XD500系列压电偏摆台的特点及应用

在各种光学应用中，随着通光口径的不断增大和分辨率的不断提高，或应用环境的变化，各类微振动都会对光学系统产生不利的影响，例如会极大地降低成像或光通信的质量。因此，就需要针对这种微振动设计出相应的隔振系统。

为了能够设计出更适合光学载荷的隔振系统，就需要对微振动进行充分的了解与研究，以及对隔振的性能进行实际的、充分的试验验证。因此，一种高可靠性、高精度的微振动模拟器将是隔振系统设计过程中必要的工具之一。并且，因光学载荷整个系统的重量较大，该微振动模拟器的承载能力一定要强!

针对微振动模拟或扰动模拟应用环境的特点，芯明天以自身先进的压电纳米定位与控制技术，研发、生产了多款振动模拟用压电偏摆台。并且，每种型号都具有高精度、大承载的特点，完全可满足振动模拟的各项要求。XD500系列压电偏摆台就是其中之一。

XD500系列压电偏摆台为θx、θy二维偏转的压电偏摆台，它的承载能力高达10kg，偏转角度为±0.29mrad，分辨率可达0.1μrad。XD500系列是专为大负载偏转应用而设计，它非常适于大负载偏摆运动实验，如空间扰动模拟、振动模拟等。

XD500系列压电偏摆台是基于多压电陶瓷结构设计而成，每轴采用多个压电陶瓷结构，以推拉模式、差分驱动形成偏转运动。XD500系列压电偏摆台，整体采用柔性铰链结构、具有无机械摩擦、响应速度快、重复定位精度高等优点。

特点

• θx、θy二维偏转• 承载能力达10kg• 适于大负载偏转应用• 可选配闭环反馈传感器

应用

• 微振动模拟器• 光束偏转/扫描• 重型镜持偏转• 空间扰动模拟等

偏转角度与驱动电压曲线

技术参数

型号：XD500.T0S/K-B1

运动自由度：θx、θy

驱动控制：3路驱动

标称偏转角度(0~120V)：0.46mrad/轴

偏转角度(0~150V)：0.58mrad/轴

传感器类型：SGS

闭/开环分辨率：0.2/0.1μrad

闭环重复定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：200/20N

空载谐振频率：1000Hz

带载10kg谐振频率：230Hz

承载能力：10kg

静电容量：21.5μF/轴

材质：钢、铝

重量：5kg

审核编辑：汤梓红