0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

ERS electronic公司推出了全自动温度校准先进测量设备 -- ProbeSense,该设备适用于晶圆针测领域

21克888 来源:厂商供稿 作者:ERS electronic 2022-05-25 10:56 次阅读

慕尼黑2022年5月24日 /美通社/ -- 半导体制造业提供温度管理解决方案的领导者——ERS electronic开发了一种温度校准设备,该设备可以在晶圆实际针测区域进行高精确度(低至30mK)全自动测量。目前,被命名为ProbeSense™的该设备正在申请技术专利。

由一个温度传感器组成,安装在晶圆探针台的探针卡处的ProbeSense™,将在晶圆针测中,遵循探针XYZ轴的移动规律,在保证测试环境相同的情况下,对晶圆表面进行多点温度测量。ProbeSense™将与适配板一起交付,实现与行业主流探针台兼容的同时,满足客户的需要。此外,在ProbeSense™的整套装备中还包含一个温度测量仪器,该仪器的精确度已经预先与温度传感器同步校准在了mk范围之内。

为了进一步实现测量过程无需人力操作的全自动化,探针台中还将装载ProbeSense™配套软件,以在不同温度下,针对卡盘不同位置运行测试脚本。MPI是首批在其探针台上提供这项功能的探针台制造商之一。

“ProbeSense™很好的满足了行业对功能性强、精确度高且易于操作的校准工具的需求,”ERS electronic公司首席技术官Klemens Reitinger说。“我们坚信,已经被多家探针台制造商采用的该全自动ProbeSense™将成为精度校准和温度均匀性测量领域的规则改写者。”

“成功将ProbeSense™集成到SENTIO®探针台的MPI公司看到了该设备的明显优势:不仅操作上直观便捷,测试速度也较快。由于其全自动的特性,还实现了夜间和周末的持续校准,从而节省了生产时间。”Stojan Kanev, MPI公司总经理说,“ProbeSense™的推出,正是为了更好的满足客户在成本控制、提高工作效率方面的需求。”

ERS ProbeSense™现已接受预订。

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 晶圆
    +关注

    关注

    52

    文章

    4899

    浏览量

    127947
  • 测量设备
    +关注

    关注

    0

    文章

    91

    浏览量

    9413
  • 温度管理
    +关注

    关注

    0

    文章

    3

    浏览量

    5758
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    尺寸测量全自动检测设备及其在线应用探索

    尺寸测量全自动设备高精度高效,含一键闪测仪、AI影像测量仪、三坐标机、激光跟踪仪等,广泛应用于制造、航空等
    发表于 12-16 15:08 0次下载

    尺寸测量全自动检测设备及其在线应用探索

    尺寸测量全自动设备高精度高效,含一键闪测仪、AI影像测量仪、三坐标机、激光跟踪仪等,广泛应用于制造、航空等
    的头像 发表于 12-13 16:59 230次阅读
    尺寸<b class='flag-5'>测量</b><b class='flag-5'>全自动</b>检测<b class='flag-5'>设备</b>及其在线应用探索

    简仪科技助力实现温度的精准测量

    在半导体行业,的制造、设计、加工、封装等近千道工艺环节中,温度始终贯穿其中。温度的精密监测对于确保
    的头像 发表于 12-04 15:57 180次阅读
    简仪科技助力实现<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>温度</b>的精准<b class='flag-5'>测量</b>

    钢带卷连续激光焊接全自动流水线

    这款设备采用的类型为钢带卷连续激光焊接全自动流水线,是一款质量和品质好的激光焊接设备适用于各种金属和合金材料,具有速度快、深度大、变形小
    的头像 发表于 10-07 14:43 170次阅读
    钢带卷<b class='flag-5'>圆</b>连续激光焊接<b class='flag-5'>全自动</b>流水线

    通用半导体:SiC锭激光剥离全球首片最薄130µm片下线

    SiC片。设备可以实现6寸和8寸SiC锭的全自动分片,包含
    的头像 发表于 07-15 15:50 617次阅读
    通用半导体:SiC<b class='flag-5'>晶</b>锭激光剥离全球首片最薄130µm<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>片下线

    适用于测量设备的36V双通道高精度运算放大器SC7506

    适用于测量设备的36V双通道高精度运算放大器SC7506
    的头像 发表于 06-17 10:00 424次阅读
    <b class='flag-5'>适用于</b><b class='flag-5'>测量</b><b class='flag-5'>设备</b>的36V双通道高精度运算放大器SC7506

    ERS electronic发布全新Luminex系列全自动设备

    半导体制造业的温度管理解决方案领导者ERS electronic,近日宣布推出两款全新的Luminex系列全自动
    的头像 发表于 06-03 11:04 571次阅读

    ERS electronic推出具备光子解键合和清洗功能的全自动Luminex机器

    慕尼黑2024年5月29日 /美通社/ -- 半导体制造业提供温度管理解决方案的领导者ERS electronic宣布推出两款全新Luminex系列
    的头像 发表于 05-29 17:39 541次阅读
    <b class='flag-5'>ERS</b> <b class='flag-5'>electronic</b><b class='flag-5'>推出</b>具备光子解键合和<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>清洗功能的<b class='flag-5'>全自动</b>Luminex机器

    北方华创微电子:清洗设备定位装置专利

    发明涉及一种清洗设备定位装置、定位方法。其中,
    的头像 发表于 05-28 09:58 389次阅读
    北方华创微电子:<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>清洗<b class='flag-5'>设备</b>及<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>定位装置专利

    AC/DC电源模块:适用于各种功率需求的电子设备

    的电子设备。在本文中,我们将探讨AC/DC电源模块的工作原理、优点以及在不同应用领域的应用。  AC/DC电源模块:适用于各种功率需求的电子设备 首先,让我们来了解一下AC/DC电源模
    的头像 发表于 05-24 11:20 653次阅读
    AC/DC电源模块:<b class='flag-5'>适用于</b>各种功率需求的电子<b class='flag-5'>设备</b>

    半导体晶片的测试—测制程的确认

    将制作在上的许多半导体,一个个判定是否为良品,此制程称为“测制程”。
    的头像 发表于 04-19 11:35 891次阅读
    半导体晶片的测试—<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>针</b>测制程的确认

    适用于车载设备无钥匙进入系统汽车用振FA-238A

    汽车用振FA-238A是一款适用于车载设备无钥匙进入系统的耐高温振。汽车用振FA-238A是爱普生
    发表于 04-02 15:25 1次下载

    TC WAFER 测温系统 仪表化温度测量

    “TC WAFER 测温系统”似乎是一种用于测量(半导体制造中的基础材料)
    的头像 发表于 03-08 17:58 1021次阅读
    TC WAFER   <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>测温系统 仪表化<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>温度</b><b class='flag-5'>测量</b>

    广立微推出全新级可靠性测试设备

    杭州广立微电子股份有限公司近日推出了一款全新的级可靠性(Wafer Level Reliability WLR)测试设备
    的头像 发表于 12-28 15:02 884次阅读

    键合设备及工艺

    随着半导体产业的飞速发展,键合设备及工艺在微电子制造领域扮演着越来越重要的角色。键合技术
    的头像 发表于 12-27 10:56 1478次阅读
    <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>键合<b class='flag-5'>设备</b>及工艺