将多种多样的测量设备与探针台进行整合是相当复杂的,这是因为在各种不同组成部分之间存在诸多的相互影响因素。在片的 1/f 噪声测量是任何特性分析和建模测试系统至关重要的组成部分。由于灵敏度要求的原因,它们会很容易遭受外部干扰源的破坏。为了克服这些难题,我们必须拥有由众所周知且经过预先验证的配置构成的全面解决方案,从而确保包含所有的组成部分以完成尽可能好的测量。
MeasureOne 优势
- 有保证的配置
- 准确和可重复的晶圆级 1/f 及 RTN 测量
- 经过预先验证的系统配置
- 由专业的工程师负责安装
- 由解决方案专家实现系统优化
解决方案组件
- Cascade 200 mm或300 mm半自动探针台系统
- Velox™ 软件
- DCP 探针、ACP 探针、Infinity ®探针、或 |Z|®探针
- DPP 精准型 DC 定位器
- Keysight Technologies E4727A 高级低频分析仪 (A-LFNA)
- Keysight Technologies B1500A 半导体器件参数分析仪
- Keysight Technologies WaferPro Express 软件和 A-LFNA
审核编辑:符乾江
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