中芯国际迎来了久违的好消息:可从阿斯麦(ASML)订购12亿美元的光刻机。
订购12亿美元光刻机
3月3日晚间,中芯国际披露,公司于2月1日与阿斯麦(ASML)上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议,将采购协议的期限延长一年至2021年12月31日。根据批量采购协议,公司已就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品(即光刻机)与阿斯麦集团签订购买单,订单金额12亿美元。
阿斯麦(ASML)即荷兰阿斯麦,是全球最大的半导体设备制造商之一,主要业务为光刻机的研发和生产,在全球处于绝对领先地位。具体来看,ASML在45nm以下制程的高端光刻机市场中占有85%的份额;在EUV(极紫外)光刻机领域则处于绝对垄断地位,市场占有率100%。
目前,ASML的EUV光刻机主力出货型号是3400B,价格约1.2亿美元,其最新款的3600D定于2021年中旬出货交付。
是否包含EUV光刻机?
众所周知,EUV光刻机是生产5nm芯片必不可缺的设备。那么,中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机,包含EUV光刻机吗?
记者从业内资深人士处了解到,除了EUV光刻机,中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机,包括DUV(深紫外)光刻机。
此前,ASML的CFO在财报会议的视频采访中表示:如果宽泛地理解相关规则对AMSL的整体意义,ASML将能够从荷兰向中国客户(包括中芯国际)提供DUV光刻系统,且无需出口许可证。不过,如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统,ASML则需要为此申请出口许可证。
在DUV光刻机方面,ASML的最新一代产品型号是NXT 2050i。公开资料显示,ASML于2020年第三季度对第一台TWINSCAN NXT 2050i进行了质量认证,并于第四季度初发货。由于对掩模版工作台、晶圆工作台、投影物镜和曝光激光器的技术改进,NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制,具有更高的生产率。
公开报道显示,ASML的上一代DUV产品NXT2000i光刻机,光刻精度可以达到1.9nm,远低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。
第一季度营收预计超10亿美元
在近期接受机构调研时,中芯国际联合首席执行官赵海军表示,目前公司依然是满载运营,预计今年第一季度营收会回美元到10亿以上。
此前,中芯国际预计,2021年全年营收成长在中到高个位数。
产能紧缺已经成为半导体业内共识。赵海军表示,公司会继续扩产,预计12英寸月产能增加1万片, 8英寸月产能增加不少于4.5万片,但由于设备采购周期长,预计扩产产能对今年营收贡献不大。
此外,在先进制程方面,赵海军强调,公司将保障生产连续性,继续与供应商推进出口许可证的申请;也会考虑加强第一代、第二代FinFET多元平台开发的布建,并拓展平台的可靠性及竞争力。
责任编辑:tzh
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