XD107系列压电扫描台概述/特点/应用/参数

XD107系列压电扫描台是一款定制设计的三维运动的压电平台，具有特殊的负载安装孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，适用于样品显微成像/扫描、微纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用。

XD107系列压电扫描台内部采用机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷、无摩擦柔性铰链导向机构，可实现XY向100μm/轴、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性都可达nm级，定位响应时间也可达ms级。

该压电扫描台可根据应用需求选配闭环传感器，以获取更高的精度。

产品特点

•XYZ三维运动

•行程可达100μm

•承载能力0.4kg

•中心通孔50×50mm

产品应用

•扫描显微镜

•掩模/晶圆定位

•干涉、度量衡学

•生物技术

•微操作

引线连接器

XD107系列压电扫描台的连接器共有2组，每组有3个，一组用于电压驱动信号的传输，一组用于传感反馈信号的传输。连接器的配置主要取决于所选配的压电控制器的连接器类型。XD107系列的连接器是为了匹配芯明天E00/E01系列压电控制器（下方右图），若更换其他压电控制器，可更换为其他相应的连接器类型。

电压位移曲线

下图中为XD107系列压电扫描台的XY向的驱动电压与位移曲线。

线性度曲线

技术参数

型号：XD107.XY100Z20S

运动方向：X、Y、Z

标称行程范围（0~120V）：XY80/Z64μm

行程范围（0~150V）：XY100/Z80μm

传感器类型：SGS

闭环分辨率：3nm

闭环线性度：0.1%F.S.

闭环重复定位精度：Z0.02%F.S.

俯仰/偏航/滚动：≤30μrad

空载谐振频率：XY220/Z160Hz

带载400g谐振频率：XY110/Z80Hz

承载能力：0.4kg

静电容量：XY3.6/Z1.8μF

材质：钢、铝

通孔尺寸：50×50mm

外形尺寸：94×94×24.5mm

重量：420g

应用举例

审核编辑：汤梓红