MEMS传感器的国产化对产业发展的重要性

近期，“俄乌冲突”引发全球普遍关注，各路媒体聚焦战事走势和后续影响，纷纷发表各自的观点与看法，各个行业领域，包括经济、能源、航空航天、文化、体育等机构都对未来局势做出了预测和判断。

虽然我们无法判定未来的国际形式因这场冲突会有什么样的后果，但有一点是确定的，那就是：无论如何，命运一定要掌握在自己的手中，否则就会处处受制于人!俄乌冲突爆发后，俄罗斯受到西方国家的各种制裁，金融系统遭受严重影响，网络通讯部分时间陷入瘫痪，另外与国民生活相关的还包括“半导体制裁”。

目前，欧美各国已经宣布封锁俄罗斯半导体原材料出口，日本已跟进美国对俄罗斯芯片、机器人等先进技术的高科技产品进行出口管制。另外，美国将采取的制裁范围中也包含锁定目标管制出口：限制关键商品出口，例如，阻止外国企业对俄罗斯销售任何含美国技术的商品，包括软硬件产品，尤其是汽车、智能手机、消费电子产品都不可或缺的半导体产品。

由此及彼 中国在高科技领域应如何发展

我们可以联想到不久前美国对中国的半导体材料和高端技术的限制，其目的就是制约中国在高科技领域的发展。半导体材料是制造芯片的必需材料，如今我们的社会离不开网络，一块好的芯片甚至直接决定了一个国家网络建设的成绩。所以，我国从2014年(甚至更早)开始，就加强了集成电路产业发展国产化进程，保障相关产业快速崛起，突破传感器特别是高端MEMS传感器领域“卡脖子”的困境。

MEMS传感器国产化的进程并非坦途，会面临诸多的难题。比如国产芯片设计软件不成熟，渗透率低;研发能力弱，缺乏核心技术;制作工艺设备落后，产品的稳定性低;缺少自主研发产品，产品同质化问题突出;科研成果转化率低，市场接纳率不高;企业规模小，量产难以保证。

逆境迸发能量 激励中国企业奋勇直前

困难是存在的，但是困难也激励了一批具有高远志向企业的决心。北京智芯传感科技有限公司(简称：智芯传感)就是这样一个迎难而上、奋勇前行的企业代表。

智芯传感成立于2018年，是一家致力于MEMS传感器研发、生产及销售的高新技术企业。团队核心成员来自北京大学微纳电子学院，有超过20年的MEMS传感器科研经验。公司以京津冀国家技术创新中心成果转化机制为平台，拥有多项自主研发专利，技术力量雄厚，核心研发人员均具有研究生及以上学历和多年MEMS相关领域从业经验。

智芯传感的产品从一开始就对标高端进口MEMS传感器产品，研发生产工业差压、医疗健康、消费类电子、航空航天等领域的全品类MEMS压力传感器，掌握了包括传感器产品的设计、生产、封装、标定及模组的核心流程工艺在内的六大核心技术，致力成为专业领先的MEMS压力传感器芯片、模组及专业解决方案提供商。

在高精度AD设计方面，采用可变速率的多阶结构。在1Hz~10Hz的采样速率下，通过可变超采样速率可以实现不同的有效数字位。

在应力隔离结构技术方面，芯片应力隔离结构设计工艺降低了塑料封装料对压力计性能的影响。

在温度标定控制技术方面，采用温度标定与模拟技术。

在开口塑封技术方面，改进了注塑头结构，实现开孔结构，并对注塑材料进行改性，降低了本身的应力，同时提高密闭性，使封装应力尽量减小。

在Sensor 压力感应膜技术方面，采用低至2μm超薄压力敏感膜设计与制作工艺。

在Sensor和ASIC集成技术方面，由原有的压力感应膜、IC分别流片、再进行叠层封装技术，直接进化到同步流片集成模式，解决了MEMS感应膜与IC工艺兼容性难题。

同国际类似的产品相比，智芯传感的集成压力传感器具有明显的技术、生产、成本、面积等多方面优势：鉴于两片式堆叠工艺生产难度大，则采用单片集成方式，降低了工艺复杂度，完全借助成熟的IC加工平台，不需要特殊封装工艺平台的支撑;封装后尺寸及厚度较同业同类产品有明显优势，是其尺寸的1/4;单个晶元芯片产量是同类产品的4倍，而生产成本仅是其1/4;实现了标定线自行设计，成本是进口线的1/5至1/3。

智芯传感压力传感器系列产品

智芯传感的产品还具备高精度、高分辨率、高复杂工况适应性和低功耗等特点：通过低漂移、低噪声压力传感器芯片设计和单片集成制作工艺、温度补偿算法，实现线性度、温漂、零点漂移的精度都在1%之内;同时采用24位数字变换电路设计，实现1Pa大气压力测量精度;汽车车规级产品可适用于-40℃～125℃温度等严格工况环境下;功耗仅为1Hz电流2.5μA。

智芯传感深知传感器的国产化对产业发展的重要性，始终坚持自主、可控、创新的理念，不断夯实自身技术实力，缩短与发达国家或地区制造技术和生产能力差距，逐渐成为国内颇具影响力的传感器解决方案提供商。

关于智芯传感

北京智芯传感科技有限公司成立于2018年9月，是一家致力于MEMS传感器研发、生产及销售的高新技术企业。公司以北京大学MEMS研发团队为技术依托，以京津冀国家技术创新中心成果转化机制为平台，拥有多项自主研发专利，技术力量雄厚，核心研发人员均具有研究生及以上学历，并具有多年MEMS相关领域从业经验。公司具备完整的生产能力，目前已拥有两条自主研发的自动化生产线，年产量超1000万只。2021年4月公司获得ISO9001认证，为产品品质提供进一步保证。

审核编辑：汤梓红