半导体可靠性测试系统领导厂商思达科技,宣布一体化SMU-per-pin测试系统—思达冥王星STAr Pluto-hiVIP,已获得半导体标竿行业客户订单且完成出货。此系统配置应用在TSV、铜柱(Copper-Pillar)、微凸块(micro-bump)等多脚数器件的低/大电流动态AC电子迁移和老化测试,以及高压、高功率HCI和NBTI HCI/NBTI,与高压GOI可靠性测试。
思达冥王星Pluto系列是次世代可靠性测试解决方案,应用范围包括封装级和晶圆级验证,多样配置可满足EM、HCI、NBTI、TDDB等的行业测试要求。此系列中Pluto-hiVIP,是一款新型、支持更高电流和电压的高端测试系统,具有可以轻松升级至大容量系统的弹性架构,单一系统内可进行多个应用。
最大配置包括48个电源与量测单元 (SMU,Source and Measurement Unit),每个模块具有2个独立电源,共有96个电源可进行多被测器件数的验证,实现更高的测试性能,同时显著增加高电流和电压可靠性测试容量。
思达冥王星Pluto-hiVIP是完整的集成封装级高温可靠性测试解决方案,开发应用在支持大电流EM、大功率HCI/BTI和高压TDDB验证。设计用在并行应力和测试,最大可支持4.0A dc,高击穿电压可达100V,热温室温度在18至400摄氏度,被测器件(DUT)板具有零插入力测试插座,确保一整个环境,适合在单个系统内进行从室温HCI至高温EM的全套可靠性测试。冥王星Pluto-hiVIP系统,实现了主要而关键的高精度测试结果和验证性能。
思达科技执行长与技术长刘俊良博士表示,“此次接单出货代表行业客户对于STAr Pluto系列,卓越的能力、效率和测试精度的肯定。Pluto系列测试系统,是以新的硬件和软件架构为基础,满足现今和未来的半导体验证测试要求,同时减少客户的测试工程人力时间成本,达到最好的测试表现和更高的产能。”
Img. 思达冥王星Pluto-hiVIP测试系统
审核编辑:符乾江
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