大家都知道,芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在,全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机,那么euv光刻机目前几纳米呢?
到现在,世界上最先进的光刻机能够实现5nm的加工。也就是荷兰ASML的极紫外光刻机(EUV),这个是当前世界顶级的光刻机设备。
在芯片加工的时候,光刻机是用一系列光源能量和形状控制手段,通过带有电路图的掩模传输光束。
光刻设备涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密材料传输、高精度微环境控制等多项先进技术。是半导体行业技术含量最高的设备。
文章综合懂视网、CSDN、百度百科
审核编辑:何安
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