与三星都订购了Lasertec的EUV检测设备。
未来,SK海力士、美光等芯片巨头也将使用EUV技术进行量产。目前,已经到了EUV检测设备行业的收割期,由此来看,Lasertec的未来发展十分可期。
据Lasertec的2021年6月期第2四半期财报显示,公司销售额为322.31亿日元,实现了61.6%的同比大涨。从Lasertec的历年业绩中不难看出,其营收、销售额等数值都呈现高速发展态势,业绩屡创新高,令人十分瞩目。
同时,Lasertec的股价也实现了大幅提升,成为半导体设备行业的一匹黑马。
Lasertec能有如今的成绩,离不开其多年来的不断研发。在EUV检测设备领域,Lasertec早就压下了重注,经过20多年的钻研之后,终于有所突破。
Lasertec在2017年,成功制造出可检测EUV光罩基板内部缺陷的机器,一举成为行业垄断者。在芯片制造过程中,光罩出现任何小的瑕疵,都会对芯片成品造成影响。故而,保证光罩完美十分关键。
因而,Lasertec的这一突破,对于提升芯片良品率有着重要作用。
EUV光刻机的行业壁垒极高,EUV检测设备行业业是如此,在Lasertec在这一领域的行业地位已经成功确立,其他厂商很难再进入。
如今在半导体前道量测领域,Lasertec的市场占有率还十分有限。但在未来,Lasertec发展潜力却十分巨大,是一颗冉冉升起的新星。
责任编辑:tzh
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