随着材料科技的发展,需要更细致地观察研究材料的微观物理化学结构特征,透射电子显微分析(TEM)作为一种具有超高分辨率、超高放大倍数的显微分析方法,是观察分析材料的形貌、组织和结构的有效工具。
透射电镜以波长极短的电子束高速轰击样品,电子透过样品后,携带其微区结构及形貌信息,经探测器接收后可进行形貌分析,以及通过电子衍射理论进行结构分析。
电子束穿透固体样品的能力主要取决于加速电压,样品厚度以及物质的原子序数。一般来说,加速电压愈高,原子序数愈低,电子束可穿透样品厚度就愈大。因此,通常情况下,在制备TEM样品时,越薄越好。
季丰电子的透射电镜是目前主流的Thermo Scientific FEI Talos系列。用于高通量、高分辨率表征和动态观察的TEM和STEM分析,线分辨率≤0.1 nm,STEM分辨率≤0.16nm。搭配高端Helios 5系列FIB系统可以制备、观察厚度在20nm以下的超薄样品。4k × 4k Ceta 16M 相机可在 64 位平台上提供大视场、高灵敏度快速成像。
此外TEM配备了对称布置的双100 mm2 Racetrack 能谱检测器( “Dual-X”),以最大限度提高分析通量,可对材料表面微区成分以及膜层结构进行面、线、点分布的定性和定量分析。
季丰电子实验室有经验丰富的电镜工程师,熟悉各种半导体样品,薄膜样品,金属样品等,为提供准确的、高质量的分析结果提供有力保障。
编辑:jq
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原文标题:季丰电子提供TEM分析服务
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