中国euv光刻机三大突破 光刻机的三个系统
如今世界最先进的EUV光刻机，只有asml一家公司可以制造出来。
光刻机总共有三个核心部件，一是双工件台，二是EUV光源，三是EUV光学镜头，顾名思义，高能同步光源设备，是应用于EUV光源的设备。
据最新消息了解，清华大学已经和北京华卓精科合作，并且实现了65nm工艺光刻机需求的双工件台系统。
据央视报道，中科院高能物理研究院，创造出了中国首台高能同步辐射光源设备，此外，为这台光源设备提供技术支持的测试平台，也已经开始试运行。
光刻机主要包括：光源、投影物镜和工件台三个子系统及其他部件。其中，光源系统主要用来发射激光，投影物镜系统主要用来对光线进行精准聚焦，工件台主要用来承载硅片并根据光刻需求进行精密运动，其决定了光刻机的分辨率和生产效率。
文章综合丰牛财经、小夏分享快乐I、操盘必读
编辑：黄飞
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
光刻机
+关注
关注
31文章
1150浏览量
47418 -
EUV光刻机
+关注
关注
2文章
128浏览量
15122
发布评论请先 登录
相关推荐
光刻机巨头ASML业绩暴雷，芯片迎来新一轮“寒流”？
电子发烧友网报道（文/黄山明）作为芯片制造过程中的核心设备，光刻机决定着芯片工艺的制程。尤其是EUV光刻机已经成为高端芯片（7nm及以下）芯片量产的关键，但目前EUV
日本首台EUV光刻机就位
据日经亚洲 12 月 19 日报道，Rapidus 成为日本首家获得极紫外 (EUV) 光刻设备的半导体公司，已经开始在北海道芯片制造厂内安装极紫外光刻系统。 它将分四
用来提高光刻机分辨率的浸润式光刻技术介绍
本文介绍了用来提高光刻机分辨率的浸润式光刻技术。 芯片制造：光刻技术的演进 过去半个多世纪，摩尔定律一直推动着半导体技术的发展，但当光刻机的光源波长卡在193nm，芯片制程缩小至6
光刻机的工作原理和分类
本文介绍了光刻机在芯片制造中的角色和地位，并介绍了光刻机的工作原理和分类。 光刻机：芯片制造的关键角色 光刻机在芯片制造中占据着至关重要的地位，被誉为芯片制
今日看点丨 2011亿元!比亚迪单季营收首次超过特斯拉；三星将于2025年初引进High NA EUV光刻机
1. 三星将于2025 年初引进High NA EUV 光刻机，加快开发1nm 芯片 据报道，三星电子正准备在2025年初引入其首款High NA
发表于 10-31 10:56
•814次阅读
俄罗斯首台光刻机问世
据外媒报道，目前，俄罗斯首台光刻机已经制造完成并正在进行测试。 俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里-什帕克（Vasily Shpak）表示，已组装并制造了第一台国产光刻机，作为泽廖诺格勒技术生产线
Rapidus对首代工艺中0.33NA EUV解决方案表示满意，未采用高NA EUV光刻机
在全球四大先进制程代工巨头（包括台积电、三星电子、英特尔以及Rapidus）中，只有英特尔明确表示将使用High NA EUV光刻机进行大规模生产。
荷兰阿斯麦称可远程瘫痪台积电光刻机
disable）台积电相应机器，而且还可以包括最先进的极紫外光刻机（EUV）。 这就意味着阿斯麦（ASML）留了后门，随时有能力去远程瘫痪制造芯片的光刻机。 要知道我国大陆市场已经连续三个
台积电A16制程采用EUV光刻机，2026年下半年量产
据台湾业内人士透露，台积电并未为A16制程配备高数值孔径（High-NA）EUV光刻机，而选择利用现有的EUV光刻机进行生产。相较之下，英特尔和三
英特尔突破技术壁垒：首台商用High NA EUV光刻机成功组装
英特尔的研发团队正致力于对这台先进的ASML TWINSCAN EXE:5000 High NA EUV光刻机进行细致的校准工作，以确保其能够顺利融入未来的生产线。
光刻机的发展历程及工艺流程
光刻机经历了5代产品发展，每次改进和创新都显著提升了光刻机所能实现的最小工艺节点。按照使用光源依次从g-line、i-line发展到KrF、ArF和EUV；按照工作原理依次从接触接近式光刻机
发表于 03-21 11:31
•6332次阅读
ASML 首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 完成安装
3 月 13 日消息，光刻机制造商 ASML 宣布其首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 已完成安装，新机型将带来更高的生产效率。 ▲ ASML 在 X 平台上的相关动态
光刻机结构及IC制造工艺工作原理
光刻机是微电子制造的关键设备，广泛应用于集成电路、平面显示器、LED、MEMS等领域。在集成电路制造中，光刻机被用于制造芯片上的电路图案。
发表于 01-29 09:37
•3368次阅读
工商网监
评论