电容式传感器是将被测非电量的变化转换成电容量的变化,通过测量电容推算出被测非电量的传感器。它的敏感部分就是具有可变参数的电容器。其最常用的形式是由两个平行电极组成、极间以空气为介质的电容器。
电容式传感器的工作原理
电容式传感器的核心部分就是具有可变参数的电容器。若忽略边缘效应,平板电容器的电容C=εA/δ,式中ε为极间介质的介电常数,A为两电极互相覆盖的有效面积,δ为两电极之间的距离。δ、A、ε 三个参数中任一个的变化都将引起电容量变化,如果保持其中两个不变,而仅仅改变其中一个参数,就可以把该参数的变化转换为电容量的变化,通过测量电路就可以转化为电量输出。
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