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过氧化氢(双氧水)工艺资料(下)

华林科纳半导体设备制造 来源:华林科纳半导体设备制造 作者:华林科纳半导体设 2022-08-16 17:19 次阅读

浓品工段工艺流程及产污节点图见图1

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二、浓品工段工艺流程简述

(1)进料系统

27.5%的过氧化氢进入原料液预热器与底部产品(热量回收)换热,温度从30℃加热到37℃左右后由进料泵送入降膜蒸发器。

(2)进料蒸发

料液在降膜蒸发器内进行蒸发,蒸汽经过除雾器除去蒸汽中所夹带的全部液滴。蒸发蒸汽与过氧化氢溶液同时从蒸发器排出,液相几乎含有全部杂质。液相通过蒸发循环泵将大部分循环液再返回到蒸发器的顶部,少部分作为技术级产品送到技术级产品冷却器使其温度降到36℃再送到技术级产品储罐。汽相进入精馏塔的下部。

(3)精馏塔

精馏塔为填料塔;过氧化氢与水之间的质量传递即在该填料表面进行。液相(回流液为去离子水)在此处与汽相(蒸汽)充分接触。塔底得到化学级产品,进化学品级产品罐,最终进入产品罐。精馏塔尾气经冷凝,冷凝液进冷凝液水封罐,尾气再经冷凝,该蒸汽冷凝液含有极微量的过氧化氢。

浓品工段工艺流程及产污节点图见图2

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审核编辑:汤梓红
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